1. আয়ন বিম স্পুটারিং লেপ
পদার্থের পৃষ্ঠে মাঝারি শক্তির আয়ন রশ্মি দিয়ে বোমাবর্ষণ করা হয় এবং আয়নগুলির শক্তি পদার্থের স্ফটিক জালিতে প্রবেশ করে না, বরং লক্ষ্য পরমাণুতে শক্তি স্থানান্তর করে, যার ফলে তারা পদার্থের পৃষ্ঠ থেকে দূরে সরে যায় এবং তারপর ওয়ার্কপিসে জমা হয়ে একটি পাতলা ফিল্ম তৈরি করে। আয়ন রশ্মি দ্বারা উৎপাদিত স্পুটারিংয়ের কারণে, স্পুটারড ফিল্ম লেয়ার পরমাণুগুলির শক্তি খুব বেশি থাকে এবং লক্ষ্য উপাদানটি উচ্চ ভ্যাকুয়ামে আয়ন রশ্মি দিয়ে বোমাবর্ষণ করা হয়, ফিল্ম লেয়ারের বিশুদ্ধতা বেশি থাকে এবং উচ্চমানের ফিল্ম জমা করা যায়, যখন আয়ন রশ্মি ফিল্ম লেয়ারের স্থায়িত্ব উন্নত হয়, যা ফিল্ম লেয়ারের অপটিক্যাল এবং যান্ত্রিক বৈশিষ্ট্য উন্নত করার উদ্দেশ্য অর্জন করতে পারে। আয়ন রশ্মি স্পুটারিংয়ের উদ্দেশ্য হল নতুন পাতলা ফিল্ম উপকরণ তৈরি করা।
2. আয়ন বিম এচিং
আয়ন বিম এচিং হল একটি মাঝারি-শক্তির আয়ন বিম বোমাবর্ষণ যা উপাদানের পৃষ্ঠের উপর স্পুটারিং, এচিং প্রভাব তৈরি করে, এটি একটি সেমিকন্ডাক্টর ডিভাইস, অপটোইলেকট্রনিক ডিভাইস এবং গ্রাফিক্স কোর প্রযুক্তির উৎপাদনের অন্যান্য ক্ষেত্র। সেমিকন্ডাক্টর ইন্টিগ্রেটেড সার্কিটে চিপ তৈরির প্রযুক্তিতে Φ12in (Φ304.8 মিমি) ব্যাস বিশিষ্ট একটি একক-স্ফটিক সিলিকন ওয়েফারে লক্ষ লক্ষ ট্রানজিস্টর প্রস্তুত করা জড়িত। প্রতিটি ট্রানজিস্টর বিভিন্ন ফাংশন সহ পাতলা ফিল্মের একাধিক স্তর থেকে তৈরি করা হয়, যার মধ্যে একটি সক্রিয় স্তর, একটি অন্তরক স্তর, একটি বিচ্ছিন্ন স্তর এবং একটি পরিবাহী স্তর থাকে। প্রতিটি কার্যকরী স্তরের নিজস্ব প্যাটার্ন থাকে, তাই কার্যকরী ফিল্মের প্রতিটি স্তর প্রলেপ দেওয়ার পরে, অপ্রয়োজনীয় অংশগুলিকে একটি আয়ন বিম দিয়ে খোদাই করতে হয়, যা দরকারী ফিল্ম উপাদানগুলিকে অক্ষত রাখে। আজকাল, চিপের তারের প্রস্থ 7 মিমি পৌঁছেছে এবং এত সূক্ষ্ম প্যাটার্ন তৈরির জন্য আয়ন বিম এচিং প্রয়োজন। আয়ন বিম এচিং হল একটি শুষ্ক এচিং পদ্ধতি যা শুরুতে ব্যবহৃত ওয়েট এচিং পদ্ধতির তুলনায় উচ্চ এচিং নির্ভুলতা সহ।
নিষ্ক্রিয় আয়ন বিম এচিং এবং সক্রিয় আয়ন বিম এচিং সহ আয়ন বিম এচিং প্রযুক্তি দুটি ধরণের। আর্গন আয়ন বিম এচিং সহ প্রথমটি ভৌত বিক্রিয়ার অন্তর্গত; দ্বিতীয়টি ফ্লোরিন আয়ন বিম স্পুটারিং সহ, ফ্লোরিন আয়ন বিম উচ্চ শক্তির পাশাপাশি ট্রাম্পের ভূমিকা তৈরি করে, ফ্লোরিন আয়ন বিম SiO দিয়েও এচ করা যেতে পারে।2、সি3N4、GaA、W এবং অন্যান্য পাতলা ফিল্মের একটি রাসায়নিক বিক্রিয়া থাকে, এটি উভয়ই ভৌত বিক্রিয়া প্রক্রিয়া, তবে আয়ন বিম এচিং প্রযুক্তির রাসায়নিক বিক্রিয়া প্রক্রিয়াতেও, এচিংয়ের হার দ্রুত। বিক্রিয়া এচিং ক্ষয়কারী গ্যাসগুলি CF4, গ2F6、সিসিএল৪、বিসিএল3, ইত্যাদি, SiF এর জন্য উৎপন্ন বিক্রিয়ক4、SiCl4、জিসিএল3;, এবং WF6 ক্ষয়কারী গ্যাস নিষ্কাশন করা হয়। উচ্চ প্রযুক্তির পণ্য উৎপাদনের জন্য আয়ন বিম এচিং প্রযুক্তি হল মূল প্রযুক্তি।
–এই প্রবন্ধটি প্রকাশিত হয়েছেভ্যাকুয়াম লেপ মেশিন প্রস্তুতকারকগুয়াংডং জেনহুয়া
পোস্টের সময়: অক্টোবর-২৪-২০২৩