Vakuumverkryging staan ook bekend as "vakuumpomping", wat verwys na die gebruik van verskillende vakuumpompe om die lug binne die houer te verwyder, sodat die druk binne die ruimte tot onder een atmosfeer daal. Tans word algemeen gebruikte toestelle soos roterende vaan meganiese vakuumpompe, wortelpompe, oliediffusiepompe, saamgestelde molekulêre pompe, molekulêre sifadsorpsiepompe, titanium sublimasiepompe, sputterioonpompe en kriogeniese pompe, ensovoorts, gebruik om die vakuum te verkry. In hierdie pompe word die eerste vier pompe gekategoriseer as gasoordragpompe (oordragvakuumpompe), wat beteken dat die gasmolekules voortdurend in die vakuumpomp ingesuig en na die eksterne omgewing ontlaai word om die ontruiming te bewerkstellig; die laaste vier pompe word gekategoriseer as gasvangpompe (vangvakuumpompe), wat molekulêr gekondenseer of chemies gebind word aan die binnewand van die pompkamer om die vereiste vakuum te verkry. Gasvangpompe word ook olievrye vakuumpompe genoem omdat hulle nie olie as werkmedium gebruik nie. Anders as oordragpompe, wat die gas permanent verwyder, is sommige vangpompe omkeerbaar, wat toelaat dat die versamelde of gekondenseerde gas tydens die verhittingsproses terug in die stelsel ontlaai word.
Oordragvakuumpompe word in twee hoofkategorieë verdeel: volumetriese en momentum-oordrag. Volumetriese oordragpompe sluit gewoonlik roterende vaanmeganiese pompe, vloeistofringpompe, suierpompe en wortelpompe in; momentum-oordragvakuumpompe sluit gewoonlik molekulêre pompe, straalpompe en oliediffusiepompe in. Vangvakuumpompe sluit gewoonlik lae-temperatuur adsorpsie- en verstuiwingsioonpompe in.
Oor die algemeen verskil die bedekkingsproses, die vakuum in die vakuumbedekkingskamer moet verskillende vlakke bereik, en in vakuumtegnologie word die vlak meer na die agtergrondvakuum (ook bekend as intrinsieke vakuum) verwys. Die agtergrondvakuum verwys na die vakuum van die vakuumbedekkingskamer deur die vakuumpomp om aan die behoeftes van die bedekkingsproses van die hoogste vakuum te voldoen, en die grootte van hierdie vakuum hang hoofsaaklik af van die vakuumpompkapasiteit. Die vakuum wat deur sy vakuumstelsel die hoogste vakuum kan bereik, word die limietvakuum (of limietdruk) genoem. Tabel 1-2 lys die werkdrukbereik van sommige algemene vakuumpompe en die uiteindelike druk wat verkry kan word. Die gearseerde gedeeltes van die tabel verteenwoordig die druk wat deur elke vakuumpomp verkry kan word wanneer dit in kombinasie met ander toerusting gebruik word.
–Hierdie artikel word vrygestel deurvervaardiger van vakuumbedekkingsmasjieneGuangdong Zhenhua
Plasingstyd: 30 Augustus 2024