স্পুটারিং হল এমন একটি ঘটনা যেখানে শক্তিমান কণা (সাধারণত গ্যাসের ধনাত্মক আয়ন) একটি কঠিন পদার্থের (যার নীচে লক্ষ্যবস্তু পদার্থ বলা হয়) পৃষ্ঠে আঘাত করে, যার ফলে লক্ষ্যবস্তুর পৃষ্ঠের পরমাণু (বা অণু) তা থেকে বেরিয়ে আসে।
১৮৪২ সালে গ্রোভ এই ঘটনাটি আবিষ্কার করেন যখন ক্যাথোডিক ক্ষয় অধ্যয়নের জন্য একটি পরীক্ষা চলাকালীন ক্যাথোড উপাদান ভ্যাকুয়াম টিউবের দেয়ালে স্থানান্তরিত হয়। পাতলা ফিল্মের সাবস্ট্রেট জমা করার ক্ষেত্রে এই স্পুটারিং পদ্ধতিটি ১৮৭৭ সালে আবিষ্কৃত হয়, এই পদ্ধতি ব্যবহারের কারণে স্পুটারিংয়ের প্রাথমিক পর্যায়ে পাতলা ফিল্ম জমা করার হার কম, ধীর ফিল্মের গতি, উচ্চ-চাপের ডিভাইসে সেট আপ করতে হবে এবং আবেগপূর্ণ গ্যাস এবং অন্যান্য সমস্যাগুলির মধ্যে যেতে হবে, তাই বিকাশ খুব ধীর এবং প্রায় নির্মূল হয়, শুধুমাত্র রাসায়নিকভাবে প্রতিক্রিয়াশীল মূল্যবান ধাতু, অবাধ্য ধাতু, ডাইইলেক্ট্রিক এবং রাসায়নিক যৌগগুলিতে, অল্প সংখ্যক অ্যাপ্লিকেশনের উপকরণগুলিতে। ১৯৭০ সাল পর্যন্ত, ম্যাগনেট্রন স্পুটারিং প্রযুক্তির উত্থানের কারণে, স্পুটারিং আবরণ দ্রুত বিকশিত হয়েছে, রাস্তার পুনরুজ্জীবনে প্রবেশ করতে শুরু করেছে। এর কারণ হল, ম্যাগনেট্রন স্পুটারিং পদ্ধতি ইলেকট্রনের উপর অর্থোগোনাল ইলেক্ট্রোম্যাগনেটিক ফিল্ড দ্বারা সীমাবদ্ধ হতে পারে, যা ইলেকট্রন এবং গ্যাস অণুর সংঘর্ষের সম্ভাবনা বৃদ্ধি করে, কেবল ক্যাথোডে যোগ করা ভোল্টেজ হ্রাস করে না, এবং লক্ষ্য ক্যাথোডে ধনাত্মক আয়নগুলির স্পুটারিং হার উন্নত করে, সাবস্ট্রেটে ইলেকট্রনের বোমাবর্ষণের সম্ভাবনা হ্রাস করে, যার ফলে এর তাপমাত্রা হ্রাস পায়, "উচ্চ গতি, নিম্ন তাপমাত্রা" "উচ্চ গতি এবং নিম্ন তাপমাত্রা" এর দুটি প্রধান বৈশিষ্ট্য।
১৯৮০-এর দশকে, যদিও এটি মাত্র এক ডজন বছর আগে আবির্ভূত হয়েছিল, এটি ল্যাবরেটরি থেকে আলাদা হয়ে দাঁড়িয়েছে, প্রকৃতপক্ষে শিল্পায়িত ভর উৎপাদনের ক্ষেত্রে। বিজ্ঞান ও প্রযুক্তির আরও উন্নয়নের সাথে সাথে, সাম্প্রতিক বছরগুলিতে স্পুটারিং লেপের ক্ষেত্রে এবং আয়ন রশ্মি বর্ধিত স্পুটারিংয়ের প্রবর্তনের সাথে, চৌম্বক ক্ষেত্র মড্যুলেশনের সাথে মিলিত শক্তিশালী কারেন্ট আয়ন উৎসের একটি প্রশস্ত রশ্মির ব্যবহার এবং একটি নতুন স্পুটারিং মোডের সমন্বয়ে গঠিত প্রচলিত ডাইপোল স্পুটারিংয়ের সংমিশ্রণ; এবং ম্যাগনেট্রন স্পুটারিং লক্ষ্য উৎসে মধ্যবর্তী-ফ্রিকোয়েন্সি বিকল্প কারেন্ট পাওয়ার সাপ্লাই প্রবর্তন করবে। এই মাঝারি-ফ্রিকোয়েন্সি এসি ম্যাগনেট্রন স্পুটারিং প্রযুক্তি, যাকে টুইন টার্গেট স্পুটারিং বলা হয়, কেবল অ্যানোডের "অদৃশ্য" প্রভাব দূর করে না, বরং ক্যাথোডের "বিষক্রিয়া" সমস্যাও সমাধান করে, যা ম্যাগনেট্রন স্পুটারিংয়ের স্থায়িত্বকে ব্যাপকভাবে উন্নত করে এবং যৌগিক পাতলা ফিল্মের শিল্পায়িত উৎপাদনের জন্য একটি শক্ত ভিত্তি প্রদান করে। এটি ম্যাগনেট্রন স্পুটারিংয়ের স্থায়িত্বকে ব্যাপকভাবে উন্নত করেছে এবং যৌগিক পাতলা ফিল্মের শিল্পায়িত উৎপাদনের জন্য একটি শক্ত ভিত্তি প্রদান করেছে। সাম্প্রতিক বছরগুলিতে, স্পুটারিং লেপ একটি উদীয়মান চলচ্চিত্র প্রস্তুতি প্রযুক্তিতে পরিণত হয়েছে, যা ভ্যাকুয়াম লেপ প্রযুক্তির ক্ষেত্রে সক্রিয়।
–এই প্রবন্ধটি প্রকাশিত হয়েছেভ্যাকুয়াম লেপ মেশিন প্রস্তুতকারকগুয়াংডং জেনহুয়া
পোস্টের সময়: ডিসেম্বর-০৫-২০২৩