San fharsaingeachd, bidh ath-bheachdan CVD an urra ri teòthachd àrd, agus mar sin canar tasgadh ceimigeach ceimigeach le brosnachadh teirmeach (TCVD) ris. Mar as trice bidh e a’ cleachdadh ro-ruithearan neo-organach agus thèid a dhèanamh ann an reactaran balla teth is balla fuar. Tha na dòighean teasachaidh aige a’ toirt a-steach teasachadh tricead rèidio (RF), teasachadh rèididheachd infridhearg, teasachadh an aghaidh, msaa.
Tasgadh ceimigeach ceimigeach balla teth
Gu dearbh, 's e àmhainn theirmeastatach a th' ann an reactar tasgadh smùid ceimigeach balla-teas, mar as trice air a theasachadh le eileamaidean resistive, airson cinneasachadh eadar-amail. Tha dealbh de ghoireas cinneasachaidh tasgadh smùid ceimigeach balla-teas airson còmhdach innealan sliseagan air a shealltainn mar a leanas. Faodaidh an tasgadh smùid ceimigeach balla-teas seo TiN, TiC, TiCN agus filmichean tana eile a chòmhdach. Faodar an reactar a dhealbhadh gus a bhith mòr gu leòr airson àireamh mhòr de phàirtean a chumail, agus faodar na cumhaichean a smachdachadh gu math mionaideach airson tasgadh. Tha Dealbh 1 a’ sealltainn inneal sreath epitaxial airson dopadh silicon de chinneasachadh inneal leth-chonnsachaidh. Tha an t-substrate san àmhainn air a chuir ann an taobh dhìreach gus truailleadh uachdar an tasgaidh le mìrean a lughdachadh, agus an luchd cinneasachaidh a mheudachadh gu mòr. Mar as trice bidh reactaran balla-teas airson cinneasachadh leth-chonnsachaidh air an obrachadh aig cuideaman ìosal.
Àm puist: 8 dhen t-Samhain 2022