Pengambilan vakum juga dikenal sebagai "pemompaan vakum", yang mengacu pada penggunaan berbagai pompa vakum untuk mengeluarkan udara di dalam wadah, sehingga tekanan di dalam ruang turun hingga di bawah satu atmosfer. Saat ini, untuk mendapatkan vakum dan perangkat yang umum digunakan termasuk pompa vakum mekanis baling-baling putar, pompa Roots, pompa difusi minyak, pompa molekuler komposit, pompa penyerapan saringan molekuler, pompa sublimasi titanium, pompa ion sputtering dan pompa kriogenik dan sebagainya. Dalam pompa ini, empat pompa pertama dikategorikan sebagai pompa transfer gas (pompa vakum transfer), yang berarti bahwa molekul gas terus-menerus dihisap ke dalam pompa vakum dan dibuang ke lingkungan eksternal untuk mewujudkan evakuasi; empat pompa terakhir dikategorikan sebagai pompa penangkap gas (pompa vakum penangkap), yang dikondensasikan secara molekuler atau diikat secara kimia pada dinding bagian dalam ruang pompa untuk mendapatkan vakum yang dibutuhkan. Pompa penangkap gas juga disebut pompa vakum bebas minyak karena tidak menggunakan minyak sebagai media kerja. Tidak seperti pompa pemindahan, yang membuang gas secara permanen, beberapa pompa penangkap bersifat reversibel, yang memungkinkan gas yang terkumpul atau terkondensasi dibuang kembali ke sistem selama proses pemanasan.
Pompa vakum transfer dibagi menjadi dua kategori utama: pompa transfer volumetrik dan pompa transfer momentum. Pompa transfer volumetrik biasanya meliputi pompa mekanis baling-baling putar, pompa cincin cair, pompa resiprokal, dan pompa Roots; pompa vakum transfer momentum biasanya meliputi pompa molekuler, pompa jet, pompa difusi minyak. Pompa vakum tangkap biasanya meliputi pompa ion adsorpsi dan sputtering suhu rendah.
Secara umum, proses pelapisan berbeda, vakum ruang pelapis vakum harus mencapai tingkat yang berbeda, dan dalam teknologi vakum, lebih ke vakum latar belakang (juga dikenal sebagai vakum intrinsik) untuk mengekspresikan levelnya. Vakum latar belakang mengacu pada vakum ruang pelapis vakum melalui pompa vakum untuk memenuhi kebutuhan proses pelapisan vakum tertinggi, dan ukuran vakum ini, terutama bergantung pada kapasitas pemompaan vakum. Ruang pelapis vakum dengan sistem vakumnya vakum dapat mencapai vakum tertinggi yang disebut vakum batas (atau tekanan batas). Tabel 1-2 mencantumkan rentang tekanan kerja beberapa pompa vakum umum dan tekanan akhir yang dapat diperoleh. Bagian tabel yang diarsir mewakili tekanan yang dapat diperoleh oleh setiap pompa vakum saat digunakan dalam kombinasi dengan peralatan lain.
–Artikel ini dirilis olehprodusen mesin pelapis vakumGuangdong Zhenhua
Waktu posting: 30-Agu-2024