Àmì pàtàkì ti ọ̀nà ìtújáde fíìmù fún fífi fíìmù sílẹ̀ ni ìwọ̀n ìtújáde gíga. Àmì pàtàkì ti ọ̀nà ìtújáde ni onírúurú àwọn ohun èlò fíìmù tó wà àti ìbáramu tó dára ti ìpele fíìmù náà, ṣùgbọ́n ìwọ̀n ìtújáde náà kéré. Ìbòrí ion jẹ́ ọ̀nà kan tí ó so àwọn iṣẹ́ méjèèjì wọ̀nyí pọ̀.
Ilana ti a bo ion ati awọn ipo iṣelọpọ fiimu
Ìlànà iṣẹ́ ti ìbòrí ion ni a fi hàn nínú àwòrán náà. A fi iyàrá ìfàmọ́ra náà sínú ìfúnpọ̀ tí ó wà ní ìsàlẹ̀ 10-4 Pa, lẹ́yìn náà a fi gaasi aláìṣiṣẹ́ kún un (fún àpẹẹrẹ argon) sí ìfúnpọ̀ tí ó wà ní 0.1~1 Pa. Lẹ́yìn tí a bá fi foliteji DC tí kò dára tó 5 kV sí orí substrate náà, a ó gbé agbègbè ìtújáde gaasi onítẹ̀sí kékeré kalẹ̀ láàrín substrate àti crucible. A ó mú kí àwọn ion gaasi aláìṣiṣẹ́ yára nípasẹ̀ pápá iná mànàmáná, a ó sì fi bo ojú substrate náà, èyí yóò sì mú kí ojú iṣẹ́ náà mọ́. Lẹ́yìn tí a bá ti parí iṣẹ́ ìwẹ̀nùmọ́ yìí, ìlànà ìbòjú náà bẹ̀rẹ̀ pẹ̀lú ìtújáde ohun èlò tí a ó fi bo inú crucible náà. Àwọn patikulu vapor tí a ti gbó wọ inú ibi plasma náà, wọ́n sì dojúkọ àwọn ion àti electrons aláìṣiṣẹ́ tí a ti gé kúrò, àti díẹ̀ nínú àwọn patikulu vapor náà ni a ó ya sọ́tọ̀, wọ́n a sì bo ojú iṣẹ́ àti ojú ìbòjú náà lábẹ́ ìyára pápá iná mànàmáná náà. Nínú ìlànà ìbòrí ion, kìí ṣe ìbòrí nìkan ni ó wà, ṣùgbọ́n ìbòrí ions rere tún wà lórí substrate náà, nítorí náà, a lè ṣẹ̀dá fíìmù tín-ín-rín náà nígbà tí ipa ìbòrí bá pọ̀ ju ipa ìbòrí lọ.
Ìlànà ìbòrí ion, nínú èyí tí a máa ń fi àwọn ion alágbára gíga bo ilẹ̀ náà, mọ́ tónítóní gan-an, ó sì ní ọ̀pọ̀lọpọ̀ àǹfààní ní ìfiwéra pẹ̀lú ìbòrí ìfọ́ àti ìtújáde omi.
(1) Líle ìfaramọ́ tó lágbára, ìbòrí ìbòrí kì í yọ ní irọ̀rùn.
(a) Nínú ilana ìbòrí ion, ọpọlọpọ awọn patikulu agbara giga ti idasilẹ glow ṣe ni a lo lati ṣe ipa sputtering cathodic lori oju substrate naa, sputtering ati nu gaasi ati epo ti a fi sinu oju substrate naa lati sọ oju substrate di mimọ titi gbogbo ilana ibora yoo fi pari.
(b) Ní ìpele ìbẹ̀rẹ̀ ìbòrí, ìfọ́ àti ìtújáde ara wọn wà papọ̀, èyí tí ó lè ṣẹ̀dá ìpele ìyípadà ti àwọn èròjà ní ìsopọ̀ ìpìlẹ̀ fíìmù náà tàbí àdàpọ̀ ohun èlò fíìmù náà àti ohun èlò ìpìlẹ̀ náà, tí a ń pè ní “pseudo-diffusion layer”, èyí tí ó lè mú kí iṣẹ́ ìsopọ̀ fíìmù náà sunwọ̀n síi.
(2) Àwọn ànímọ́ ìfọwọ́sowọ́pọ̀ tó dára. Ìdí kan ni pé àwọn átọ̀mù ohun èlò ìfọwọ́sowọ́pọ̀ ni a máa ń yọ́ ion lábẹ́ ìfúnpá gíga, wọ́n sì máa ń bá àwọn molecule gaasi jà ní ọ̀pọ̀ ìgbà nígbà tí wọ́n bá ń dé orí substrate náà, kí àwọn ion ohun èlò ìfọwọ́sowọ́pọ̀ lè fọ́nká káàkiri substrate náà. Ní àfikún, àwọn átọ̀mù ohun èlò ìfọwọ́sowọ́pọ̀ tí a ti ionized wà lórí ojú substrate náà lábẹ́ iṣẹ́ pápá iná mànàmáná, nítorí náà gbogbo substrate náà ni a fi fíìmù tín-tín kan pamọ́ sí, ṣùgbọ́n ìfọ́ ìfọ́ kò lè ṣe àṣeyọrí yìí.
(3) Didara giga ti ibora naa jẹ nitori sputtering ti awọn condensates ti o fa nipasẹ bomber nigbagbogbo ti fiimu ti a fi sinu pẹlu awọn ions rere, eyiti o mu iwuwo ti fẹlẹfẹlẹ ibora naa dara si.
(4) A le fi ọpọlọpọ awọn ohun elo ti a fi bo ati awọn ohun elo ti a fi bo ara wọn lori awọn ohun elo irin tabi ti kii ṣe irin.
(5) Ní ìfiwéra pẹ̀lú ìforúkọsílẹ̀ èéfín kẹ́míkà (CVD), ó ní ìwọ̀n otútù tí ó kéré sí i, tí ó sábà máa ń wà ní ìsàlẹ̀ 500°C, ṣùgbọ́n agbára ìsopọ̀ rẹ̀ jọra pátápátá pẹ̀lú àwọn fíìmù ìforúkọsílẹ̀ èéfín kẹ́míkà.
(6) Oṣuwọn gbigbejade giga, ṣiṣẹda fiimu yarayara, ati pe o le bo sisanra ti awọn fiimu lati mẹwa awọn nanometers si awọn maikironi.
Àwọn àléébù ìbòrí ion ni: a kò le ṣàkóso sisanra fíìmù náà dáadáa; ìpele àbùkù ga nígbà tí a bá nílò ìbòrí dídán; àwọn gáàsì yóò sì wọ inú ojú ilẹ̀ nígbà tí a bá ń bo, èyí tí yóò yí àwọn ànímọ́ ojú ilẹ̀ padà. Ní àwọn ìgbà míì, a tún ń ṣẹ̀dá àwọn ihò àti nuclei (tí kò tó 1 nm).
Ní ti ìwọ̀n ìfipamọ́, ìbòrí ion jọ ọ̀nà ìfọ́. Ní ti dídára fíìmù, àwọn fíìmù tí a fi ìbòrí ion ṣe sún mọ́ tàbí sàn ju àwọn tí a fi ìbòrí ion ṣe lọ.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù kọkànlá-08-2022