L'ottenimentu di u vacuum hè ancu cunnisciutu cum'è "pompaggio di vacuum", chì si riferisce à l'usu di diverse pompe à vacuum per caccià l'aria in u cuntinente, in modu chì a pressione in u spaziu scende sottu à una atmosfera. Attualmente, per ottene u vacuum è i dispositivi cumunimenti usati, cumprese pompe à vacuum meccaniche à palette rotative, pompe Roots, pompe di diffusione d'oliu, pompe moleculari cumposte, pompe di adsorbimentu à setacci moleculari, pompe di sublimazione di titaniu, pompe ioniche per sputtering è pompe criogeniche è cusì via. In queste pompe, e prime quattru pompe sò classificate cum'è pompe di trasferimentu di gas (pompe à vacuum di trasferimentu), ciò significa chì e molecule di gas sò continuamente aspirate in a pompa à vacuum è scaricate in l'ambiente esternu per realizà l'evacuazione; l'ultime quattru pompe sò classificate cum'è pompe di cattura di gas (pompe à vacuum di cattura), chì sò condensate molecularmente o ligate chimicamente nantu à u muru internu di a camera di pompaggio per ottene u vacuum necessariu. E pompe di cattura di gas sò ancu chjamate pompe à vacuum senza oliu perchè ùn utilizanu micca l'oliu cum'è mezu di travagliu. À u cuntrariu di e pompe di trasferimentu, chì eliminanu permanentemente u gas, alcune pompe di cattura sò reversibili, permettendu à u gas raccoltu o condensatu di esse scaricatu torna in u sistema durante u prucessu di riscaldamentu.
E pompe à vuoto di trasferimentu sò divise in duie categurie principali: volumetriche è di trasferimentu di momentum. E pompe di trasferimentu volumetriche includenu di solitu pompe meccaniche à palette rotative, pompe à anellu liquidu, pompe alternative è pompe Roots; e pompe à vuoto di trasferimentu di momentum includenu di solitu pompe moleculari, pompe à gettu, pompe à diffusione d'oliu. E pompe à vuoto di cattura includenu di solitu pompe di adsorbimentu à bassa temperatura è pompe ioniche per sputtering.
In generale, u prucessu di rivestimentu hè diversu, u vacuum di a camera di rivestimentu à vuoto deve ghjunghje à diversi livelli, è in a tecnulugia di u vacuum, più à u vacuum di fondu (cunnisciutu ancu cum'è vacuum intrinsecu) per sprimà u so livellu. U vacuum di fondu si riferisce à u vacuum di a camera di rivestimentu à vuoto attraversu a pompa à vuoto per risponde à i bisogni di u prucessu di rivestimentu di u vacuum più altu, è a dimensione di stu vacuum, dipende principalmente da a capacità di pompaggio di u vacuum. A camera di rivestimentu à vuoto per via di u so sistema di vacuum, u vacuum pò ghjunghje à u vacuum più altu, chjamatu vacuum limite (o pressione limite). A Tavula 1-2 elenca a gamma di pressione di travagliu di alcune pompe à vuoto cumuni è a pressione finale chì pò esse ottenuta. E parte ombreggiate di a tavula rapprisentanu e pressioni chì ponu esse ottenute da ogni pompa à vuoto quandu hè aduprata in cumbinazione cù altri equipaggiamenti.
–Questu articulu hè statu publicatu dafabricatore di macchine di rivestimentu à vuotoGuangdong Zhenhua
Data di publicazione: 30 d'aostu 2024