Kouch pulverizasyon gwo bout bwa iyon ak grave gwo bout bwa iyon

1. Kouch pulverizasyon gwo bout bwa iyon

Sifas materyèl la bonbade ak yon gwo bout bwa iyon ki gen enèji mwayen, epi enèji iyon yo pa antre nan rezo kristal materyèl la, men yo transfere enèji a bay atòm sib yo, sa ki lakòz yo flite lwen sifas materyèl la, epi answit fòme yon fim mens pa depozisyon sou pyès la. Akòz flite ki pwodui pa gwo bout bwa iyon an, enèji atòm kouch fim flite a trè wo, epi materyèl sib la bonbade ak gwo bout bwa iyon an nan yon gwo vid, pite kouch fim nan wo, epi fim kalite siperyè ka depoze, pandan y ap amelyore estabilite kouch fim gwo bout bwa iyon an, sa ki ka reyalize objektif pou amelyore pwopriyete optik ak mekanik kouch fim nan. Objektif flite gwo bout bwa iyon an se fòme nouvo materyèl fim mens.

2. Gravure ak gwo bout bwa iyon

Gravure ak gwo bout bwa iyon se tou yon bonbadman gwo bout bwa iyon ki gen enèji mwayen sou sifas materyèl la pou pwodui yon efè gravur sou substrat la. Li se yon aparèy semi-kondiktè, aparèy optoelektwonik ak lòt domèn nan pwodiksyon teknoloji nwayo grafik. Teknoloji preparasyon pou chip nan sikui entegre semi-kondiktè enplike preparasyon plizyè milyon tranzistò sou yon waf silikon monokristal ak yon dyamèt Φ12in (Φ304.8mm). Chak tranzistò konstwi ak plizyè kouch fim mens ak diferan fonksyon, ki gen ladan yon kouch aktif, yon kouch izolan, yon kouch izolasyon, ak yon kouch kondiktif. Chak kouch fonksyonèl gen pwòp modèl li, kidonk apre chak kouch fim fonksyonèl plake, pati ki pa itil yo bezwen grave ak yon gwo bout bwa iyon, kite konpozan fim itil yo entak. Jodi a, lajè fil chip la rive nan 7mm, e grave ak gwo bout bwa iyon nesesè pou prepare yon modèl byen file konsa. Gravure ak gwo bout bwa iyon se yon metòd gravur sèk ak yon presizyon gravur ki wo konpare ak metòd gravur mouye ki te itilize nan kòmansman an.

Teknoloji grave ak gwo bout bwa iyon gen de kalite grave ak gwo bout bwa iyon inaktif ak gwo bout bwa iyon aktif. Premye a se grave ak gwo bout bwa iyon agon, ki fè pati reyaksyon fizik la; dezyèm lan se grave ak gwo bout bwa iyon fliyò, ki pwodui yon gwo bout bwa iyon fliyò ki bay anpil enèji, epi ki kapab grave tou ak SiO2.₂Wi₃N4, GaAs, W ak lòt fim mens yo gen yon reyaksyon chimik. Se tou de pwosesis reyaksyon fizik la, men tou pwosesis reyaksyon chimik la itilize nan teknoloji grave ak gwo bout bwa iyon. Vitès grave a rapid. Gaz koroziv pou grave reyaksyon yo se CF₄C₂F₆CCl4 BCl3₃, elatriye, reyaktif yo pwodui pou SiF₄SiCl3₄GCl₃; ak WF₆ se gaz koroziv yo ekstrè. Teknoloji grave ak gwo bout bwa iyon se teknoloji kle pou pwodui pwodwi gwo teknoloji.

–Atik sa a pibliye pamanifakti machin kouch vakyòmGuangdong Zhenhua