La obtención de vacío, también conocida como "bombeo de vacío", se refiere al uso de diferentes bombas de vacío para extraer el aire del interior del contenedor, de modo que la presión en el espacio caiga por debajo de una atmósfera. Actualmente, para obtener el vacío, se utilizan dispositivos comunes como bombas de vacío mecánicas de paletas rotativas, bombas Roots, bombas de difusión de aceite, bombas moleculares compuestas, bombas de adsorción de tamiz molecular, bombas de sublimación de titanio, bombas de pulverización iónica y bombas criogénicas, entre otras. Las cuatro primeras bombas se clasifican como bombas de transferencia de gas (bombas de vacío de transferencia), lo que significa que las moléculas de gas se succionan continuamente y se descargan al exterior para realizar la evacuación. Las cuatro últimas bombas se clasifican como bombas de captura de gas (bombas de vacío de captura), que se condensan molecularmente o se unen químicamente en la pared interna de la cámara de bombeo para obtener el vacío requerido. Las bombas de captura de gas también se denominan bombas de vacío sin aceite, ya que no utilizan aceite como fluido de trabajo. A diferencia de las bombas de transferencia, que eliminan el gas de forma permanente, algunas bombas de captura son reversibles, lo que permite que el gas recolectado o condensado se descargue nuevamente en el sistema durante el proceso de calentamiento.
Las bombas de vacío de transferencia se dividen en dos categorías principales: volumétricas y de momento. Las bombas de transferencia volumétrica suelen incluir bombas mecánicas de paletas rotativas, bombas de anillo líquido, bombas reciprocantes y bombas Roots; las bombas de vacío de transferencia de momento suelen incluir bombas moleculares, bombas de chorro y bombas de difusión de aceite. Las bombas de vacío de captura suelen incluir bombas de adsorción a baja temperatura y bombas de iones de pulverización catódica.
En general, el proceso de recubrimiento es diferente; el vacío de la cámara de recubrimiento al vacío debe alcanzar diferentes niveles. En la tecnología de vacío, se utiliza más el vacío de fondo (también conocido como vacío intrínseco) para expresar su nivel. El vacío de fondo se refiere al vacío de la cámara de recubrimiento al vacío a través de la bomba de vacío para satisfacer las necesidades del proceso de recubrimiento del vacío más alto. El tamaño de este vacío depende principalmente de la capacidad de bombeo de vacío. La sala de recubrimiento al vacío, mediante su sistema de vacío, puede alcanzar el vacío más alto, denominado vacío límite (o presión límite). La Tabla 1-2 enumera el rango de presión de trabajo de algunas bombas de vacío comunes y la presión máxima que se puede obtener. Las partes sombreadas de la tabla representan las presiones que puede obtener cada bomba de vacío cuando se utiliza en combinación con otros equipos.
–Este artículo es publicado porfabricante de máquinas de recubrimiento al vacíoGuangdong Zhenhua
Hora de publicación: 30 de agosto de 2024