Ny toetra mampiavaka ny fomba fanafanana banga amin'ny fametrahana sarimihetsika dia ny tahan'ny fametrahana avo lenta. Ny toetra mampiavaka ny fomba sputtering dia ny karazana fitaovana sarimihetsika maro samihafa sy ny fitoviana tsara amin'ny sosona sarimihetsika, saingy ambany ny tahan'ny fametrahana. Ny coating ion dia fomba iray mampifangaro ireo dingana roa ireo.
Fitsipiky ny coating ion sy ny fepetra fananganana sarimihetsika
Aseho amin'ny sary ny fomba fiasan'ny coating ion. Atsofohy amin'ny tsindry ambanin'ny 10-4 Pa ny efitrano banga, ary avy eo fenoina entona tsy mihetsika (ohatra argon) amin'ny tsindry 0.1~1 Pa. Rehefa avy ampiharina amin'ny substrate ny voltase DC ratsy hatramin'ny 5 kV, dia misy faritra plasma misy entona misy tsindry ambany eo anelanelan'ny substrate sy ny memy. Haingana noho ny saha elektrika ny ion-gazy tsy mihetsika ary mandatsaka ny velaran'ny substrate, ka manadio ny velaran'ny workpiece. Rehefa vita io dingana fanadiovana io, dia manomboka amin'ny fandoroana ny akora hosorana ao anaty memy ny dingana coating. Miditra ao amin'ny faritra plasma ny poti-etona mietona ary mifandona amin'ny ion-gazy tsy mihetsika sy elektrôna misaraka, ary ny sasany amin'ireo poti-etona dia misaraka ary mandatsaka ny workpiece sy ny velaran'ny coating eo ambanin'ny fanafainganana ny saha elektrika. Ao amin'ny dingan'ny fametahana ion, tsy vitan'ny hoe misy fametrahana fotsiny fa misy koa ny fiparitahan'ny ion tsara eo amin'ny substrate, ka ny sarimihetsika manify dia tsy azo miforona raha tsy rehefa lehibe kokoa noho ny fiparitahan'ny fametrahana ny vokatry ny fametrahana.
Ny dingana fanosorana ion, izay andrarahana ion-kery avo lenta foana ny substrate, dia tena madio ary manana tombony maro raha oharina amin'ny fanosorana sputtering sy etona.
(1) Miraikitra tsara, tsy mora miendaka ny sosona sosona.
(a) Ao amin'ny dingana fanosorana iôna, dia ampiasaina ny singa maro be angovo avo lenta ateraky ny fivoahan'ny hazavana mba hamokarana fiantraikany katôdika eo amin'ny velaran'ny substrate, manosotra sy manadio ny entona sy menaka miraikitra eo amin'ny velaran'ny substrate mba hanadiovana ny velaran'ny substrate mandra-pahavitan'ny dingana fanosorana manontolo.
(b) Amin'ny dingana voalohany amin'ny fanosorana, dia miara-miaina ny sputtering sy ny deposition, izay mety hamorona sosona tetezamita misy singa eo amin'ny fifandraisan'ny fotony sarimihetsika na fifangaroan'ny akora sarimihetsika sy ny akora fototra, antsoina hoe "sosona pseudo-diffusion", izay afaka manatsara tsara ny fahombiazan'ny adhesion an'ny sarimihetsika.
(2) Toetra tsara manodidina. Ny antony iray dia ny hoe ireo atôma akora fanosotra dia voaiônina eo ambanin'ny tsindry avo ary mifandona amin'ny molekiola entona imbetsaka mandritra ny dingan'ny fahatongavana amin'ny substrate, ka afaka miparitaka manodidina ny substrate ireo ion-kolafy fanosotra. Ankoatra izany, ireo atôma akora fanosotra voaiônina dia mipetraka eo amin'ny velaran'ny substrate eo ambanin'ny fiantraikan'ny saha elektrika, ka ny substrate manontolo dia apetraka amin'ny sarimihetsika manify, saingy ny fanosotra etona dia tsy afaka mahatratra izany vokatra izany.
(3) Ny kalitaon'ny sosona dia vokatry ny fiparitahan'ny rano mivaingana vokatry ny famelezana tsy tapaka ny sarimihetsika napetraka amin'ny iôna tsara, izay manatsara ny hakitroky ny sosona sosona.
(4) Azo atao ny manosotra amin'ny fitaovana metaly na tsy metaly ny karazana fitaovana sy sosona maro samihafa.
(5) Raha ampitahaina amin'ny fametrahana etona simika (CVD), dia manana mari-pana ambany kokoa amin'ny substrate izy, matetika latsaky ny 500°C, saingy ny tanjaky ny fifikirany dia mitovy tanteraka amin'ny sarimihetsika fametrahana etona simika.
(6) Haavo ny tahan'ny fametrahana, haingana ny fiforonan'ny sarimihetsika, ary mety hahatratra am-polony nanometatra ka hatramin'ny mikrôna ny hatevin'ny sarimihetsika.
Ireto avy ny fatiantoka amin'ny fampiasana "ion coating": tsy azo fehezina tsara ny hatevin'ny sarimihetsika; avo dia avo ny fifantohan'ny lesoka rehefa ilaina ny fampiasana "fine coating"; ary hiditra eny ambonin'ny tany ny entona mandritra ny fampiasana "coating", izay hanova ny toetran'ny ambonin'ny tany. Indraindray, miforona ihany koa ny lavaka sy ny vihy (latsaky ny 1 nm).
Raha ny tahan'ny fametrahana azy, ny coating ion dia azo ampitahaina amin'ny fomba etona. Raha ny kalitaon'ny sarimihetsika kosa, ny sarimihetsika vokarin'ny coating ion dia akaiky na tsara kokoa noho ireo nomanina tamin'ny sputtering.
Fotoana fandefasana: 08 Novambra 2022