Dobivanje vakuuma poznato je i kao "vakuumsko pumpanje", što se odnosi na korištenje različitih vakuumskih pumpi za uklanjanje zraka unutar spremnika, tako da tlak unutar prostora padne ispod jedne atmosfere. Trenutno se za postizanje vakuuma često koriste uređaji poput rotacijskih krilnih mehaničkih vakuumskih pumpi, Rootsovih pumpi, pumpi za difuziju ulja, kompozitnih molekularnih pumpi, pumpi za adsorpciju molekularnih sita, pumpi za sublimaciju titana, pumpi za raspršivanje iona i kriogenih pumpi i tako dalje. Kod ovih pumpi, prve četiri pumpe kategorizirane su kao pumpe za prijenos plina (transferne vakuumske pumpe), što znači da se molekule plina kontinuirano usisavaju u vakuumsku pumpu i ispuštaju u vanjsko okruženje kako bi se ostvarilo evakuiranje; posljednje četiri pumpe kategorizirane su kao pumpe za hvatanje plina (capture vacuum pumpe), koje su molekularno kondenzirane ili kemijski vezane na unutarnjoj stijenci komore za pumpanje kako bi se postigao potreban vakuum. Pumpe za hvatanje plina nazivaju se i vakuumskim pumpama bez ulja jer ne koriste ulje kao radni medij. Za razliku od transfernih pumpi, koje trajno uklanjaju plin, neke pumpe za hvatanje su reverzibilne, što omogućuje da se prikupljeni ili kondenzirani plin ispusti natrag u sustav tijekom procesa zagrijavanja.
Vakuumske pumpe za prijenos podijeljene su u dvije glavne kategorije: volumetrijske i pumpe za prijenos količine kretanja. Volumetrijske prijenosne pumpe obično uključuju rotacijske mehaničke pumpe s lopaticama, pumpe s tekućinskim prstenom, klipne pumpe i Rootsove pumpe; vakuumske pumpe za prijenos količine kretanja obično uključuju molekularne pumpe, mlazne pumpe, pumpe za difuziju ulja. Vakuumske pumpe za hvatanje obično uključuju niskotemperaturne adsorpcijske pumpe i pumpe za raspršivanje iona.
Općenito, proces premazivanja je različit, vakuum u vakuumskoj komori za premazivanje trebao bi doseći različite razine vakuuma, a u vakuumskoj tehnologiji, više se koristi pozadinski vakuum (također poznat kao intrinzični vakuum) za izražavanje njegove razine. Pozadinski vakuum odnosi se na vakuum u vakuumskoj komori za premazivanje kroz vakuumsku pumpu kako bi se zadovoljile potrebe procesa premazivanja za najviši vakuum, a veličina ovog vakuuma uglavnom ovisi o kapacitetu vakuumske pumpe. Vakuumska komora za premazivanje svojim vakuumskim sustavom može doseći najviši vakuum koji se naziva granični vakuum (ili granični tlak). Tablica 1-2 navodi raspon radnog tlaka nekih uobičajenih vakuumskih pumpi i krajnji tlak koji se može postići. Zasjenjeni dijelovi tablice predstavljaju tlakove koje svaka vakuumska pumpa može postići kada se koristi u kombinaciji s drugom opremom.
–Ovaj članak objavljujeproizvođač strojeva za vakuumsko premazivanjeGuangdong Zhenhua
Vrijeme objave: 30. kolovoza 2024.