የአልማዝ ቀጭን ፊልሞች ቴክኖሎጂ-ምዕራፍ2

(3) የሬድዮ ፍሪኩዌንሲ ፕላዝማ ሲቪዲ (RFCVD) RF ፕላዝማን በሁለት የተለያዩ ዘዴዎች ለማመንጨት ሊጠቅም ይችላል፣ አቅም ያለው ትስስር ዘዴ እና ኢንዳክቲቭ ትስስር ዘዴ።RF plasma CVD 13.56 MHz ድግግሞሽ ይጠቀማል። በተለይም ፕላዝማው አርጎን ከያዘ።በአቅም የተጣመረ ፕላዝማ ከፍተኛ ጥራት ያላቸውን የአልማዝ ፊልሞችን ለማምረት ተስማሚ አይደለም ምክንያቱም ከፕላዝማ የሚገኘው ion bombardment በአልማዝ ላይ ከፍተኛ ጉዳት ያስከትላል። ከማይክሮዌቭ ፕላዝማ ሲቪዲ ጋር ተመሳሳይ በሆነ የማስቀመጫ ሁኔታዎች ውስጥ ፖሊክሪስታልላይን አልማዝ ፊልሞች በ RF-induced ፕላዝማ ተጠቅመዋል።

(4) የዲሲ ፕላዝማ ሲቪዲ

የዲሲ ፕላዝማ የጋዝ ምንጭ (በአጠቃላይ የኤች 2 እና የሃይድሮካርቦን ጋዝ ድብልቅ) የአልማዝ ፊልም እድገትን የማግበር ዘዴ ነው ። በዲሲ ፕላዝማ የታገዘ ሲቪዲ የአልማዝ ፊልሞችን ሰፋፊ ቦታዎችን የማደግ ችሎታ አለው ፣ እና የእድገት ቦታው ስፋት በኤሌክትሮዶች እና በዲሲ የኃይል አቅርቦት ብቻ የተገደበ ነው ። ሌላው የዲሲ ፕላዝማ የታገዘ የሲቪዲ ጥቅም የአልማዝ ፊልም መፈጠር ነው ፣ እና ይህ በዲሲ ፕላዝማ የታገዘ የሲቪዲ መጠን በዲሲ መርፌ ነው ። ሚሜ / ሰ በተጨማሪም የተለያዩ የዲሲ ቅስት ዘዴዎች ከፍተኛ ጥራት ያላቸውን የአልማዝ ፊልሞችን በአልማዝ ባልሆኑ እቃዎች ላይ በከፍተኛ ፍጥነት በማስቀመጥ የአልማዝ ፊልሞችን ለማስቀመጥ የሚያስችል የገበያ ዘዴን ያቀርባሉ.

(5) ኤሌክትሮን ሳይክሎሮን ሬዞናንስ ማይክሮዌቭ ፕላዝማ የተሻሻለ የኬሚካል ትነት ክምችት (ECR-MPECVD) ቀደም ሲል የተገለጹት የዲሲ ፕላዝማ፣ RF ፕላዝማ እና ማይክሮዌቭ ፕላዝማ ሁሉም H2 ወይም ሃይድሮካርቦኖች ወደ አቶሚክ ሃይድሮጂን እና ካርቦን-ሃይድሮጂን አቶም ቡድኖች ይከፋፈላሉ፣ በዚህም የአልማዝ ቀጭን ፊልሞች እንዲፈጠሩ አስተዋፅዖ ያደርጋል። የኤሌክትሮን ሳይክሎትሮን ሬዞናንስ ፕላዝማ ከፍተኛ ጥግግት ፕላዝማ (> 1x1011cm-3) ለማምረት ይችላል ጀምሮ, ECR-MPECVD የአልማዝ ፊልሞች እድገት እና ማስቀመጥ ይበልጥ ተስማሚ ነው.ነገር ግን, ምክንያት ዝቅተኛ ጋዝ ግፊት (10-4-10-2 Torr) በ ECR ሂደት ውስጥ ጥቅም ላይ የዋለው, ይህም ምክንያት, በአሁኑ የአልማዝ ፊልሞች ዝቅተኛ የሰው ጉልበት መጠን እንዲፈጠር ለማድረግ, ዘዴው ለፊልሙ አቀማመጥ ተስማሚ ነው.

- ይህ ጽሑፍ የተለቀቀው በቫኩም ሽፋን ማሽን አምራች ጓንግዶንግ ዠንዋ ነው።