(৩) রেডিও ফ্রিকোয়েন্সি প্লাজমা সিভিডি (RFCVD) দুটি ভিন্ন পদ্ধতিতে প্লাজমা তৈরি করতে RF ব্যবহার করা যেতে পারে, ক্যাপাসিটিভ কাপলিং পদ্ধতি এবং ইন্ডাক্টিভ কাপলিং পদ্ধতি। RF প্লাজমা CVD 13.56 MHz ফ্রিকোয়েন্সি ব্যবহার করে। RF প্লাজমার সুবিধা হল এটি মাইক্রোওয়েভ প্লাজমার তুলনায় অনেক বড় এলাকা জুড়ে ছড়িয়ে পড়ে। তবে, RF ক্যাপাসিটিভলি কাপলড প্লাজমার সীমাবদ্ধতা হল প্লাজমার ফ্রিকোয়েন্সি স্পুটারিংয়ের জন্য সর্বোত্তম নয়, বিশেষ করে যদি প্লাজমাতে আর্গন থাকে। ক্যাপাসিটিভলি কাপলড প্লাজমা উচ্চ মানের হীরার ফিল্ম তৈরির জন্য উপযুক্ত নয় কারণ প্লাজমা থেকে আয়ন বোমাবর্ষণ হীরার মারাত্মক ক্ষতি করতে পারে। মাইক্রোওয়েভ প্লাজমা CVD এর অনুরূপ জমা অবস্থায় RF প্ররোচিত প্লাজমা ব্যবহার করে পলিক্রিস্টালাইন হীরার ফিল্ম তৈরি করা হয়েছে। RF-প্ররোচিত প্লাজমা-বর্ধিত CVD ব্যবহার করে সমজাতীয় এপিট্যাক্সিয়াল হীরার ফিল্মও পাওয়া গেছে।
(৪) ডিসি প্লাজমা সিভিডি
ডিসি প্লাজমা হল হীরার ফিল্ম বৃদ্ধির জন্য গ্যাস উৎস (সাধারণত H2 এবং হাইড্রোকার্বন গ্যাসের মিশ্রণ) সক্রিয় করার আরেকটি পদ্ধতি। ডিসি প্লাজমা-সহায়তাপ্রাপ্ত সিভিডিতে হীরার ফিল্মের বৃহৎ এলাকা বৃদ্ধি করার ক্ষমতা রয়েছে এবং বৃদ্ধির ক্ষেত্রের আকার কেবল ইলেক্ট্রোড এবং ডিসি পাওয়ার সাপ্লাইয়ের আকার দ্বারা সীমাবদ্ধ। ডিসি প্লাজমা-সহায়তাপ্রাপ্ত সিভিডির আরেকটি সুবিধা হল একটি ডিসি ইনজেকশন তৈরি করা, এবং এই সিস্টেম দ্বারা প্রাপ্ত সাধারণ হীরার ফিল্মগুলি 80 মিমি/ঘন্টা হারে জমা হয়। এছাড়াও, যেহেতু বিভিন্ন ডিসি আর্ক পদ্ধতি উচ্চ জমার হারে নন-ডায়মন্ড সাবস্ট্রেটগুলিতে উচ্চ-মানের হীরার ফিল্ম জমা করতে পারে, তাই তারা হীরার ফিল্ম জমার জন্য একটি বাজারযোগ্য পদ্ধতি প্রদান করে।
(৫) ইলেকট্রন সাইক্লোট্রন রেজোন্যান্স মাইক্রোওয়েভ প্লাজমা বর্ধিত রাসায়নিক বাষ্প জমা (ECR-MPECVD) পূর্বে বর্ণিত ডিসি প্লাজমা, RF প্লাজমা এবং মাইক্রোওয়েভ প্লাজমা H2, বা হাইড্রোকার্বনকে পারমাণবিক হাইড্রোজেন এবং কার্বন-হাইড্রোজেন পরমাণু গ্রুপে বিচ্ছিন্ন এবং পচন করে, যার ফলে হীরার পাতলা ফিল্ম তৈরিতে অবদান রাখে। যেহেতু ইলেকট্রন সাইক্লোট্রন রেজোন্যান্স প্লাজমা উচ্চ ঘনত্বের প্লাজমা (>1x1011cm-3) তৈরি করতে পারে, তাই ECR-MPECVD হীরার ফিল্মের বৃদ্ধি এবং জমার জন্য বেশি উপযুক্ত। তবে, ECR প্রক্রিয়ায় ব্যবহৃত কম গ্যাস চাপ (10-4- থেকে 10-2 টর) এর কারণে, যার ফলে হীরার ফিল্মের জমার হার কম হয়, পদ্ধতিটি বর্তমানে শুধুমাত্র পরীক্ষাগারে হীরার ফিল্ম জমার জন্য উপযুক্ত।
–এই প্রবন্ধটি ভ্যাকুয়াম আবরণ মেশিন প্রস্তুতকারক গুয়াংডং ঝেনহুয়া দ্বারা প্রকাশিত হয়েছে
পোস্টের সময়: জুন-১৯-২০২৪