Vakuo-akiro ankaŭ konatas kiel "vakuo-pumpado", kiu rilatas al la uzo de diversaj vakuo-pumpiloj por forigi la aeron ene de la ujo, tiel ke la premo ene de la spaco falas sub unu atmosferon. Nuntempe, por akiri la vakuon, oni uzas ofte uzatajn aparatojn, inkluzive de rotaciaj paletaj mekanikaj vakuo-pumpiloj, Roots-pumpiloj, ole-difuzaj pumpiloj, kompozitaj molekulaj pumpiloj, molekulaj kribrilaj adsorbaj pumpiloj, titanaj sublimaj pumpiloj, ŝpruc-jonaj pumpiloj kaj kriogenaj pumpiloj, ktp. En ĉi tiuj pumpiloj, la unuaj kvar pumpiloj estas kategoriigitaj kiel gas-transigaj pumpiloj (transigaj vakuo-pumpiloj), kio signifas, ke la gasmolekuloj estas kontinue suĉitaj en la vakuo-pumpilon kaj eligitaj al la ekstera medio por realigi la evakuadon; la lastaj kvar pumpiloj estas kategoriigitaj kiel gas-kaptaj pumpiloj (kaptaj vakuo-pumpiloj), kiuj estas molekule densigitaj aŭ kemie ligitaj al la interna muro de la pumpkamero por atingi la bezonatan vakuon. Gas-kaptaj pumpiloj ankaŭ estas nomataj senoleaj vakuo-pumpiloj, ĉar ili ne uzas oleon kiel labormedion. Male al transigaj pumpiloj, kiuj permanente forigas la gason, iuj kaptaj pumpiloj estas reigeblaj, permesante al la kolektita aŭ densigita gaso esti eligita reen en la sistemon dum la varmigprocezo.
Transigaj vakuaj pumpiloj estas dividitaj en du ĉefajn kategoriojn: volumetraj kaj momentumtransigaj. Volumetraj transigaj pumpiloj kutime inkluzivas rotaciajn paletajn mekanikajn pumpilojn, likvajn ringopumpilojn, reciprokajn pumpilojn kaj Roots-pumpilojn; momentumtransigaj vakuaj pumpiloj kutime inkluzivas molekulajn pumpilojn, jetpumpilojn, oleajn difuzajn pumpilojn. Kaptaj vakuaj pumpiloj kutime inkluzivas malalttemperaturajn adsorbajn kaj ŝprucajn jonpumpilojn.
Ĝenerale, la tegaĵa procezo estas malsama. La vakua tegaĵa ĉambro devas atingi malsamajn nivelojn, kaj en vakua teknologio, oni pli ofte uzas la fonan vakuon (ankaŭ konatan kiel intrinseka vakuo) por esprimi ĝian nivelon. La fona vakuo rilatas al la plej alta vakuo en la vakua tegaĵa ĉambro tra la vakua pumpilo por kontentigi la bezonojn de la tegaĵa procezo, kaj la grandeco de ĉi tiu vakuo ĉefe dependas de la vakua pumpkapacito. La vakua tegaĵa ĉambro per sia vakua sistemo povas atingi la plej altan vakuon, kiu nomiĝas lima vakuo (aŭ lima premo). Tabelo 1-2 listigas la laborpreman gamon de kelkaj komunaj vakupumpiloj kaj la finfinan premon, kiun oni povas atingi. La ombritaj partoj de la tabelo reprezentas la premojn, kiujn oni povas atingi per ĉiu vakua pumpilo kiam uzata kune kun alia ekipaĵo.
–Ĉi tiu artikolo estas publikigita defabrikanto de vakuaj tegaĵmaŝinojGuangdong Zhenhua
Afiŝtempo: 30-a de aŭgusto 2024