L'obtention du vide, également appelée « pompage à vide », consiste à utiliser différentes pompes à vide pour éliminer l'air contenu dans un récipient et réduire la pression à l'intérieur en dessous d'une atmosphère. Actuellement, pour obtenir le vide, on utilise des dispositifs couramment utilisés, notamment les pompes à vide mécaniques à palettes, les pompes Roots, les pompes à diffusion d'huile, les pompes moléculaires composites, les pompes à adsorption par tamis moléculaire, les pompes à sublimation de titane, les pompes ioniques à pulvérisation cathodique et les pompes cryogéniques. Parmi ces pompes, les quatre premières sont dites « pompes à transfert de gaz » (pompes à vide de transfert), ce qui signifie que les molécules de gaz sont continuellement aspirées et rejetées dans l'environnement extérieur pour réaliser l'évacuation ; les quatre dernières sont dites « pompes à captage de gaz » (pompes à vide de captage), qui sont condensées moléculairement ou liées chimiquement sur la paroi interne de la chambre de pompage pour obtenir le vide requis. Les pompes à captage de gaz sont également appelées « pompes à vide sans huile » car elles n'utilisent pas d'huile comme fluide moteur. Contrairement aux pompes de transfert, qui éliminent le gaz de manière permanente, certaines pompes de captage sont réversibles, ce qui permet au gaz collecté ou condensé d'être rejeté dans le système pendant le processus de chauffage.
Les pompes à vide de transfert se divisent en deux catégories principales : volumétriques et de quantité de mouvement. Les pompes de transfert volumétrique comprennent généralement les pompes mécaniques à palettes, les pompes à anneau liquide, les pompes alternatives et les pompes Roots ; les pompes à vide de transfert de quantité de mouvement comprennent généralement les pompes moléculaires, les pompes à jet et les pompes à diffusion d'huile. Les pompes à vide de capture comprennent généralement les pompes à adsorption basse température et les pompes ioniques à pulvérisation cathodique.
En général, le procédé de revêtement est différent : le vide de la chambre de revêtement sous vide doit atteindre différents niveaux. En technologie du vide, on parle davantage de vide de base (également appelé vide intrinsèque) pour exprimer ce niveau. Le vide de base désigne le vide de la chambre de revêtement sous vide via la pompe à vide pour répondre aux besoins du procédé de revêtement sous vide maximal. L'ampleur de ce vide dépend principalement de la capacité de la pompe à vide. Le vide maximal que la chambre de revêtement sous vide peut atteindre grâce à son système de vide est appelé vide limite (ou pression limite). Le tableau 1-2 présente la plage de pression de service de certaines pompes à vide courantes et la pression limite pouvant être obtenue. Les parties grisées du tableau représentent les pressions pouvant être obtenues par chaque pompe à vide lorsqu'elle est utilisée en combinaison avec d'autres équipements.
–Cet article est publié parfabricant de machines de revêtement sous videGuangdong Zhenhua
Date de publication : 30 août 2024