Còmhdach spùtadh beam ian agus gràbhaladh beam ian

1. Còmhdach spùtadh beam ian

Tha uachdar an stuth air a bhomadh le gath ian meadhanach-lùtha, agus chan eil lùth nan ian a’ dol a-steach do chliath criostail an stuth, ach a’ gluasad an lùth gu na dadaman targaid, ag adhbhrachadh dhaibh sputteradh air falbh bho uachdar an stuth, agus an uairsin film tana a chruthachadh le bhith ga thasgadh air a’ phìos obrach. Air sgàth an sputteradh a bhios gath ian a’ dèanamh, tha lùth nan dadaman sreath film sputtered glè àrd, agus tha an stuth targaid air a bhomadh leis a’ ghath ian ann am falamh àrd, tha purrachd sreath an fhilm àrd, agus faodar filmichean àrd-inbhe a thasgadh, agus seasmhachd sreath film gath ian air a leasachadh, a dh’ fhaodas adhbhar a choileanadh a bhith a’ leasachadh feartan optigeach agus meacanaigeach sreath an fhilm. Is e adhbhar sputteradh gath ian stuthan film tana ùra a chruthachadh.

2. Greanadh le beam ian

Tha gràbhaladh beam ian cuideachd na bhomadh beam ian meadhanach-lùth air uachdar an stuth gus buaidh sputtering, gràbhaladh air an t-substrate a thoirt gu buil, na inneal leth-chonnsachaidh, innealan optoelectronic agus raointean eile de chinneasachadh teicneòlas cridhe grafaigean. Tha an teicneòlas ullachaidh airson sliseagan ann an cuairtean amalaichte leth-chonnsachaidh a’ toirt a-steach ullachadh milleanan de transistors air wafer silicon aon-chriostail le trast-thomhas de Φ12in (Φ304.8mm). Tha gach transistor air a thogail bho iomadh sreath de fhilmichean tana le diofar dhleastanasan, anns a bheil sreath ghnìomhach, sreath inslitheach, sreath aonaranach, agus sreath giùlain. Tha pàtran fhèin aig gach sreath gnìomhach, agus mar sin às deidh gach sreath de fhilm gnìomhach a bhith air a phlàtadh, feumar na pàirtean gun fheum a ghràbhaladh air falbh le beam ian, a’ fàgail na pàirtean film feumail slàn. An-diugh, tha leud uèir a’ chip air ruighinn 7mm, agus tha gràbhaladh beam ian riatanach gus pàtran cho grinn ullachadh. Tha gràbhaladh beam ian na dhòigh gràbhaladh tioram le cruinneas gràbhaladh àrd an taca ris an dòigh gràbhaladh fliuch a chaidh a chleachdadh anns an toiseach.

Tha dà sheòrsa teicneòlais gràbhaladh beam ian ann le gràbhaladh beam ian neo-ghnìomhach agus gràbhaladh beam ian gnìomhach. Buinidh a’ chiad fhear le gràbhaladh beam ian argon don ath-bhualadh corporra; an tè mu dheireadh le sputtering beam ian fluorine, a bharrachd air lùth àrd gus gnìomh tramp a thoirt gu buil, faodar beam ian fluorine a ghràbhaladh le SiO2 cuideachd.₂Si₃Bidh ath-bhualadh ceimigeach aig N4, GaAs, W agus filmichean tana eile, agus tha e an dà chuid na phròiseas ath-bhualadh corporra, ach cuideachd na phròiseas ath-bhualadh ceimigeach de theicneòlas gràbhaladh beam ian, agus tha an ìre gràbhaladh luath. Is e CF gasaichean creimneach gràbhaladh ath-bhualadh.₄C₂F₆、CCl4、BCl₃, msaa., na reactantan a chaidh a chruthachadh airson SiF₄SiCl₄GCl₃;、agus WF₆ tha gasaichean creimneach air an toirt a-mach. ’S e teicneòlas gràbhaidh beam ian an teicneòlas as cudromaiche airson toraidhean àrd-theicneòlais a dhèanamh.

–Tha an t-artaigil seo air fhoillseachadh leneach-dèanamh inneal còmhdach falamhGuangdong Zhenhua