L'obtenció de buit també es coneix com a "bombeig de buit", que es refereix a l'ús de diferents bombes de buit per eliminar l'aire de l'interior del recipient, de manera que la pressió dins de l'espai baixi per sota d'una atmosfera. Actualment, per obtenir el buit, els dispositius d'ús comú inclouen bombes de buit mecàniques de paletes rotatives, bombes Roots, bombes de difusió d'oli, bombes moleculars compostes, bombes d'adsorció de sedàs molecular, bombes de sublimació de titani, bombes d'ions de pulverització catòdica i bombes criogèniques, etc. En aquestes bombes, les quatre primeres bombes es classifiquen com a bombes de transferència de gas (bombes de buit de transferència), la qual cosa significa que les molècules de gas s'aspiren contínuament a la bomba de buit i es descarreguen a l'entorn extern per realitzar l'evacuació; les quatre últimes bombes es classifiquen com a bombes de captura de gas (bombes de buit de captura), que es condensen molecularment o es connecten químicament a la paret interior de la cambra de bombament per obtenir el buit necessari. Les bombes de captura de gas també s'anomenen bombes de buit sense oli perquè no utilitzen oli com a medi de treball. A diferència de les bombes de transferència, que eliminen permanentment el gas, algunes bombes de captura són reversibles, permetent que el gas recollit o condensat es descarregui de nou al sistema durant el procés d'escalfament.
Les bombes de buit de transferència es divideixen en dues categories principals: volumètrica i de transferència de moment. Les bombes de transferència volumètrica solen incloure bombes mecàniques de paletes rotatives, bombes d'anell líquid, bombes alternatives i bombes Roots; les bombes de buit de transferència de moment solen incloure bombes moleculars, bombes de raig i bombes de difusió d'oli. Les bombes de buit de captura solen incloure bombes d'adsorció a baixa temperatura i bombes de pulverització iònica.
En general, el procés de recobriment és diferent, el buit de la cambra de recobriment al buit ha d'assolir diferents nivells, i en la tecnologia del buit, més aviat s'utilitza el buit de fons (també conegut com a buit intrínsec) per expressar el seu nivell. El buit de fons es refereix al buit de la cambra de recobriment al buit a través de la bomba de buit per satisfer les necessitats del procés de recobriment del buit més alt, i la mida d'aquest buit depèn principalment de la capacitat de bombament de buit. El buit de la cambra de recobriment al buit mitjançant el seu sistema de buit pot assolir el buit més alt que s'anomena buit límit (o pressió límit). La Taula 1-2 enumera el rang de pressió de treball d'algunes bombes de buit comunes i la pressió màxima que es pot obtenir. Les parts ombrejades de la taula representen les pressions que es poden obtenir amb cada bomba de buit quan s'utilitza en combinació amb altres equips.
–Aquest article ha estat publicat perfabricant de màquines de recobriment al buitGuangdong Zhenhua
Data de publicació: 30 d'agost de 2024