Hutsean lortzea "hutsean ponpatzea" bezala ere ezagutzen da, eta hutsean dauden hainbat hutsean dauden ponpa erabiltzea da ontzi barruko airea kentzeko, barruko presioa atmosfera baten azpitik jaisteko. Gaur egun, hutsean sartzeko, ohiko gailuak erabiltzen dira, besteak beste, biraketa-paletako hutsean dauden ponpa mekanikoak, Roots ponpak, olio-difusio ponpak, konpositezko ponpa molekularrak, bahe molekularreko adsorzio-ponpak, titaniozko sublimazio-ponpak, sputtering ioien ponpak eta ponpa kriogenikoak, etab. Ponpa hauetan, lehenengo lau ponpak gas-transferentzia ponpa gisa sailkatzen dira (transferentzia hutsean ponpak), hau da, gas molekulak etengabe xurgatzen dira hutsean dagoen ponpara eta kanpoko ingurunera isurtzen dira hustuketa gauzatzeko; azken lau ponpak gasak harrapatzeko ponpa gisa sailkatzen dira (harrapatzeko hutsean ponpak), eta hauek molekularki kondentsatzen dira edo kimikoki lotzen dira ponpaketa-ganberaren barneko horman behar den hutsunea lortzeko. Gasak harrapatzeko ponpei olio gabeko hutsean ponpa ere deitzen zaie, ez baitute olioa lan-euskarri gisa erabiltzen. Gasa betiko kentzen duten transferentzia-ponpak ez bezala, harrapatzeko ponpa batzuk alderantzikagarriak dira, eta horrek bildutako edo kondentsatutako gasa sistemara isurtzea ahalbidetzen du berotze-prozesuan zehar.
Huts-transferentzia ponpak bi kategoria nagusitan banatzen dira: bolumen-transferentziakoak eta momentu-transferentziakoak. Bolumen-transferentzia ponpen artean, normalean, paleta birakariko ponpa mekanikoak, eraztun likidodun ponpak, ponpa erreziprokoak eta Roots ponpak daude; momentu-transferentzia huts-ponpen artean, normalean, ponpa molekularrak, txorrota-ponpak eta olio-difusio ponpak daude. Harrapaketa-huts-ponpen artean, normalean, tenperatura baxuko adsorzio-ponpak eta sputtering-ioi-ponpak daude.
Oro har, estaldura-prozesua desberdina da, hutsean dagoen estaldura-ganberaren hutsuneak maila desberdinak lortu behar ditu, eta huts-teknologian, atzeko planoaren hutsunea (barne-hutsune gisa ere ezagutzen dena) erabiltzen da bere maila adierazteko. Atzeko planoaren hutsuneak huts-ponparen bidezko estaldura-ganberaren hutsunea adierazten du, estaldura-prozesuaren hutsune handieneko beharrak asetzeko, eta hutsune horren tamaina, batez ere, huts-ponpaketa-ahalmenaren araberakoa da. Hutsean dagoen estaldura-ganberak, bere hutsune-sistemaren bidez, hutsune handieneko puntura irits daiteke, muga-hutsune (edo muga-presio) deitzen dena. 1-2 taulan ohiko huts-ponpa batzuen lan-presio-tartea eta lor daitekeen azken presioa zerrendatzen dira. Taularen itzalpeko zatiek huts-ponpa bakoitzak beste ekipamendu batzuekin konbinatuta erabiltzen denean lor ditzakeen presioak adierazten dituzte.
–Artikulu hau argitaratu duhutsean estaltzeko makina fabrikatzaileaGuangdong Zhenhua
Argitaratze data: 2024ko abuztuaren 30a