በሙቀት የተሞላ የኬሚካል ትነት ክምችት

በአጠቃላይ የሲቪዲ ምላሾች በከፍተኛ ሙቀት ላይ ይመረኮዛሉ, ስለዚህም በሙቀት ስሜት የሚቀሰቀስ የኬሚካል ትነት ክምችት (TCVD) ይባላል. በአጠቃላይ ኦርጋኒክ ያልሆኑ ቅድመ-ቅጦችን ይጠቀማል እና በሙቅ ግድግዳ እና በቀዝቃዛ ግድግዳ ማሞቂያዎች ውስጥ ይከናወናል. የእሱ ማሞቂያ ዘዴዎች የሬዲዮ ፍሪኩዌንሲ (RF) ማሞቂያ, የኢንፍራሬድ ጨረሮች ማሞቂያ, የመቋቋም ማሞቂያ, ወዘተ.

የሙቅ ግድግዳ ኬሚካላዊ የእንፋሎት ማጠራቀሚያ
እንደ እውነቱ ከሆነ የሙቅ ግድግዳ ኬሚካላዊ የእንፋሎት ማጠራቀሚያ (ሪአክተር) ቴርሞስታቲክ እቶን ነው ፣ ብዙውን ጊዜ በተከላካይ ንጥረ ነገሮች ይሞቃል ፣ ለጊዜያዊ ምርት። የሙቅ ግድግዳ ኬሚካላዊ የእንፋሎት ማጠራቀሚያ ማምረቻ ቦታን ለቺፕ መሳሪያ ሽፋን መሳል እንደሚከተለው ቀርቧል። ይህ የሙቅ ግድግዳ ኬሚካላዊ የእንፋሎት ክምችት ቲኤንን፣ ቲሲን፣ ቲሲኤን እና ሌሎች ቀጭን ፊልሞችን ሊለብስ ይችላል። ሬአክተሩ በበቂ መጠን ሊነደፍ ይችላል ከዚያም ብዙ አካላትን ይይዛል፣ እና ሁኔታዎቹ ለማስቀመጥ በጣም በትክክል ሊቆጣጠሩ ይችላሉ። ስእል 1 ሴሚኮንዳክተር መሳሪያ ለማምረት ለሲሊኮን ዶፒንግ የኤፒታክሲያል ንብርብር መሳሪያ ያሳያል። በምድጃው ውስጥ ያለው ንጥረ ነገር በንጣፎች የተከማቸበትን ቦታ መበከል ለመቀነስ እና የምርት ጭነትን በከፍተኛ ሁኔታ ለመጨመር በአቀባዊ አቅጣጫ ይቀመጣል። ለሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ሙቅ-ግድግዳ ማሞቂያዎች ብዙውን ጊዜ በዝቅተኛ ግፊት ይሠራሉ.