'S e rud a th' ann an sputtering far am bi mìrean lùthmhor (ianan dearbhach gasaichean mar as trice) a' bualadh air uachdar stuth cruaidh (ris an canar an stuth targaid an-seo), ag adhbhrachadh gum bi dadaman (no moileciuilean) air uachdar an stuth targaid a' teicheadh bhuaithe.
Chaidh an iongantas seo a lorg le Grove ann an 1842 nuair a ghluais an stuth catod gu balla tiùb falamh rè deuchainn gus sgrùdadh a dhèanamh air creimeadh catodic. Chaidh an dòigh sputtering seo ann an tasgadh fhilmichean tana air an t-substrate a lorg ann an 1877, air sgàth 's gun deach an dòigh seo a chleachdadh gus filmichean tana a thasgadh anns na tràth ìrean den ìre sputtering, bha an astar film slaodach, agus feumar an suidheachadh ann an inneal àrd-bhruthadh agus a dhol a-steach don ghas buaidh agus sreath de dhuilgheadasan eile, agus mar sin bha an leasachadh gu math slaodach agus cha mhòr air a thoirt air falbh, agus cha robh mòran thagraidhean ann ach ann am meatailtean luachmhor ath-ghnìomhach ceimigeach, meatailtean teas-dhìonach, dielectrics, agus todhar ceimigeach, stuthan. Gus na 1970n, air sgàth nochdadh teicneòlas sputtering magnetron, bha còmhdach sputtering air a leasachadh gu luath, agus thòisich e air ath-bheothachadh rathaid. Tha seo air sgàth 's gum faodar an dòigh sputtering magnetron a chuingealachadh le raon electromagnetic ortogonal air na dealanan, ag àrdachadh coltachd bualadh dealanan agus moileciuilean gas, chan ann a-mhàin a’ lughdachadh a’ bholtaids a thèid a chur ris a’ chatod, ach a’ leasachadh ìre sputtering ianan adhartach air a’ chatod targaid, a’ lughdachadh coltachd bomadh dealanan air an t-substrate, agus mar sin a’ lughdachadh a theodhachd, le “astar àrd, teòthachd ìosal” Is e an dà phrìomh fheart “astar àrd agus teòthachd ìosal”.
Ged nach do nochd e ach dusan bliadhna bho chionn fhada anns na 1980an, tha e a’ seasamh a-mach bhon obair-lann, gu dearbh a-steach do raon cinneasachadh mòr gnìomhachais. Le leasachadh a bharrachd saidheans agus teicneòlais, anns na bliadhnachan mu dheireadh ann an raon còmhdach sputtering agus toirt a-steach sputtering leasaichte beam ian, cleachdadh stòr ian sruth làidir beam farsaing còmhla ri modulachadh raon magnetach, agus le measgachadh de sputtering dipole àbhaisteach air a dhèanamh suas de mhodh sputtering ùr; agus bidh toirt a-steach solar cumhachd sruth eile tricead meadhanach don stòr targaid sputtering magnetron. Chan e a-mhàin gu bheil an teicneòlas sputtering magnetron AC tricead meadhanach seo, ris an canar sputtering targaid càraid, a’ cuir às do bhuaidh “dol à bith” an anod, ach cuideachd a’ fuasgladh duilgheadas “puinnseanachadh” a’ chatod, a leasaicheas seasmhachd sputtering magnetron gu mòr, agus a bheir bunait làidir airson cinneasachadh gnìomhachais de fhilmichean tana co-thàthaichte. Tha seo air seasmhachd sputtering magnetron a leasachadh gu mòr agus air bunait làidir a thoirt seachad airson cinneasachadh gnìomhachais de fhilmichean tana co-thàthaichte. Anns na bliadhnachan mu dheireadh, tha còmhdach sputtering air a bhith na theicneòlas ullachaidh film a tha a’ tighinn am bàrr gu mòr, gnìomhach ann an raon teicneòlas còmhdach falamh.
–Tha an t-artaigil seo air fhoillseachadh leneach-dèanamh inneal còmhdach falamhGuangdong Zhenhua
Àm puist: Dùbhlachd-05-2023