Атрыманне вакууму таксама вядома як «вакуумная адпампоўка», што азначае выкарыстанне розных вакуумных помпаў для выдалення паветра ўнутры кантэйнера, каб ціск унутры прасторы апусціўся ніжэй за адну атмасферу. У цяперашні час для атрымання вакууму шырока выкарыстоўваюцца такія прылады, як ратацыйныя пласціністыя механічныя вакуумныя помпы, помпы Рутса, алейныя дыфузійныя помпы, кампазітныя малекулярныя помпы, малекулярна-сітавыя адсорбцыйныя помпы, тытанавыя сублімацыйныя помпы, распыляльныя іённыя помпы і крыягенныя помпы і гэтак далей. У гэтых помпах першыя чатыры помпы класіфікуюцца як газапераносныя помпы (трансферныя вакуумныя помпы), што азначае, што малекулы газу бесперапынна ўсмоктваюцца ў вакуумную помпу і выкідваюцца ў навакольнае асяроддзе для рэалізацыі адпампоўкі; апошнія чатыры помпы класіфікуюцца як газазахопныя помпы (захопныя вакуумныя помпы), якія малекулярна кандэнсуюцца або хімічна звязваюцца на ўнутранай сценцы камеры помпы для атрымання неабходнага вакууму. Газазахопныя помпы таксама называюцца безмаслянымі вакуумнымі помпамі, таму што яны не выкарыстоўваюць алей у якасці працоўнага цела. У адрозненне ад пераносных помпаў, якія пастаянна выдаляюць газ, некаторыя захопныя помпы з'яўляюцца рэверсіўнымі, што дазваляе сабранаму або кандэнсаванаму газу вяртацца ў сістэму падчас працэсу награвання.
Вакуумныя помпы для пераносу імпульсу падзяляюцца на дзве асноўныя катэгорыі: аб'ёмныя і імпульсныя. Да аб'ёмных помпаў для пераносу імпульсу звычайна адносяцца ратацыйныя пласціністыя механічныя помпы, вадкасныя кольцавыя помпы, поршневыя помпы і помпы Рутса; вакуумныя помпы для пераносу імпульсу звычайна адносяцца да малекулярных помпаў, струменевых помпаў, алейных дыфузійных помпаў. Вакуумныя помпы для ўлоўлівання звычайна адносяцца да нізкатэмпературных адсорбцыйных і распыляльных іённых помпаў.
У цэлым, працэс нанясення пакрыцця адрозніваецца, узровень вакууму ў вакуумнай камеры павінен быць розным, а ў вакуумнай тэхналогіі гэта больш падобны ўзровень фонавага вакууму (таксама вядомы як унутраны вакуум). Фонавы вакуум адносіцца да вакууму ў вакуумнай камеры для нанясення пакрыцця, які ствараецца праз вакуумны помпа для задавальнення патрэб працэсу нанясення пакрыцця, і памер гэтага вакууму ў асноўным залежыць ад магутнасці вакуумнага адпампоўвання. Максімальны вакуум у вакуумнай камеры з дапамогай сваёй вакуумнай сістэмы называецца гранічным вакуумам (або гранічным ціскам). У табліцы 1-2 прыведзены дыяпазон рабочага ціску некаторых распаўсюджаных вакуумных помпаў і гранічны ціск, які можна атрымаць. Заштрыхаваныя часткі табліцы паказваюць ціск, які можа быць атрыманы кожным вакуумным помпам пры выкарыстанні ў спалучэнні з іншым абсталяваннем.
–Гэты артыкул апублікаванывытворца вакуумных пакрыццяўГуандун Чжэньхуа
Час публікацыі: 30 жніўня 2024 г.