(3) Rádiófrekvenciás plazma CVD (RFCVD) Az RF kétféleképpen használható plazma előállítására: kapacitív csatolású és induktív csatolású. Az RF plazma CVD 13,56 MHz frekvenciát használ. Az RF plazma előnye, hogy sokkal nagyobb területen diffundál, mint a mikrohullámú plazma. Az RF kapacitívan csatolt plazma korlátja azonban, hogy a plazma frekvenciája nem optimális a porlasztáshoz, különösen, ha a plazma argont tartalmaz. A kapacitívan csatolt plazma nem alkalmas kiváló minőségű gyémántfilmek növesztésére, mivel a plazmából származó ionbombázás súlyos károsodást okozhat a gyémántban. Polikristályos gyémántfilmeket növesztettek RF indukált plazma segítségével, a mikrohullámú plazma CVD-hez hasonló lerakódási körülmények között. Homogén epitaxiális gyémántfilmeket is állítottak elő RF indukált plazmával fokozott CVD alkalmazásával.
(4) DC plazma CVD
Az egyenáramú plazma egy másik módszer a gázforrás (általában H2 és szénhidrogéngáz keveréke) aktiválására a gyémántfilm növesztéséhez. Az egyenáramú plazma-rásegítéses CVD képes nagy gyémántfilm-felületek növesztésére, és a növekedési terület méretét csak az elektródák mérete és az egyenáramú tápegység korlátozza. Az egyenáramú plazma-rásegítéses CVD további előnye az egyenáramú befecskendezés kialakulása, és az ezzel a rendszerrel kapott tipikus gyémántfilmek 80 mm/h sebességgel rakódnak le. Ezenkívül, mivel a különféle egyenáramú ívhegesztési módszerek kiváló minőségű gyémántfilmeket tudnak lerakni nem gyémánt hordozókra nagy lerakódási sebességgel, piacképes módszert biztosítanak a gyémántfilmek lerakódására.
(5) Elektronciklotron rezonancia mikrohullámú plazmával fokozott kémiai gőzfázisú leválasztás (ECR-MPECVD) A korábban leírt DC plazma, RF plazma és mikrohullámú plazma mind disszociálja és lebontja a H2-t, vagyis a szénhidrogéneket atomos hidrogén- és szén-hidrogén atomcsoportokra, ezáltal hozzájárulva a gyémánt vékonyrétegek kialakulásához. Mivel az elektronciklotron rezonancia plazma nagy sűrűségű plazmát képes előállítani (>1x1011cm-3), az ECR-MPECVD alkalmasabb a gyémántrétegek növesztésére és lerakódására. Az ECR eljárásban alkalmazott alacsony gáznyomás (10-4- - 10-2 Torr) miatt azonban, amely a gyémántrétegek alacsony lerakódási sebességét eredményezi, a módszer jelenleg csak laboratóriumi gyémántrétegek lerakódására alkalmas.
–Ezt a cikket a vákuumbevonó gépek gyártója, a Guangdong Zhenhua adta ki.
Közzététel ideje: 2024. június 19.