Is í an phríomhghné den mhodh galú bhfolús chun scannáin a thaisceadh ná an ráta ard taisce.Is é príomhghné an mhodh sputtering an raon leathan ábhar scannáin atá ar fáil agus dea-aonfhoirmeacht na ciseal scannáin, ach tá an ráta taisce íseal.Is modh é sciath ian a chomhcheanglaíonn an dá phróiseas seo.
Prionsabal sciath ian agus coinníollacha foirmithe scannáin
Léirítear prionsabal oibre an bhrataithe ian sa Pic.Déantar an seomra folúis a phumpáil go brú faoi bhun 10-4 Pa, agus ansin é a líonadh le gás támh (eg argón) go brú 0.1~1 Pa. Tar éis voltas DC diúltach suas le 5 kV a chur i bhfeidhm ar an tsubstráit, a bunaítear crios plasma urscaoilte glow gáis brú íseal idir an tsubstráit agus an breogán.Déantar na hiain gháis támha a luathú ag an réimse leictreach agus bombard a dhéanamh ar dhromchla an tsubstráit, rud a ghlanadh dromchla an phíosa oibre.Tar éis an próiseas glantacháin seo a bheith críochnaithe, tosaíonn an próiseas brataithe le galú an ábhair atá le brataithe sa bhreogán.Téann na cáithníní galaithe isteach sa chrios plasma agus imbhuaileann siad leis na hiain támh támhacha dícheangailte agus na leictreoin, agus déantar cuid de na cáithníní gaile a dhícheangal agus bombardaíonn siad an saotharphíosa agus an dromchla brataithe faoi luasghéarú an réimse leictrigh.Sa phróiseas plating ian, ní hamháin taisceadh ach freisin sputtering na n-ian dearfacha ar an tsubstráit, mar sin ní féidir an scannán tanaí a fhoirmiú ach amháin nuair a bhíonn an éifeacht taisce níos mó ná an éifeacht sputtering.
Tá an próiseas sciath ian, ina bhfuil an tsubstráit bombardaithe i gcónaí le hiain ardfhuinnimh, an-ghlan agus tá roinnt buntáistí aige i gcomparáid le sciath sputtering agus galú.
(1) Greamaitheacht láidir, ní craiceann an ciseal sciath go héasca.
(a) Sa phróiseas sciath ian, úsáidtear líon mór cáithníní ardfhuinnimh a ghineann an t-urscaoileadh glow chun éifeacht sputtering cathodach a tháirgeadh ar dhromchla an tsubstráit, ag sputtering agus ag glanadh an gháis agus an ola atá asaithe ar dhromchla an tsubstráit. tsubstráit chun dromchla an tsubstráit a íonú go dtí go mbeidh an próiseas sciath iomlán críochnaithe.
(b) Ag céim luath an bhrataithe, bíonn sputtering agus sil-leagan ann, a fhéadfaidh ciseal trasdula comhpháirteanna a fhoirmiú ag comhéadan bonn an scannáin nó meascán den ábhar scannáin agus den bhunábhar, ar a dtugtar "ciseal pseudo-idirleathadh", is féidir feabhas a chur go héifeachtach ar fheidhmíocht greamaitheachta an scannáin.
(2) Dea timfhilleadh airíonna.Cúis amháin ná go bhfuil na hadaimh ábhar sciath ianaithe faoi bhrú ard agus go n-imbhuaileann siad le móilíní gáis arís agus arís eile le linn an phróisis chun an tsubstráit a bhaint amach, ionas gur féidir na hiain ábhar sciath a scaipeadh ar fud an tsubstráit.Ina theannta sin, déantar na hadaimh ábhar sciath ianaithe a thaisceadh ar dhromchla an tsubstráit faoi ghníomhaíocht réimse leictrigh, agus mar sin déantar an tsubstráit iomlán a thaisceadh le scannán tanaí, ach ní féidir leis an sciath galú an éifeacht seo a bhaint amach.
(3) Tá ardchaighdeán an bhrataithe mar gheall ar sputtering comhdhlútháin de bharr bombardú leanúnach an scannáin thaisce le hiain dearfacha, rud a fheabhsaíonn dlús na ciseal brataithe.
(4) Is féidir le rogha leathan ábhar brataithe agus foshraitheanna a bheith brataithe ar ábhair mhiotalacha nó neamh-mhiotalacha.
(5) I gcomparáid le sil-leagan ceimiceach gaile (CVD), tá teocht an tsubstráit níos ísle aige, de ghnáth faoi bhun 500 ° C, ach tá a neart greamaitheachta inchomparáide go hiomlán le scannáin taiscí gaile ceimiceacha.
(6) Ráta ard sil-leagan, foirmiú tapa scannáin, agus d'fhéadfadh sé tiús scannán a bhratú ó na deich nanaiméadar go dtí na miocrón.
Is iad na míbhuntáistí a bhaineann le sciath ian ná: ní féidir tiús an scannáin a rialú go beacht;tá tiúchan na lochtanna ard nuair is gá sciath fíneáil;agus cuirfidh gáis isteach ar an dromchla le linn sciath, rud a athróidh airíonna an dromchla.I gcásanna áirithe, déantar cavities agus núicléis (níos lú ná 1 nm) a fhoirmiú freisin.
Maidir leis an ráta taisce, tá an sciath ian inchomparáide leis an modh galú.Maidir le cáilíocht an scannáin, tá na scannáin a tháirgtear trí sciath ian gar do nó níos fearr ná iad siúd a ullmhaítear trí sputtering.
Am postála: Nov-08-2022