Anjeneral, reyaksyon CVD yo depann sou tanperati ki wo, se poutèt sa yo rele yo depo chimik vapè tèmikman eksite (TCVD). Li jeneralman itilize prekisè inòganik epi li fèt nan reaktè miray cho ak miray frèt. Metòd chofaj li yo gen ladan chofaj frekans radyo (RF), chofaj radyasyon enfrawouj, chofaj rezistans, elatriye.
Depozisyon chimik vapè miray cho
Anfèt, yon reaktè depozisyon chimik vapè miray cho se yon founo tèmostatik, anjeneral chofe ak eleman rezistif, pou pwodiksyon tanzantan. Desen yon enstalasyon pwodiksyon depozisyon chimik vapè miray cho pou kouch zouti chip yo montre jan sa a. Depozisyon chimik vapè miray cho sa a ka kouvri TiN, TiC, TiCN ak lòt fim mens. Reaktè a ka fèt ase gwo pou kenbe yon gwo kantite konpozan, epi kondisyon yo ka kontwole avèk presizyon pou depozisyon an. Imaj 1 montre yon aparèy kouch epitaksyèl pou dopan Silisyòm nan pwodiksyon aparèy semi-kondiktè. Substra a nan founo a mete nan yon direksyon vètikal pou diminye kontaminasyon sifas depozisyon an pa patikil, epi ogmante anpil chaj pwodiksyon an. Reaktè miray cho pou pwodiksyon semi-kondiktè yo anjeneral opere nan presyon ki ba.
Dat piblikasyon: 8 novanm 2022