(૩) રેડિયો ફ્રીક્વન્સી પ્લાઝ્મા CVD (RFCVD) RF નો ઉપયોગ બે અલગ અલગ પદ્ધતિઓ દ્વારા પ્લાઝ્મા જનરેટ કરવા માટે થઈ શકે છે, કેપેસિટીવ કપ્લીંગ પદ્ધતિ અને ઇન્ડક્ટિવ કપ્લીંગ પદ્ધતિ. RF પ્લાઝ્મા CVD 13.56 MHz ની આવર્તનનો ઉપયોગ કરે છે. RF પ્લાઝ્માનો ફાયદો એ છે કે તે માઇક્રોવેવ પ્લાઝ્મા કરતાં ઘણા મોટા વિસ્તારમાં ફેલાય છે. જો કે, RF કેપેસિટીવ કપ્લીંગ પ્લાઝ્માની મર્યાદા એ છે કે પ્લાઝ્માની આવર્તન સ્પુટરિંગ માટે શ્રેષ્ઠ નથી, ખાસ કરીને જો પ્લાઝ્મામાં આર્ગોન હોય. કેપેસિટીવ કપ્લીંગ પ્લાઝ્મા ઉચ્ચ ગુણવત્તાવાળી ડાયમંડ ફિલ્મો ઉગાડવા માટે યોગ્ય નથી કારણ કે પ્લાઝ્મામાંથી આયન બોમ્બમાર્ડમેન્ટ હીરાને ગંભીર નુકસાન પહોંચાડી શકે છે. માઇક્રોવેવ પ્લાઝ્મા CVD જેવી જ ડિપોઝિશન પરિસ્થિતિઓમાં RF પ્રેરિત પ્લાઝ્માનો ઉપયોગ કરીને પોલીક્રિસ્ટલાઇન ડાયમંડ ફિલ્મો ઉગાડવામાં આવી છે. RF-પ્રેરિત પ્લાઝ્મા-ઉન્નત CVD નો ઉપયોગ કરીને સજાતીય એપિટેક્સિયલ ડાયમંડ ફિલ્મો પણ મેળવવામાં આવી છે.
(૪) ડીસી પ્લાઝ્મા સીવીડી
ડીસી પ્લાઝ્મા એ હીરા ફિલ્મ વૃદ્ધિ માટે ગેસ સ્ત્રોત (સામાન્ય રીતે H2 અને હાઇડ્રોકાર્બન ગેસનું મિશ્રણ) સક્રિય કરવાની બીજી પદ્ધતિ છે. ડીસી પ્લાઝ્મા-સહાયિત સીવીડીમાં હીરા ફિલ્મના મોટા વિસ્તારો ઉગાડવાની ક્ષમતા હોય છે, અને વૃદ્ધિ વિસ્તારનું કદ ફક્ત ઇલેક્ટ્રોડ્સ અને ડીસી પાવર સપ્લાયના કદ દ્વારા મર્યાદિત હોય છે. ડીસી પ્લાઝ્મા-સહાયિત સીવીડીનો બીજો ફાયદો ડીસી ઇન્જેક્શનની રચના છે, અને આ સિસ્ટમ દ્વારા મેળવેલી લાક્ષણિક હીરા ફિલ્મો 80 મીમી/કલાકના દરે જમા થાય છે. વધુમાં, વિવિધ ડીસી આર્ક પદ્ધતિઓ ઉચ્ચ-ગુણવત્તાવાળી હીરા ફિલ્મોને ઉચ્ચ ડિપોઝિશન દરે બિન-હીરા સબસ્ટ્રેટ પર જમા કરી શકે છે, તેથી તેઓ હીરા ફિલ્મોના ડિપોઝિશન માટે એક માર્કેટેબલ પદ્ધતિ પ્રદાન કરે છે.
(5) ઇલેક્ટ્રોન સાયક્લોટ્રોન રેઝોનન્સ માઇક્રોવેવ પ્લાઝ્મા ઉન્નત રાસાયણિક વરાળ નિક્ષેપ (ECR-MPECVD) અગાઉ વર્ણવેલ DC પ્લાઝ્મા, RF પ્લાઝ્મા અને માઇક્રોવેવ પ્લાઝ્મા બધા H2, અથવા હાઇડ્રોકાર્બનને અણુ હાઇડ્રોજન અને કાર્બન-હાઇડ્રોજન અણુ જૂથોમાં વિભાજીત અને વિઘટિત કરે છે, જેનાથી હીરા પાતળા ફિલ્મોની રચનામાં ફાળો આપે છે. ઇલેક્ટ્રોન સાયક્લોટ્રોન રેઝોનન્સ પ્લાઝ્મા ઉચ્ચ ઘનતા પ્લાઝ્મા (>1x1011cm-3) ઉત્પન્ન કરી શકે છે, તેથી ECR-MPECVD હીરા ફિલ્મોના વિકાસ અને નિક્ષેપન માટે વધુ યોગ્ય છે. જો કે, ECR પ્રક્રિયામાં ઉપયોગમાં લેવાતા નીચા ગેસ દબાણ (10-4- થી 10-2 ટોર) ને કારણે, જેના પરિણામે હીરા ફિલ્મોનો નિક્ષેપન દર ઓછો થાય છે, આ પદ્ધતિ હાલમાં ફક્ત પ્રયોગશાળામાં હીરા ફિલ્મોના નિક્ષેપન માટે યોગ્ય છે.
–આ લેખ વેક્યુમ કોટિંગ મશીન ઉત્પાદક ગુઆંગડોંગ ઝેન્હુઆ દ્વારા પ્રકાશિત કરવામાં આવ્યો છે.
પોસ્ટ સમય: જૂન-૧૯-૨૦૨૪