Mae chwistrellu yn ffenomen lle mae gronynnau egnïol (ïonau positif nwyon fel arfer) yn taro wyneb solid (a elwir isod yn ddeunydd targed), gan achosi i atomau (neu foleciwlau) ar wyneb y deunydd targed ddianc ohono.
Darganfuwyd y ffenomen hon gan Grove ym 1842 pan symudwyd y deunydd catod i wal tiwb gwactod yn ystod arbrawf i astudio cyrydiad cathodig. Darganfuwyd y dull chwistrellu hwn wrth ddyddodi ffilmiau tenau ar y swbstrad ym 1877, oherwydd bod y dull hwn o ddyddodi ffilmiau tenau yn y camau cynnar yn isel, ac mae cyflymder y ffilm yn araf. Rhaid sefydlu'r ddyfais dan bwysau uchel a'i throsglwyddo i'r nwy affeithiol, gan achosi cyfres o broblemau eraill. Felly mae'r datblygiad yn araf iawn a bron wedi'i ddileu. Dim ond mewn metelau gwerthfawr adweithiol yn gemegol, metelau anhydrin, dielectrigau, a chyfansoddion cemegol y defnyddiwyd y deunyddiau hyn mewn nifer fach o gymwysiadau. Hyd at y 1970au, oherwydd ymddangosiad technoleg chwistrellu magnetron, datblygodd cotio chwistrellu'n gyflym a dechreuodd adfywiad y ffordd. Mae hyn oherwydd y gellir cyfyngu ar y dull chwistrellu magnetron gan faes electromagnetig orthogonal ar yr electronau, gan gynyddu'r tebygolrwydd o wrthdrawiad rhwng electronau a moleciwlau nwy, nid yn unig yn lleihau'r foltedd sy'n cael ei ychwanegu at y catod, ond yn gwella cyfradd chwistrellu ïonau positif ar y catod targed, gan leihau'r tebygolrwydd o fomio electronau ar y swbstrad, a thrwy hynny leihau ei dymheredd, gyda "chyflymder uchel, tymheredd isel". Y ddau brif nodwedd yw "chyflymder uchel a thymheredd isel".
Hyd at y 1980au, er mai dim ond dwsin o flynyddoedd y mae'n ymddangos, mae'n sefyll allan o'r labordy, mewn gwirionedd i faes cynhyrchu màs diwydiannol. Gyda datblygiad pellach gwyddoniaeth a thechnoleg, yn ystod y blynyddoedd diwethaf ym maes cotio chwistrellu a chyflwyno chwistrellu wedi'i wella gan drawst ïon, defnyddio ffynhonnell ïon cerrynt cryf trawst eang ynghyd â modiwleiddio maes magnetig, a chyda chyfuniad o chwistrellu deuol confensiynol yn cynnwys dull chwistrellu newydd; a bydd cyflwyno cyflenwad pŵer cerrynt eiledol amledd canolradd i'r ffynhonnell darged chwistrellu magnetron. Mae'r dechnoleg chwistrellu magnetron AC amledd canolig hon, a elwir yn chwistrellu targed deuol, nid yn unig yn dileu effaith "diflaniad" yr anod, ond hefyd yn datrys problem "gwenwyno" y catod, sy'n gwella sefydlogrwydd chwistrellu magnetron yn fawr, ac yn darparu sylfaen gadarn ar gyfer cynhyrchu ffilmiau tenau cyfansawdd diwydiannol. Mae hyn wedi gwella sefydlogrwydd chwistrellu magnetron yn fawr ac wedi darparu sylfaen gadarn ar gyfer cynhyrchu ffilmiau tenau cyfansawdd diwydiannol. Yn ystod y blynyddoedd diwethaf, mae cotio chwistrellu wedi dod yn dechnoleg paratoi ffilm sy'n dod i'r amlwg, ac mae'n weithredol ym maes technoleg cotio gwactod.
–Cyhoeddir yr erthygl hon gangwneuthurwr peiriant cotio gwactodGuangdong Zhenhua
Amser postio: Rhag-05-2023