Naprašování je jev, při kterém energetické částice (obvykle kladné ionty plynů) dopadají na povrch pevné látky (dále nazývané terčový materiál), což způsobuje, že atomy (nebo molekuly) na povrchu terče z něj unikají.
Tento jev objevil Grove v roce 1842, když byl materiál katody během experimentu studujícího katodickou korozi přenesen na stěnu vakuové trubice. Tato metoda naprašování při nanášení tenkých vrstev na substrát byla objevena v roce 1877. Vzhledem k tomu, že tato metoda naprašování tenkých vrstev v raných fázích má nízkou rychlost naprašování a nízkou rychlost filmu, musí být v zařízení nastaven vysoký tlak a musí procházet do afektivního plynu a vzniká řada dalších problémů, je vývoj velmi pomalý a téměř eliminován. Aplikace se používá pouze v chemicky reaktivních drahých kovech, žáruvzdorných kovech, dielektrikách a chemických sloučeninách materiálů v malém počtu případů. Až do 70. let 20. století se díky vzniku magnetronové naprašovací technologie naprašování rychle rozvíjelo a začalo se znovu objevovat. Je to proto, že metoda magnetronového naprašování může být omezena ortogonálním elektromagnetickým polem působícím na elektrony, což zvyšuje pravděpodobnost srážky elektronů a molekul plynu, nejen snižuje napětí přiváděné na katodu, ale také zlepšuje rychlost naprašování kladných iontů na cílové katodě, čímž se snižuje pravděpodobnost bombardování substrátu elektrony, čímž se snižuje jeho teplota. Dvě hlavní charakteristiky jsou „vysoká rychlost a nízká teplota“.
V 80. letech 20. století, ačkoli se objevila teprve před dvanácti lety, se skutečně dostala z laboratoře do oblasti industrializované hromadné výroby. S dalším rozvojem vědy a techniky v posledních letech v oblasti naprašování a zavedením naprašování vylepšeného iontovým svazkem, použití širokého paprsku silného iontového zdroje v kombinaci s modulací magnetického pole a kombinace konvenčního dipólového naprašování s novým naprašovacím režimem, zavedla středofrekvenční střídavý proud pro magnetronový naprašovací terč. Tato středofrekvenční technologie střídavého magnetronového naprašování, nazývaná naprašování s dvojitým terčem, nejen eliminuje efekt „mizení“ anody, ale také řeší problém „otravy“ katody, což výrazně zlepšuje stabilitu magnetronového naprašování a poskytuje pevný základ pro industrializovanou výrobu tenkých vrstev. To výrazně zlepšilo stabilitu magnetronového naprašování a poskytlo pevný základ pro industrializovanou výrobu tenkých vrstev. V posledních letech se naprašování stalo horkou a nově vznikající technologií pro přípravu filmů, aktivní v oblasti technologie vakuového nanášení.
–Tento článek vydávávýrobce vakuových lakovacích strojůGuangdong Zhenhua
Čas zveřejnění: 5. prosince 2023