(3) ترسيب البخار الكيميائي للبلازما بترددات الراديو (RFCVD): يمكن استخدام ترسيب البخار الكيميائي للبلازما بترددات الراديو لتوليد البلازما بطريقتين مختلفتين، هما طريقة الاقتران السعوي وطريقة الاقتران الحثي. يستخدم ترسيب البخار الكيميائي للبلازما بترددات الراديو ترددًا قدره 13.56 ميجاهرتز. تكمن ميزة بلازما الترددات الراديوية في أنها تنتشر على مساحة أكبر بكثير من بلازما الموجات الدقيقة. ومع ذلك، فإن قيود البلازما المقترنة بالسعة بترددات الراديو هي أن تردد البلازما ليس مثاليًا للرش، خاصةً إذا كانت البلازما تحتوي على الأرجون. البلازما المقترنة بالسعة غير مناسبة لتنمية أغشية الماس عالية الجودة لأن القصف الأيوني من البلازما يمكن أن يؤدي إلى تلف شديد للماس. تمت تنمية أغشية الماس متعدد البلورات باستخدام البلازما المستحثة بترددات الراديو في ظل ظروف ترسيب مماثلة لترسيب البخار الكيميائي للبلازما بالموجات الدقيقة. كما تم الحصول على أغشية الماس المتجانسة باستخدام ترسيب البخار الكيميائي المعزز بالبلازما المستحث بترددات الراديو.
(4) ترسيب البخار الكيميائي للبلازما بالتيار المستمر
بلازما التيار المستمر هي طريقة أخرى لتنشيط مصدر غاز (عادةً خليط من الهيدروجين وغاز الهيدروكربون) لنمو أغشية الماس. تتميز تقنية الترسيب الكيميائي البخاري بمساعدة بلازما التيار المستمر بالقدرة على نمو مساحات كبيرة من أغشية الماس، ويقتصر حجم منطقة النمو على حجم الأقطاب الكهربائية ومصدر طاقة التيار المستمر. ومن مزايا تقنية الترسيب الكيميائي البخاري بمساعدة بلازما التيار المستمر تكوين حقن تيار مستمر، حيث يتم ترسيب أغشية الماس النموذجية التي يتم الحصول عليها باستخدام هذا النظام بمعدل 80 مم/ساعة. بالإضافة إلى ذلك، ونظرًا لأن طرق قوس التيار المستمر المختلفة يمكنها ترسيب أغشية الماس عالية الجودة على ركائز غير ماسية بمعدلات ترسيب عالية، فإنها توفر طريقة رائجة لترسيب أغشية الماس.
(5) ترسيب البخار الكيميائي المُحسَّن ببلازما الموجات الدقيقة باستخدام الرنين السيكلوتروني الإلكتروني (ECR-MPECVD): تُفكك بلازما التيار المستمر، وبلازما الترددات الراديوية، وبلازما الموجات الدقيقة الموصوفة سابقًا، وتُحلِّل الهيدروجين (H2)، أو الهيدروكربونات، إلى مجموعات ذرية من الهيدروجين ومجموعات ذرات الكربون والهيدروجين، مما يُسهم في تكوين أغشية رقيقة من الماس. ولأن بلازما الرنين السيكلوتروني الإلكتروني قادرة على إنتاج بلازما عالية الكثافة (>1x1011cm-3)، فإن تقنية ECR-MPECVD تُعدّ أكثر ملاءمة لنمو وترسيب أغشية الماس. ومع ذلك، نظرًا لانخفاض ضغط الغاز (10-4- إلى 10-2 تور) المُستخدم في عملية ECR، والذي يُنتج معدل ترسيب منخفض لأغشية الماس، فإن هذه الطريقة لا تُناسب حاليًا سوى ترسيب أغشية الماس في المختبر.
– تم نشر هذه المقالة بواسطة شركة Guangdong Zhenhua المصنعة لآلات طلاء الفراغ
وقت النشر: ١٩ يونيو ٢٠٢٤