Получаването на вакуум е известно още като „вакуумно изпомпване“, което се отнася до използването на различни вакуумни помпи за отстраняване на въздуха вътре в контейнера, така че налягането в пространството да падне под една атмосфера. Понастоящем, за да се получи вакуум, често се използват устройства, включително ротационни лопаткови механични вакуумни помпи, помпи на Рутс, маслени дифузионни помпи, композитни молекулярни помпи, адсорбционни помпи с молекулярно сито, титаниеви сублимационни помпи, йонни помпи с разпрашване и криогенни помпи и т.н. При тези помпи първите четири помпи се категоризират като помпи за пренос на газ (трансферни вакуумни помпи), което означава, че газовите молекули непрекъснато се засмукват във вакуумната помпа и се изпускат във външната среда, за да се осъществи евакуацията; последните четири помпи се категоризират като помпи за улавяне на газ (улавящи вакуумни помпи), които са молекулярно кондензирани или химически свързани към вътрешната стена на помпената камера, за да се получи необходимият вакуум. Газоулавящите помпи се наричат още безмаслени вакуумни помпи, защото не използват масло като работна среда. За разлика от трансферните помпи, които трайно отстраняват газа, някои улавящи помпи са обратими, което позволява събраният или кондензиран газ да се изпусне обратно в системата по време на процеса на нагряване.
Трансферните вакуумни помпи се разделят на две основни категории: обемни и импулсни. Обемните трансферни помпи обикновено включват ротационни лопаткови механични помпи, течно-пръстенови помпи, бутални помпи и Roots помпи; импулсните вакуумни помпи обикновено включват молекулярни помпи, струйни помпи, маслено-дифузионни помпи. Улавящите вакуумни помпи обикновено включват нискотемпературни адсорбционни и разпрашителни йонни помпи.
Като цяло, процесът на нанасяне на покритие е различен, като нивото на вакуум във вакуумната камера за нанасяне на покритие трябва да е различно, а във вакуумната технология това ниво се изразява по-скоро с фоновия вакуум (известен още като вътрешен вакуум). Фоновият вакуум се отнася до вакуума във вакуумната камера за нанасяне на покритие чрез вакуумната помпа, за да се отговори на нуждите на процеса на нанасяне на покритие, като размерът на този вакуум зависи главно от капацитета на вакуумната помпа. Чрез вакуумната система вакуумът във вакуумната камера може да достигне най-високия вакуум, наречен граничен вакуум (или гранично налягане). Таблица 1-2 изброява работния диапазон на налягането на някои често срещани вакуумни помпи и максималното налягане, което може да се постигне. Защрихованите части на таблицата показват налягането, което може да се постигне от всяка вакуумна помпа, когато се използва в комбинация с друго оборудване.
–Тази статия е публикувана отпроизводител на машини за вакуумно покритиеГуандун Джънхуа
Време на публикуване: 30 август 2024 г.