(3) CVD Plasma Frekans Radyo (RFCVD) Yo ka itilize RF pou jenere plasma pa de metòd diferan, metòd kouplaj kapasitif la ak metòd kouplaj endiktif la. CVD plasma RF itilize yon frekans 13.56 MHz. Avantaj plasma RF la se ke li difize sou yon zòn pi gwo pase plasma mikwo ond lan. Sepandan, limitasyon plasma RF ki konekte ak kapasitif la se ke frekans plasma a pa optimal pou pulverizasyon, sitou si plasma a gen agon. Plasma ki konekte ak kapasitif la pa apwopriye pou fè fim dyaman ki gen bon kalite grandi paske bonbadman iyon ki soti nan plasma a ka lakòz gwo domaj nan dyaman an. Fim dyaman polikristalin yo te grandi lè l sèvi avèk plasma pwovoke pa RF anba kondisyon depo menm jan ak CVD plasma mikwo ond lan. Yo te jwenn tou fim dyaman epitaksyèl omojèn lè l sèvi avèk CVD amelyore ak plasma pwovoke pa RF.
(4) CVD plasma DC
Plasma DC se yon lòt metòd pou aktive yon sous gaz (jeneralman yon melanj H2, ak gaz idrokarbone) pou kwasans fim dyaman. CVD asisté pa plasma DC gen kapasite pou fè grandi gwo zòn fim dyaman, epi gwosè zòn kwasans lan limite sèlman pa gwosè elektwòd yo ak ekipman pou pouvwa DC a. Yon lòt avantaj CVD asisté pa plasma DC se fòmasyon yon enjeksyon DC, epi fim dyaman tipik yo jwenn nan sistèm sa a depoze nan yon vitès 80 mm/h. Anplis de sa, piske divès metòd ark DC ka depoze fim dyaman kalite siperyè sou substrats ki pa dyaman nan vitès depo ki wo, yo bay yon metòd vann pou depo fim dyaman.
(5) Depozisyon chimik vapè amelyore pa plasma mikwo ond ak rezonans siklotron elektwon (ECR-MPECVD) Plasma DC, plasma RF, ak plasma mikwo ond ki dekri pi bonè yo tout disosye epi dekonpoze H2, oswa idrokarbur, an idwojèn atomik ak gwoup atòm kabòn-idwojèn, kidonk kontribye nan fòmasyon fim mens dyaman. Piske plasma rezonans siklotron elektwon ka pwodui plasma dansite wo (>1x1011cm-3), ECR-MPECVD pi apwopriye pou kwasans ak depozisyon fim dyaman. Sepandan, akòz presyon gaz ki ba (10-4- a 10-2 Torr) ki itilize nan pwosesis ECR a, ki lakòz yon to depozisyon fim dyaman ki ba, metòd la kounye a sèlman apwopriye pou depozisyon fim dyaman nan laboratwa.
– Atik sa a pibliye pa manifakti machin kouch vakyòm Guangdong Zhenhua.
Lè piblikasyon an: 19 jen 2024