Sciath spútála bhíoma ian agus greanadh bhíoma ian

1. Sciath spútála bhíoma ian

Buamáiltear dromchla an ábhair le bhíoma ian meánfhuinnimh, agus ní théann fuinneamh na n-ian isteach i laitís chriostail an ábhair, ach aistríonn siad an fuinneamh chuig na hadaimh sprice, rud a fhágann go spútarann ​​siad amach ó dhromchla an ábhair, agus ansin cruthaíonn siad scannán tanaí trí thaisceadh ar an bpíosa oibre. Mar gheall ar an spútaradh a tháirgeann an bhíoma ian, tá fuinneamh na n-adamh sa tsraith scannáin spútaraithe an-ard, agus buamáiltear an t-ábhar sprice leis an bhíoma ian i bhfolús ard, tá íonacht an tsraith scannáin ard, agus is féidir scannáin ardchaighdeáin a thaisceadh, agus feabhsaítear cobhsaíocht an tsraith scannáin bhíoma ian, rud a fhéadann cuspóir na hairíonna optúla agus meicniúla den tsraith scannáin a fheabhsú a bhaint amach. Is é cuspóir an spútaradh bhíoma ian ábhair scannáin tanaí nua a fhoirmiú.

2. Greanadh bhíoma ian

Is éard atá i ngreanta bhíoma ian ná buamáil bhíoma ian meánfhuinnimh ar dhromchla an ábhair chun éifeacht spútarála agus greanta ar an tsubstráit a tháirgeadh, agus is gléas leathsheoltóra, gléasanna optúlaictreonacha agus réimsí eile de tháirgeadh croí-theicneolaíochta grafaicí é. Baineann an teicneolaíocht ullmhúcháin do sceallóga i gciorcaid chomhtháite leathsheoltóra le hullmhú na milliún trasraitheoir ar shliseán sileacain aonchriostail le trastomhas Φ12in (Φ304.8mm). Tá gach trasraitheoir tógtha ó ilchiseal de scannáin tanaí le feidhmeanna éagsúla, arb é atá iontu ciseal gníomhach, ciseal inslithe, ciseal aonraithe, agus ciseal seoltaí. Tá a phatrún féin ag gach ciseal feidhmiúil, mar sin tar éis gach ciseal den scannán feidhmiúil a phlátáil, ní mór na codanna neamhúsáideacha a ghreanadh le bhíoma ian, ag fágáil na gcomhpháirteanna úsáideacha scannáin slán. Sa lá atá inniu ann, tá leithead sreinge an tslis 7mm sroichte, agus tá gá le greanta bhíoma ian chun patrún chomh mín sin a ullmhú. Is modh greanta tirim é greanta bhíoma ian le cruinneas ard greanta i gcomparáid leis an modh greanta fliuch a úsáideadh ar dtús.

Tá dhá chineál teicneolaíochta greanta bhíoma ian ann, ina bhfuil greanta bhíoma ian neamhghníomhach agus greanta bhíoma ian gníomhach. Baineann an chéad cheann le greanta bhíoma ian argóin leis an imoibriú fisiceach; agus an dara ceann le spútaradh bhíoma ian fluairín, a chruthaíonn bhíoma ian fluairín chomh maith le fuinneamh ard chun ról tramp a tháirgeadh, agus is féidir bhíoma ian fluairín a ghreanadh le SiO2 freisin.₂Sí₃Bíonn imoibriú ceimiceach ag N4, GaAs, W agus scannáin thanaí eile, agus is próiseas imoibrithe fisiceach é, ach is próiseas imoibrithe ceimiceach é freisin a bhaineann le teicneolaíocht greanta bhíoma ian, agus bíonn an ráta greanta tapa. Is iad CF gáis chreimneacha greanta imoibritheacha.₄C₂F₆、CCl4、BCl₃, etc., na himoibritheoirí a ghintear le haghaidh SiF₄SiCl₄GCl₃;、agus WF₆ baintear gáis chreimneacha astu. Is í an teicneolaíocht greanta bhíoma ian an phríomhtheicneolaíocht chun táirgí ardteicneolaíochta a tháirgeadh.

–Tá an t-alt seo eisithe agmonaróir meaisín sciath folúisGuangdong Zhenhua