A porlasztás egy olyan jelenség, amelyben energikus részecskék (általában gázok pozitív ionjai) egy szilárd anyag (a továbbiakban: célanyag) felületének ütköznek, aminek következtében a célanyag felületén lévő atomok (vagy molekulák) kiszabadulnak belőle.
Ezt a jelenséget Grove fedezte fel 1842-ben, amikor a katódanyagot egy vákuumcső falára vándorolták egy katódos korróziót vizsgáló kísérlet során. Ezt a porlasztásos módszert a vékonyrétegek szubsztrátjának leválasztására 1877-ben fedezték fel. Mivel a vékonyrétegek leválasztásának korai szakaszában a porlasztási sebesség alacsony, a filmsebesség alacsony, a berendezést nagynyomású berendezésben kell beállítani, és az affektív gázba kell átjutni, számos probléma merült fel. Ezért a fejlesztés nagyon lassú és szinte teljesen megszűnt, és csak kevés kémiailag reaktív nemesfémek, tűzálló fémek, dielektrikumok és kémiai vegyületek esetében alkalmazták ezeket az anyagokat. Az 1970-es évekig, a magnetronos porlasztási technológia megjelenésének köszönhetően, a porlasztásos bevonatolás gyorsan fejlődött, és elkezdte újraéleszteni az utat. Ez azért van, mert a magnetronos porlasztási módszert az elektronokra ható ortogonális elektromágneses mező korlátozhatja, növelve az elektronok és a gázmolekulák ütközésének valószínűségét, nemcsak a katódra kapcsolt feszültséget csökkenti, hanem javítja a pozitív ionok porlasztási sebességét a célkatódon, csökkentve az elektronok szubsztráton való bombázásának valószínűségét, ezáltal csökkentve annak hőmérsékletét, és „nagy sebességgel és alacsony hőmérsékleten” két fő jellemzővel: „nagy sebességgel és alacsony hőmérsékleten”.
Az 1980-as évekre, bár csak egy tucat évvel ezelőtt jelent meg, kiemelkedett a laboratóriumi környezetből, és valóban az iparosított tömegtermelés területére került. A tudomány és a technológia további fejlődésével az utóbbi években a porlasztásos bevonatolás területén bevezették az ionsugaras porlasztást, a széles nyalábú, erősáramú ionforrás használatát mágneses térmodulációval kombinálva, valamint a hagyományos dipólus porlasztással kombinált új porlasztási módot; és bevezették a középfrekvenciás váltakozó áramú tápegységet a magnetronos porlasztási célforráshoz. Ez a középfrekvenciás váltakozó áramú magnetronos porlasztási technológia, amelyet ikercélú porlasztásnak neveznek, nemcsak az anód „eltűnési” hatását szünteti meg, hanem megoldja a katód „mérgezési” problémáját is, ami nagymértékben javítja a magnetronos porlasztás stabilitását, és szilárd alapot teremt az összetett vékonyrétegek ipari gyártásához. Ez nagymértékben javította a magnetronos porlasztás stabilitását, és szilárd alapot teremtett az összetett vékonyrétegek ipari gyártásához. Az utóbbi években a porlasztásos bevonatolás egy feltörekvő filmkészítési technológiává vált, amely a vákuumbevonatolási technológia területén aktív.
– Ezt a cikket a következő tette közzé:vákuumbevonó gép gyártóGuangdong Zhenhua
Közzététel ideje: 2023. dec. 05.