Yn gyffredinol, mae adweithiau CVD yn dibynnu ar dymheredd uchel, a dyna pam y'i gelwir yn ddyddodiad anwedd cemegol wedi'i gyffroi'n thermol (TCVD). Yn gyffredinol, mae'n defnyddio rhagflaenwyr anorganig ac yn cael ei berfformio mewn adweithyddion wal boeth a wal oer. Mae ei ddulliau gwresogi yn cynnwys gwresogi amledd radio (RF), gwresogi ymbelydredd is-goch, gwresogi gwrthiant, ac ati.
Dyddodiad anwedd cemegol wal boeth
Mewn gwirionedd, mae adweithydd dyddodiad anwedd cemegol wal boeth yn ffwrnais thermostatig, fel arfer yn cael ei gynhesu ag elfennau gwrthiannol, ar gyfer cynhyrchu ysbeidiol. Dangosir llun o gyfleuster cynhyrchu dyddodiad anwedd cemegol wal boeth ar gyfer cotio offer sglodion fel a ganlyn. Gall y dyddodiad anwedd cemegol wal boeth hwn orchuddio TiN, TiC, TiCN a ffilmiau tenau eraill. Gellir dylunio'r adweithydd i fod yn ddigon mawr i ddal nifer fawr o gydrannau, a gellir rheoli'r amodau'n fanwl iawn ar gyfer dyddodiad. Mae Llun 1 yn dangos dyfais haen epitacsial ar gyfer dopio silicon cynhyrchu dyfeisiau lled-ddargludyddion. Mae'r swbstrad yn y ffwrnais wedi'i osod mewn cyfeiriad fertigol i leihau halogiad wyneb y dyddodiad gan ronynnau, a chynyddu'r llwyth cynhyrchu yn fawr. Fel arfer mae adweithyddion wal boeth ar gyfer cynhyrchu lled-ddargludyddion yn cael eu gweithredu ar bwysau isel.
Amser postio: Tach-08-2022