Získání vakua je také známé jako „vakuové čerpání“, což znamená použití různých vakuových čerpadel k odstranění vzduchu uvnitř nádoby, čímž se tlak uvnitř prostoru sníží pod jednu atmosféru. V současné době se k dosažení vakua běžně používají zařízení, jako jsou rotační lamelové mechanické vakuové pumpy, Rootsovy pumpy, olejové difuzní pumpy, kompozitní molekulární pumpy, adsorpční pumpy s molekulárním sítem, titanové sublimační pumpy, naprašovací iontové pumpy a kryogenní pumpy atd. V těchto pumpách jsou první čtyři pumpy kategorizovány jako přečerpávací pumpy plynu (transferové vakuové pumpy), což znamená, že molekuly plynu jsou kontinuálně nasávány do vakuové pumpy a vypouštěny do vnějšího prostředí za účelem evakuace; poslední čtyři pumpy jsou kategorizovány jako zachytávací pumpy plynu (capture vacuum pumpy), které jsou molekulárně kondenzovány nebo chemicky vázány na vnitřní stěně čerpací komory, aby se dosáhlo požadovaného vakua. Pumpy pro zachycení plynu se také nazývají bezolejové pumpy, protože nepoužívají olej jako pracovní médium. Na rozdíl od přečerpávacích pump, které trvale odstraňují plyn, jsou některé zachytávací pumpy reverzibilní, což umožňuje, aby se shromážděný nebo kondenzovaný plyn během procesu ohřevu vypouštěl zpět do systému.
Přenosové vývěvy se dělí do dvou hlavních kategorií: objemové a přenosové. Objemové přenosové vývěvy obvykle zahrnují rotační lamelové mechanické vývěvy, kapalinokružné vývěvy, pístové vývěvy a Rootsovy vývěvy; vývěvy s přenosem hybnosti obvykle zahrnují molekulární vývěvy, tryskové vývěvy a olejové difúzní vývěvy. Zachytávací vývěvy obvykle zahrnují nízkoteplotní adsorpční a naprašovací iontové vývěvy.
Obecně platí, že proces nanášení povlaků se liší, vakuum ve vakuové komoře by mělo dosahovat různých úrovní vakua, ve vakuové technologii se jedná spíše o podtlak pozadí (známý také jako vnitřní vakuum), který se vyjadřuje jeho úrovní. Podtlak pozadí se vztahuje k podtlaku ve vakuové komoře, který je vyvíjen pomocí vakuové pumpy a splňuje požadavky procesu nanášení povlaku na nejvyšší podtlak. Velikost tohoto podtlaku závisí především na kapacitě vakuového čerpání. Podtlaková komora může dosáhnout nejvyššího podtlaku pomocí svého vakuového systému, což se nazývá mezní podtlak (nebo mezní tlak). Tabulka 1-2 uvádí rozsah pracovního tlaku některých běžných vakuových pump a maximální tlak, kterého lze dosáhnout. Stínované části tabulky představují tlaky, kterých lze dosáhnout každou vakuovou pumpou v kombinaci s jiným zařízením.
–Tento článek vydávávýrobce vakuových lakovacích strojůGuangdong Zhenhua
Čas zveřejnění: 30. srpna 2024