વેક્યુમ સ્પુટરિંગ કોટિંગનું પુનરુત્થાન અને વિકાસ

સ્પટરિંગ એ એક એવી ઘટના છે જેમાં ઊર્જાસભર કણો (સામાન્ય રીતે વાયુઓના ધન આયનો) ઘન પદાર્થ (જેને નીચે લક્ષ્ય પદાર્થ કહેવાય છે) ની સપાટી પર અથડાતા હોય છે, જેના કારણે લક્ષ્ય પદાર્થની સપાટી પરના અણુઓ (અથવા પરમાણુઓ) તેમાંથી છટકી જાય છે.

૧૮૪૨માં ગ્રોવ દ્વારા આ ઘટનાની શોધ થઈ હતી જ્યારે કેથોડિક કાટનો અભ્યાસ કરવા માટે એક પ્રયોગ દરમિયાન કેથોડ સામગ્રીને વેક્યુમ ટ્યુબની દિવાલ પર સ્થાનાંતરિત કરવામાં આવી હતી. પાતળી ફિલ્મોના સબસ્ટ્રેટ ડિપોઝિશનમાં આ સ્પટરિંગ પદ્ધતિ ૧૮૭૭માં શોધાઈ હતી, આ પદ્ધતિનો ઉપયોગ કરીને સ્પટરિંગ દરના પ્રારંભિક તબક્કામાં પાતળા ફિલ્મોનું ડિપોઝિશન ઓછું, ધીમું ફિલ્મ ગતિ છે, ઉચ્ચ-દબાણના ઉપકરણમાં સેટ કરવું જોઈએ અને અસરકારક ગેસ અને અન્ય સમસ્યાઓની શ્રેણીમાં પસાર થવું જોઈએ, તેથી વિકાસ ખૂબ જ ધીમો અને લગભગ દૂર થાય છે, ફક્ત રાસાયણિક રીતે પ્રતિક્રિયાશીલ કિંમતી ધાતુઓ, પ્રત્યાવર્તન ધાતુઓ, ડાઇલેક્ટ્રિક્સ અને રાસાયણિક સંયોજનોમાં, ઓછી સંખ્યામાં એપ્લિકેશનો પર સામગ્રી. ૧૯૭૦ ના દાયકા સુધી, મેગ્નેટ્રોન સ્પટરિંગ ટેકનોલોજીના ઉદભવને કારણે, સ્પટરિંગ કોટિંગ ઝડપથી વિકસિત થયું છે, રસ્તાના પુનરુત્થાનમાં પ્રવેશવાનું શરૂ કર્યું. આનું કારણ એ છે કે મેગ્નેટ્રોન સ્પટરિંગ પદ્ધતિ ઇલેક્ટ્રોન પર ઓર્થોગોનલ ઇલેક્ટ્રોમેગ્નેટિક ક્ષેત્ર દ્વારા મર્યાદિત થઈ શકે છે, ઇલેક્ટ્રોન અને ગેસ પરમાણુઓના અથડામણની સંભાવના વધારે છે, કેથોડમાં ઉમેરાતા વોલ્ટેજને ઘટાડે છે, અને લક્ષ્ય કેથોડ પર હકારાત્મક આયનોના સ્પટરિંગ દરમાં સુધારો કરે છે, સબસ્ટ્રેટ પર ઇલેક્ટ્રોનના બોમ્બમારા થવાની સંભાવના ઘટાડે છે, જેનાથી તેનું તાપમાન ઘટે છે, "ઉચ્ચ ગતિ, નીચું તાપમાન" ની બે મુખ્ય લાક્ષણિકતાઓ.

૧૯૮૦ ના દાયકા સુધી, જોકે તે ફક્ત એક ડઝન વર્ષ પહેલાં દેખાયું હતું, તે પ્રયોગશાળાથી અલગ દેખાય છે, ખરેખર ઔદ્યોગિક સમૂહ ઉત્પાદનના ક્ષેત્રમાં. વિજ્ઞાન અને ટેકનોલોજીના વધુ વિકાસ સાથે, તાજેતરના વર્ષોમાં સ્પટરિંગ કોટિંગના ક્ષેત્રમાં અને આયન બીમ ઉન્નત સ્પટરિંગની રજૂઆત સાથે, મજબૂત વર્તમાન આયન સ્ત્રોતના વિશાળ બીમનો ઉપયોગ ચુંબકીય ક્ષેત્ર મોડ્યુલેશન સાથે જોડવામાં આવ્યો છે, અને પરંપરાગત દ્વિધ્રુવીય સ્પટરિંગના સંયોજન સાથે નવા સ્પટરિંગ મોડથી બનેલો છે; અને મેગ્નેટ્રોન સ્પટરિંગ લક્ષ્ય સ્ત્રોતને મધ્યવર્તી-આવર્તન વૈકલ્પિક પ્રવાહ પાવર સપ્લાયનો પરિચય થશે. આ મધ્યમ-આવર્તન એસી મેગ્નેટ્રોન સ્પટરિંગ ટેકનોલોજી, જેને ટ્વીન ટાર્ગેટ સ્પટરિંગ કહેવામાં આવે છે, તે માત્ર એનોડની "અદ્રશ્યતા" અસરને દૂર કરે છે, પરંતુ કેથોડની "ઝેર" સમસ્યાને પણ હલ કરે છે, જે મેગ્નેટ્રોન સ્પટરિંગની સ્થિરતામાં ઘણો સુધારો કરે છે, અને સંયોજન પાતળા ફિલ્મોના ઔદ્યોગિક ઉત્પાદન માટે મજબૂત પાયો પૂરો પાડે છે. આનાથી મેગ્નેટ્રોન સ્પટરિંગની સ્થિરતામાં ઘણો સુધારો થયો છે અને સંયોજન પાતળા ફિલ્મોના ઔદ્યોગિક ઉત્પાદન માટે મજબૂત પાયો પૂરો પાડવામાં આવ્યો છે. તાજેતરના વર્ષોમાં, સ્પટરિંગ કોટિંગ એક ગરમ ઉભરતી ફિલ્મ તૈયારી ટેકનોલોજી બની ગઈ છે, જે વેક્યુમ કોટિંગ ટેકનોલોજીના ક્ષેત્રમાં સક્રિય છે.

- આ લેખ પ્રકાશિત થયો છેવેક્યુમ કોટિંગ મશીન ઉત્પાદકગુઆંગડોંગ ઝેન્હુઆ