Vim li cas ho siv lub tshuab nqus tsev?
Tiv Thaiv Kev Ua Phem: Hauv lub tshuab nqus tsev, qhov tsis muaj cua thiab lwm yam pa roj tiv thaiv cov khoom siv tso tawm los ntawm kev cuam tshuam nrog cov pa roj hauv huab cua, uas tuaj yeem ua rau cov yeeb yaj kiab ua qias tuaj.
Kev nplaum zoo dua: Qhov tsis muaj cua txhais tau tias zaj duab xis lo rau ntawm lub substrate yam tsis muaj cua lossis lwm yam roj interstitial uas yuav ua rau lub zog tsis muaj zog.
Zaj Duab Xis Zoo: Cov xwm txheej nqus tsev tso cai rau kev tswj hwm zoo dua ntawm cov txheej txheem tso dej, ua rau cov yeeb yaj kiab zoo dua thiab zoo dua.
Kev Tso Tawm Kub Qis: Qee cov khoom siv yuav lwj lossis ua rau kub dhau yog tias lawv raug cov pa roj hauv huab cua. Hauv qhov chaw nqus tsev, cov khoom siv no tuaj yeem tso rau qhov kub qis dua.
Hom Txheej Txheem Txheej Txheem Nqus Tsev
Kev Tso Pa Hauv Lub Cev (PVD)
Kev Ua Pa Kub: Cov khoom siv raug cua sov hauv lub tshuab nqus tsev kom txog thaum nws ua pa thiab tom qab ntawd ua kom sib sau ua ke rau ntawm lub substrate.
Sputtering: Ib lub zog siab ion beam bombards ib lub hom phiaj khoom, ua rau cov atoms raug ntiab tawm thiab tso rau ntawm lub substrate.
Pulsed Laser Deposition (PLD): Ib lub teeb laser muaj zog heev siv los ua pa cov khoom los ntawm lub hom phiaj, uas tom qab ntawd condenses rau ntawm lub substrate.
Kev Tso Pa Tshuaj Lom Zem (CVD)
CVD Siab Qis (LPCVD): Ua tiav ntawm qhov siab txo qis kom qis dua qhov kub thiab txhim kho qhov zoo ntawm zaj duab xis.
Plasma-Enhanced CVD (PECVD): Siv cov plasma los ua kom cov tshuaj tiv thaiv kab mob ua haujlwm ntawm qhov kub qis dua li CVD ib txwm muaj.
Kev Tso Tawm Txheej Atomic (ALD)
ALD yog ib hom CVD uas tso cov zaj duab xis ib txheej atomic ib zaug, muab kev tswj hwm zoo heev rau qhov tuab thiab cov khoom sib xyaw ntawm zaj duab xis.
Cov Khoom Siv Siv Hauv Kev Txheej Tshuab Nqus Tsev
Chav Nqus Tsev: Lub ntsiab tseem ceeb uas cov txheej txheem txheej txheem tshwm sim.
Cov Twj Tso Kua Mis: Txhawm rau tsim thiab tswj hwm qhov chaw nqus tsev.
Tus Tuav Khoom Siv: Txhawm rau tuav lub substrate kom ruaj khov thaum lub sijhawm txheej txheem pleev xim.
Cov Khoom Siv Ua Kom Qhuav Los Yog Sputtering: Nyob ntawm txoj kev PVD siv.
Cov Khoom Siv Fais Fab: Rau kev siv lub zog rau cov khoom siv evaporation lossis rau kev tsim cov plasma hauv PECVD.
Cov Txheej Txheem Tswj Kub: Rau kev ua kom sov cov khoom siv lossis tswj qhov kub ntawm cov txheej txheem.
Cov Txheej Txheem Saib Xyuas: Txhawm rau ntsuas qhov tuab, kev sib xws, thiab lwm yam khoom ntawm cov yeeb yaj kiab tso rau.
Cov ntawv thov ntawm lub tshuab nqus tsev txheej
Cov Txheej Txheem Kho Qhov Muag: Rau cov txheej txheem tiv thaiv kev cuam tshuam, kev cuam tshuam, lossis lim dej ntawm cov iav, daim iav, thiab lwm yam khoom siv kho qhov muag.
Cov Txheej Txheem Kho Kom Zoo Nkauj: Rau ntau yam khoom, suav nrog cov hniav nyiaj hniav kub, cov moos saib, thiab cov khoom siv hauv tsheb.
Cov Txheej Txheem Tawv: Txhawm rau txhim kho kev tiv thaiv kev hnav thiab kev ruaj khov ntawm cov cuab yeej txiav, cov khoom siv cav, thiab cov khoom siv kho mob.
Cov Txheej Txheem Tiv Thaiv: Txhawm rau tiv thaiv kev xeb lossis kev nkag mus rau ntawm cov hlau, yas, lossis iav substrates.
Cov Txheej Txheem Hluav Taws Xob: Rau kev tsim cov integrated circuits, solar cells, thiab lwm yam khoom siv hluav taws xob.
Cov txiaj ntsig ntawm Kev Txheej Txheem Nqus Tsev
Kev Ntsuas: Lub tshuab nqus tsev txheej tso cai rau kev tswj hwm qhov tuab thiab cov khoom sib xyaw ua ke.
Kev Sib Xws: Cov yeeb yaj kiab tuaj yeem tso rau hauv qhov sib npaug ntawm cov duab nyuaj thiab thaj chaw loj.
Kev Ua Haujlwm Zoo: Cov txheej txheem tuaj yeem ua haujlwm tau zoo heev thiab tsim nyog rau kev tsim khoom ntau.
Kev Phooj Ywg Ib puag ncig: Kev txheej txheem nqus tsev feem ntau siv cov tshuaj tsawg dua thiab tsim cov khib nyiab tsawg dua li lwm txoj hauv kev txheej txheem.
– Tsab xov xwm no yog tso tawm los ntawmlub tshuab nqus tsev txheej tshuab chaw tsim khoomGuangdong Zhenhua
Lub sijhawm tshaj tawm: Lub Yim Hli-15-2024