(3) CVD Plasma Amledd Radio (RFCVD) Gellir defnyddio RF i gynhyrchu plasma trwy ddau ddull gwahanol, y dull cyplu capasitifol a'r dull cyplu anwythol. Mae CVD plasma RF yn defnyddio amledd o 13.56 MHz. Mantais plasma RF yw ei fod yn tryledu dros ardal llawer mwy na plasma microdon. Fodd bynnag, cyfyngiad plasma RF wedi'i gyplu'n gapasitifol yw nad yw amledd y plasma yn optimaidd ar gyfer chwistrellu, yn enwedig os yw'r plasma yn cynnwys argon. Nid yw plasma wedi'i gyplu'n gapasitifol yn addas ar gyfer tyfu ffilmiau diemwnt o ansawdd uchel gan y gall bomio ïonau o'r plasma arwain at ddifrod difrifol i'r diemwnt. Mae ffilmiau diemwnt polygrisialog wedi'u tyfu gan ddefnyddio plasma a achosir gan RF o dan amodau dyddodiad tebyg i CVD plasma microdon. Mae ffilmiau diemwnt epitacsial homogenaidd hefyd wedi'u cael gan ddefnyddio CVD wedi'i wella gan plasma a achosir gan RF.
(4) CVD Plasma DC
Mae plasma DC yn ddull arall o actifadu ffynhonnell nwy (cymysgedd o H2, a nwy hydrocarbon yn gyffredinol) ar gyfer twf ffilm diemwnt. Mae gan CVD â chymorth plasma DC y gallu i dyfu ardaloedd mawr o ffilmiau diemwnt, a dim ond maint yr electrodau a'r cyflenwad pŵer DC sy'n cyfyngu maint yr ardal dwf. Mantais arall o CVD â chymorth plasma DC yw ffurfio chwistrelliad DC, ac mae ffilmiau diemwnt nodweddiadol a geir gan y system hon yn cael eu dyddodi ar gyfradd o 80 mm/awr. Yn ogystal, gan y gall amrywiol ddulliau arc DC ddyddodi ffilmiau diemwnt o ansawdd uchel ar swbstradau nad ydynt yn ddiemwnt ar gyfraddau dyddodi uchel, maent yn darparu dull marchnadwy ar gyfer dyddodi ffilmiau diemwnt.
(5) Dyddodiad anwedd cemegol wedi'i wella gan plasma microdon cyseiniant cyclotron electron (ECR-MPECVD) Mae'r plasma DC, plasma RF, a plasma microdon a ddisgrifiwyd yn gynharach i gyd yn daduno ac yn dadelfennu H2, neu hydrocarbonau, yn grwpiau atomig o hydrogen a charbon-hydrogen, gan gyfrannu felly at ffurfio ffilmiau tenau diemwnt. Gan y gall plasma cyseiniant cyclotron electron gynhyrchu plasma dwysedd uchel (>1x1011cm-3), mae ECR-MPECVD yn fwy addas ar gyfer twf a dyddodiad ffilmiau diemwnt. Fodd bynnag, oherwydd y pwysedd nwy isel (10-4- i 10-2 Torr) a ddefnyddir yn y broses ECR, sy'n arwain at gyfradd dyddodiad isel o ffilmiau diemwnt, dim ond ar gyfer dyddodiad ffilmiau diemwnt yn y labordy y mae'r dull yn addas ar hyn o bryd.
–Mae'r erthygl hon wedi'i chyhoeddi gan wneuthurwr peiriannau cotio gwactod Guangdong Zhenhua
Amser postio: 19 Mehefin 2024