به دست آوردن خلاء همچنین به عنوان "پمپ خلاء" شناخته میشود که به استفاده از پمپهای خلاء مختلف برای حذف هوای داخل ظرف اشاره دارد، به طوری که فشار داخل فضا به زیر یک اتمسفر کاهش یابد. در حال حاضر، برای به دست آوردن خلاء و دستگاههای رایج از جمله پمپهای خلاء مکانیکی پره چرخشی، پمپهای روتس، پمپهای انتشار روغن، پمپهای مولکولی کامپوزیت، پمپهای جذب غربال مولکولی، پمپهای تصعید تیتانیوم، پمپهای یون اسپاترینگ و پمپهای کرایوژنیک و غیره استفاده میشود. در این پمپها، چهار پمپ اول به عنوان پمپهای انتقال گاز (پمپهای خلاء انتقال) طبقهبندی میشوند، به این معنی که مولکولهای گاز به طور مداوم به داخل پمپ خلاء مکیده شده و برای تخلیه به محیط خارجی تخلیه میشوند. چهار پمپ آخر به عنوان پمپهای جذب گاز (پمپهای خلاء جذب) طبقهبندی میشوند که به صورت مولکولی متراکم شده یا به صورت شیمیایی روی دیواره داخلی محفظه پمپاژ پیوند میخورند تا خلاء مورد نیاز را به دست آورند. پمپهای جذب گاز همچنین پمپهای خلاء بدون روغن نامیده میشوند زیرا از روغن به عنوان محیط کار استفاده نمیکنند. برخلاف پمپهای انتقال که گاز را به طور دائم حذف میکنند، برخی از پمپهای جذب برگشتپذیر هستند و به گاز جمعآوریشده یا متراکمشده اجازه میدهند در طول فرآیند گرمایش دوباره به سیستم تخلیه شود.
پمپهای خلاء انتقالی به دو دسته اصلی تقسیم میشوند: انتقال حجمی و انتقال مومنتوم. پمپهای انتقال حجمی معمولاً شامل پمپهای مکانیکی پرههای دوار، پمپهای حلقه مایع، پمپهای رفت و برگشتی و پمپهای روتس میشوند؛ پمپهای خلاء انتقال مومنتوم معمولاً شامل پمپهای مولکولی، پمپهای جت، پمپهای انتشار روغنی میشوند. پمپهای خلاء جذبی معمولاً شامل پمپهای یونی جذبی دمای پایین و پمپهای یونی کندوپاش هستند.
به طور کلی، فرآیند پوششدهی متفاوت است، خلاء محفظه پوششدهی خلاء باید به سطوح مختلفی برسد و در فناوری خلاء، بیشتر به خلاء پسزمینه (که به عنوان خلاء ذاتی نیز شناخته میشود) برای بیان سطح آن اشاره دارد. خلاء پسزمینه به خلاء محفظه پوششدهی خلاء از طریق پمپ خلاء اشاره دارد تا نیازهای فرآیند پوششدهی به بالاترین خلاء را برآورده کند و اندازه این خلاء، عمدتاً به ظرفیت پمپاژ خلاء بستگی دارد. خلاء اتاق پوششدهی خلاء توسط سیستم خلاء خود میتواند به بالاترین خلاء برسد که خلاء حد (یا فشار حد) نامیده میشود. جدول 1-2 محدوده فشار کاری برخی از پمپهای خلاء رایج و فشار نهایی قابل دستیابی را فهرست میکند. قسمتهای سایهدار جدول نشاندهنده فشارهایی است که میتوان توسط هر پمپ خلاء هنگام استفاده در ترکیب با سایر تجهیزات به دست آورد.
–این مقاله توسط منتشر شده استتولید کننده دستگاه پوشش دهی در خلاءگوانگدونگ ژنهوا
زمان ارسال: 30 آگوست 2024
