(3) Η RF CVD με πλάσμα ραδιοσυχνοτήτων (RFCVD) μπορεί να χρησιμοποιηθεί για την παραγωγή πλάσματος με δύο διαφορετικές μεθόδους, τη μέθοδο χωρητικής σύζευξης και τη μέθοδο επαγωγικής σύζευξης. Η RF CVD με πλάσμα χρησιμοποιεί συχνότητα 13,56 MHz. Το πλεονέκτημα του πλάσματος RF είναι ότι διαχέεται σε πολύ μεγαλύτερη περιοχή από το πλάσμα μικροκυμάτων. Ωστόσο, ο περιορισμός του RF χωρητικά συζευγμένου πλάσματος είναι ότι η συχνότητα του πλάσματος δεν είναι βέλτιστη για ψεκασμό, ειδικά εάν το πλάσμα περιέχει αργόν. Το χωρητικά συζευγμένο πλάσμα δεν είναι κατάλληλο για την ανάπτυξη μεμβρανών διαμαντιών υψηλής ποιότητας, καθώς ο βομβαρδισμός με ιόντα από το πλάσμα μπορεί να οδηγήσει σε σοβαρή βλάβη στο διαμάντι. Πολυκρυσταλλικές μεμβράνες διαμαντιών έχουν αναπτυχθεί χρησιμοποιώντας πλάσμα επαγόμενο από RF υπό συνθήκες εναπόθεσης παρόμοιες με την RF CVD με πλάσμα μικροκυμάτων. Ομογενείς επιταξιακές μεμβράνες διαμαντιών έχουν επίσης ληφθεί χρησιμοποιώντας RF-επαγόμενη ενισχυμένη με πλάσμα RF CVD.
(4) Καρδιαγγειακή νόσος με πλάσμα συνεχούς ρεύματος (DC)
Το πλάσμα DC είναι μια άλλη μέθοδος ενεργοποίησης μιας πηγής αερίου (γενικά ένα μείγμα H2 και αερίου υδρογονάνθρακα) για την ανάπτυξη μεμβράνης διαμαντιού. Η CVD με υποβοήθηση πλάσματος DC έχει την ικανότητα να αναπτύσσει μεγάλες περιοχές μεμβρανών διαμαντιού και το μέγεθος της περιοχής ανάπτυξης περιορίζεται μόνο από το μέγεθος των ηλεκτροδίων και την τροφοδοσία DC. Ένα άλλο πλεονέκτημα της CVD με υποβοήθηση πλάσματος DC είναι ο σχηματισμός μιας έγχυσης DC και οι τυπικές μεμβράνες διαμαντιού που λαμβάνονται από αυτό το σύστημα εναποτίθενται με ρυθμό 80 mm/h. Επιπλέον, δεδομένου ότι διάφορες μέθοδοι τόξου DC μπορούν να εναποθέσουν μεμβράνες διαμαντιού υψηλής ποιότητας σε υποστρώματα που δεν είναι διαμάντια με υψηλούς ρυθμούς εναπόθεσης, παρέχουν μια εμπορεύσιμη μέθοδο για την εναπόθεση μεμβρανών διαμαντιού.
(5) Εναπόθεση χημικών ατμών με ενισχυμένη χημική εναπόθεση με πλάσμα μικροκυμάτων ηλεκτρονιακού κυκλοτρονικού συντονισμού (ECR-MPECVD) Το πλάσμα DC, το πλάσμα RF και το πλάσμα μικροκυμάτων που περιγράφηκαν προηγουμένως διασπούν και αποσυνθέτουν το H2, ή υδρογονάνθρακες, σε ατομικό υδρογόνο και ομάδες ατόμων άνθρακα-υδρογόνου, συμβάλλοντας έτσι στον σχηματισμό λεπτών μεμβρανών διαμαντιού. Δεδομένου ότι το πλάσμα ηλεκτρονικού κυκλοτρονικού συντονισμού μπορεί να παράγει πλάσμα υψηλής πυκνότητας (>1x1011cm-3), το ECR-MPECVD είναι καταλληλότερο για την ανάπτυξη και την εναπόθεση μεμβρανών διαμαντιού. Ωστόσο, λόγω της χαμηλής πίεσης αερίου (10-4- έως 10-2 Torr) που χρησιμοποιείται στη διαδικασία ECR, η οποία έχει ως αποτέλεσμα χαμηλό ρυθμό εναπόθεσης μεμβρανών διαμαντιού, η μέθοδος είναι προς το παρόν κατάλληλη μόνο για την εναπόθεση μεμβρανών διαμαντιού στο εργαστήριο.
–Αυτό το άρθρο δημοσιεύεται από τον κατασκευαστή μηχανών επικάλυψης κενού Guangdong Zhenhua
Ώρα δημοσίευσης: 19 Ιουνίου 2024