Vaakumi saamist nimetatakse ka "vaakumpumpamiseks", mis viitab erinevate vaakumpumpade kasutamisele õhu eemaldamiseks mahutist, nii et rõhk ruumis langeb alla ühe atmosfääri. Praegu kasutatakse vaakumi saamiseks tavaliselt selliseid seadmeid nagu pöörleva labaga mehaanilised vaakumpumbad, Roots-pumbad, õlidifusioonpumbad, komposiitmolekulaarpumbad, molekulaarsõela adsorptsioonpumbad, titaanisublimatsioonipumbad, pihustuspumbad ja krüogeensed pumbad jne. Nendest pumpadest liigitatakse esimesed neli pumpa gaasiülekandepumpadeks (ülekandevaakumpumbad), mis tähendab, et gaasimolekule imetakse pidevalt vaakumpumpa ja lastakse väliskeskkonda, et teostada vaakumi eemaldamine; viimased neli pumpa liigitatakse gaasi püüdmise pumpadeks (püüdmisvaakumpumbad), mis molekulaarselt kondenseeritakse või keemiliselt seotakse pumpamiskambri siseseinaga, et saavutada vajalik vaakum. Gaasi püüdmise pumpasid nimetatakse ka õlivabadeks vaakumpumpadeks, kuna need ei kasuta töökeskkonnana õli. Erinevalt ülekandepumpadest, mis eemaldavad gaasi püsivalt, on mõned püüdepumbad pööratavad, võimaldades kogutud või kondenseeritud gaasi kuumutamisprotsessi ajal tagasi süsteemi juhtida.
Ülekandevaakumpumbad jagunevad kahte põhikategooriasse: mahulised ja impulsiülekandepumbad. Mahuliste ülekandepumpade hulka kuuluvad tavaliselt pöördlabaga mehaanilised pumbad, vedelikrõngaspumbad, kolbpumbad ja Rootsi pumbad; impulsiülekande vaakumpumpade hulka kuuluvad tavaliselt molekulaarpumbad, jugapumbad ja õlidifusioonpumbad. Püüdvaakumpumpade hulka kuuluvad tavaliselt madala temperatuuriga adsorptsiooni- ja pihustuspumbad.
Üldiselt on katmisprotsess erinev. Vaakumkatmiskambri vaakum peaks saavutama erineva taseme. Vaakumtehnoloogias kasutatakse pigem taustavaakumit (tuntud ka kui sisemine vaakum), et väljendada selle taset. Taustavaakum viitab vaakumkatmiskambri vaakumpumba abil tekitatud vaakumile, mis vastab katmisprotsessi kõrgeimale vaakumi vajadustele, ja selle vaakumi suurus sõltub peamiselt vaakumpumba võimsusest. Vaakumkatmisruumi vaakumsüsteem võimaldab saavutada kõrgeima vaakumi, mida nimetatakse piirvaakumiks (või piirrõhuks). Tabelis 1-2 on loetletud mõnede tavaliste vaakumpumpade töörõhu vahemikud ja saavutatav piirrõhk. Tabeli varjutatud osad näitavad rõhku, mida iga vaakumpump saab saavutada koos teiste seadmetega.
– Selle artikli avaldasvaakumkatmismasinate tootjaGuangdongi Zhenhua
Postituse aeg: 30. august 2024