Vakuumopsamling er også kendt som "vakuumpumpning", hvilket refererer til brugen af forskellige vakuumpumper til at fjerne luften inde i beholderen, så trykket inde i rummet falder til under én atmosfære. I øjeblikket anvendes der almindeligvis anvendte apparater til at opnå vakuum, herunder mekaniske vakuumpumper med roterende lamel, rodpumper, oliediffusionspumper, kompositmolekylære pumper, molekylsigte-adsorptionspumper, titansublimeringspumper, sputterionpumper og kryogene pumper osv. I disse pumper kategoriseres de første fire pumper som gasoverføringspumper (overføringsvakuumpumper), hvilket betyder, at gasmolekylerne kontinuerligt suges ind i vakuumpumpen og udledes til det ydre miljø for at opnå evakueringen; de sidste fire pumper kategoriseres som gasopsamlingspumper (opsamlingsvakuumpumper), som er molekylært kondenserede eller kemisk bundet på pumpekammerets indvendige væg for at opnå det nødvendige vakuum. Gasopsamlingspumper kaldes også oliefri vakuumpumper, fordi de ikke bruger olie som arbejdsmedium. I modsætning til overføringspumper, som permanent fjerner gassen, er nogle opsamlingspumper reversible, hvilket tillader den opsamlede eller kondenserede gas at blive udledt tilbage i systemet under opvarmningsprocessen.
Transfervakuumpumper er opdelt i to hovedkategorier: volumetriske og momentumoverføringspumper. Volumetriske overføringspumper omfatter normalt mekaniske roterende lamelpumper, væskringpumper, stempelpumper og rodpumper; momentumoverføringsvakuumpumper omfatter normalt molekylære pumper, jetpumper og oliediffusionspumper. Opsamlingsvakuumpumper omfatter normalt lavtemperaturadsorptions- og sputteringionpumper.
Generelt er belægningsprocessen forskellig, og vakuumniveauet i vakuumbelægningskammeret bør nå forskellige niveauer. Inden for vakuumteknologi udtrykkes niveauet mere ved baggrundsvakuumet (også kendt som intrinsisk vakuum). Baggrundsvakuumet refererer til vakuumet i vakuumbelægningskammeret gennem vakuumpumpen for at imødekomme behovene i belægningsprocessen for det højeste vakuum, og størrelsen af dette vakuum afhænger hovedsageligt af vakuumpumpens kapacitet. Det højeste vakuum, som vakuum i vakuumbelægningsrummet kan nå via dets vakuumsystem, kaldes grænsevakuumet (eller grænsetrykket). Tabel 1-2 viser arbejdstrykområdet for nogle almindelige vakuumpumper og det ultimative tryk, der kan opnås. De skyggelagte dele af tabellen repræsenterer de tryk, der kan opnås med hver vakuumpumpe, når den bruges i kombination med andet udstyr.
– Denne artikel er udgivet afproducent af vakuumbelægningsmaskinerGuangdong Zhenhua
Opslagstidspunkt: 30. august 2024