(3) Radiotezlikli Plazma CVD (RFCVD)RF iki müxtəlif üsulla plazma yaratmaq üçün istifadə edilə bilər, tutumlu birləşmə üsulu və induktiv birləşmə üsulu. RF plazma CVD 13,56 MHz tezliyindən istifadə edir. RF plazmasının üstünlüyü ondan ibarətdir ki, o, mikrodalğalı plazma ilə məhdudlaşan HH ilə müqayisədə daha geniş əraziyə yayılır. plazmanın tezliyi sputtering üçün optimal deyil, xüsusilə plazma arqon ehtiva edir. Capacitively coupled plazma yüksək keyfiyyətli almaz filmlər yetişdirilməsi üçün uyğun deyil, çünki plazmadan ion bombardmanı almaza ciddi ziyan vura bilər. Polikristal almaz plyonkaları mikrodalğalı plazma CVD-yə bənzər çökmə şəraitində RF induksiyalı plazmadan istifadə etməklə yetişdirilmişdir. Homojen epitaksial almaz filmləri də RF-induksiya edilmiş plazma ilə gücləndirilmiş CVD-dən istifadə etməklə əldə edilmişdir.
(4) DC Plazma CVD
DC plazma, almaz təbəqəsinin böyüməsi üçün qaz mənbəyini (ümumiyyətlə H2 və karbohidrogen qazının qarışığı) aktivləşdirməyin başqa bir üsuludur. DC plazma ilə dəstəklənən CVD almaz plyonkalarının böyük sahələrini böyütmək qabiliyyətinə malikdir və böyümə sahəsinin ölçüsü yalnız elektrodların ölçüsü və DC enerji təchizatı ilə məhdudlaşır. sistem 80 mm/saat sürətlə çökdürülür. Bundan əlavə, müxtəlif DC qövs üsulları yüksək çökmə sürətlərində almaz olmayan substratlarda yüksək keyfiyyətli almaz filmləri yerləşdirə bildiyindən, onlar almaz filmlərinin çökdürülməsi üçün satıla bilən bir üsul təmin edirlər.
(5) Elektron siklotron rezonans mikrodalğalı plazma gücləndirilmiş kimyəvi buxar çökmə (ECR-MPECVD) Daha əvvəl təsvir edilən DC plazma, RF plazma və mikrodalğalı plazma H2 və ya karbohidrogenləri atom hidrogen və karbon-hidrogen atom qruplarına ayırır və parçalayır və bununla da almaz təbəqələrinin əmələ gəlməsinə kömək edir. Elektron siklotron rezonans plazması yüksək sıxlıqlı plazma (>1x1011sm-3) istehsal edə bildiyindən, ECR-MPECVD almaz plyonkalarının böyüməsi və çökməsi üçün daha münasibdir. Bununla belə, ECR prosesində istifadə edilən qaz təzyiqinin aşağı olması (10-4-dən 10-2 Torr) səbəbindən, hazırda almazın aşağı çökmə sürəti ilə nəticələnir. laboratoriyada.
– Bu məqalə vakuum örtük maşın istehsalçısı Guangdong Zhenhua tərəfindən buraxılmışdır
Göndərmə vaxtı: 19 iyun 2024-cü il