Ikintu cy'ingenzi kiranga uburyo bwo gusohora umwuka mu buryo bwo gushyiramo firime ni uko zishyirwamo firime nyinshi. Ikintu cy'ingenzi kiranga uburyo bwo gusohora firime ni ubwoko bwinshi bw'ibikoresho bya firime biboneka hamwe n'uburyo firime ingana, ariko igipimo cyo gushyiramo firime ni gito. Uburyo bwo gusiga ion ni uburyo buhuza izi nzira zombi.
Uburyo bwo gusiga irangi rya iyoni n'imiterere ya firime
Ihame ry'imikorere y'ibumba rya iyoni rigaragara kuri Ishusho. Icyumba cy'umwuka gishyirwamo umwuka kugeza ku gitutu kiri munsi ya 10-4 Pa, hanyuma cyuzuzwa umwuka udafite umuvuduko (urugero: argon) kugeza ku gitutu cya 0.1 ~ 1 Pa. Nyuma y'uko voltage ya DC igeze kuri 5 kV ishyizwe kuri substrate, hashyirwaho agace ka plasma gasohora umwuka ufite umuvuduko muke hagati y'agace ka substrate n'agace ka crucible. Iyoni za gaze zidafite umuvuduko zihuta bitewe n'amashanyarazi kandi zigatera hejuru y'agace ka substrate, bityo bigasukura hejuru y'agace ka workpiece. Nyuma y'uko iki gikorwa cyo gusukura kirangiye, igikorwa cyo gusiga gitangirana no gushonga kw'ibikoresho bigomba gutwikirwa mu gace ka crucible. Uduce tw'umwuka twavanzwe twinjira mu gace ka plasma tugahura na iyoni na electron byavanzwe, kandi bimwe mu duce tw'umwuka biratandukana kandi bigatera hejuru y'agace ka workpiece n'agace ka cover munsi y'umuvuduko w'amashanyarazi. Mu gikorwa cyo gushyiramo ioni, ntabwo habamo gusa gushyiramo ioni nziza ahubwo habamo no gusukamo ioni nziza ku gice cy'ubutaka, bityo agahu gato gashobora kubaho gusa iyo ingaruka zo gushyiramo ioni nyinshi kurusha ingaruka zo gusukamo ioni.
Uburyo bwo gusiga irangi rya iyoni, aho substrate ihora itwikiriwe na iyoni zikoresha ingufu nyinshi, ni bwiza cyane kandi bufite ibyiza byinshi ugereranije no gusiga irangi ryayo no gusiga irangi ryayo.
(1) Ifite imiterere ikomeye kandi ipfutse ntiyoroshye kuyikuramo.
(a) Mu gikorwa cyo gusiga iyoni, umubare munini w'uduce dufite ingufu nyinshi twakozwe n'urumuri rusohoka bikoreshwa mu gutanga ingaruka zo gusukamo umwuka ku buso bw'ubutaka, gusukamo no gusukura umwuka n'amavuta byinjijwe ku buso bw'ubutaka kugira ngo bisukure ubuso bw'ubutaka kugeza igihe igikorwa cyose cyo gusigamo umwuka kirangiye.
(b) Mu ntangiriro zo gusiga, gusuka no gushyiramo ibintu bibaho, bishobora gukora urwego rw'impinduka rw'ibice biri ku gice cy'inyuma cya firime cyangwa uruvange rw'ibikoresho bya firime n'ibikoresho by'ibanze, byitwa "urwego rw'impinduka mu buryo bw'ibanga", rushobora kunoza neza imikorere ya firime.
(2) Imiterere myiza yo gupfunyika. Impamvu imwe ni uko atome z’ibikoresho byo gupfunyika zishyirwa kuri iyoni munsi y’umuvuduko mwinshi kandi zigahura na molekile za gaze inshuro nyinshi mu gihe cyo kugera kuri iyo substrate, kugira ngo iyoni z’ibikoresho byo gupfunyika zishobore gukwirakwira hirya no hino kuri iyo substrate. Byongeye kandi, atome z’ibikoresho byo gupfunyika zishyirwa ku buso bwa iyoni munsi y’imikorere y’amashanyarazi, bityo iyo substrate yose ishyirwamo agace gato, ariko iyo exivation ntishobora kugera kuri iyi ngaruka.
(3) Ubwiza bwo hejuru bw'igitambaro buterwa no gushonga kw'ibinure biterwa no gukubitana kwa firime irimo ioni nziza buri gihe, bigatuma ubucucike bw'urwego rw'igitambaro burushaho kwiyongera.
(4) Amahitamo menshi y'ibikoresho byo gusiga n'ibice bishobora gusigwa ku bikoresho by'icyuma cyangwa ibitari ibyuma.
(5) Ugereranyije no gusiga umwuka w’ubushyuhe mu buryo bwa chemical (CVD), ifite ubushyuhe buri hasi, ubusanzwe buri munsi ya 500°C, ariko imbaraga zayo zo gufatana zingana neza n’iza firime zo gusiga umwuka w’ubushyuhe mu buryo bwa chemical.
(6) Igipimo cyo hejuru cyo gushyiramo filime, gukora filime vuba, kandi ishobora gutwikira ubugari bwa filime kuva kuri nanometero icumi kugeza kuri mikoroni.
Ingaruka mbi zo gutwikira iyoni ni izi: ubugari bwa firime ntibushobora kugenzurwa neza; ubwinshi bw'ibisembwa buba bwinshi iyo hakenewe gutwikira neza; kandi imyuka izinjira mu buso mu gihe cyo gutwikira, ibyo bikazahindura imiterere y'ubuso. Hari ubwo kandi haba havutse umwobo n'ibice by'inyuma (biri munsi ya 1 nm).
Ku bijyanye n'igipimo cyo gushyiramo irangi, irangi rya iyoni rigereranywa n'uburyo bwo gusohora umwuka. Ku bijyanye n'ubwiza bwa firime, irangi rya iyoni rikorwa na firime riri hafi cyangwa riruta iryakozwe hakoreshejwe irangi.
Igihe cyo kohereza: Ugushyingo-08-2022