Sputtering se yon fenomèn kote patikil enèjik (anjeneral iyon pozitif nan gaz) frape sifas yon solid (yo rele materyèl sib la anba a), sa ki lakòz atòm (oswa molekil) sou sifas materyèl sib la chape anba li.
Grove te dekouvri fenomèn sa a an 1842 lè materyèl katod la te deplase sou miray yon tib vakyòm pandan yon eksperyans pou etidye korozyon katodik. Metòd pulverizasyon sa a nan depo substrat fim mens yo te dekouvri an 1877, akòz itilizasyon metòd depo fim mens sa a nan premye etap yo, vitès pulverizasyon an ba, vitès fim lan ralanti, li dwe mete nan yon aparèy presyon ki wo epi pase nan gaz ki afekte a ak yon seri lòt pwoblèm, kidonk devlopman an trè dousman epi prèske elimine, sèlman nan metal presye chimikman reyaktif, metal refraktè, dyelektrik, ak konpoze chimik materyèl yo te sou yon ti kantite aplikasyon. Jiska ane 1970 yo, akòz aparisyon teknoloji pulverizasyon mayetron, kouch pulverizasyon te devlope rapidman, li te kòmanse antre nan renesans wout la. Sa a se paske metòd pulverizasyon mayetron an ka limite pa chan mayetik ortogonal sou elektwon yo, ogmante pwobabilite pou kolizyon elektwon ak molekil gaz, pa sèlman diminye vòltaj ki ajoute nan katod la, epi amelyore vitès pulverizasyon iyon pozitif yo sou katod sib la, diminye pwobabilite pou bonbadman elektwon sou substra a, kidonk diminye tanperati li, ak yon "gwo vitès, tanperati ki ba" De karakteristik prensipal yo se "gwo vitès ak tanperati ki ba".
Malgre li te parèt sèlman douz ane de sa, li te soti nan laboratwa a, vrèman antre nan domèn pwodiksyon an mas endistriyalize a. Avèk devlopman syans ak teknoloji ki pi lwen, nan dènye ane yo nan domèn kouch pulverizasyon katodik ak entwodiksyon pulverizasyon amelyore pa gwo bout bwa iyon, itilizasyon yon gwo bout bwa sous iyon kouran fò konbine avèk modilasyon chan mayetik, epi ak konbinezon pulverizasyon dipol konvansyonèl ki konpoze de yon nouvo mòd pulverizasyon; e pral gen entwodiksyon ekipman pou pouvwa kouran altènatif frekans entèmedyè nan sous sib pulverizasyon mayetron an. Teknoloji pulverizasyon mayetron AC frekans mwayen sa a, yo rele pulverizasyon doub sib, pa sèlman elimine efè "disparisyon" anod la, men tou rezoud pwoblèm "anpwazònman" katod la, ki amelyore anpil estabilite pulverizasyon mayetron an, epi bay yon fondasyon solid pou pwodiksyon endistriyalize fim mens konpoze. Sa a te amelyore anpil estabilite pulverizasyon mayetron an epi bay yon fondasyon solid pou pwodiksyon endistriyalize fim mens konpoze. Nan dènye ane sa yo, kouch pulverizasyon an vin tounen yon teknoloji preparasyon fim émergentes cho, aktif nan domèn teknoloji kouch vakyòm.
–Atik sa a pibliye pamanifakti machin kouch vakyòmGuangdong Zhenhua
Dat piblikasyon: 5 Desanm 2023