የአዮን ሽፋን ቴክኖሎጂ

ፊልሞችን ለማስቀመጥ የቫክዩም ትነት ዘዴ ዋና ባህሪው ከፍተኛ የመያዣ መጠን ነው። የስፐተርቲንግ ዘዴው ዋና ባህሪ ሰፊ የፊልም ቁሳቁሶች እና የፊልም ንብርብር ጥሩ ወጥነት ነው፣ ነገር ግን የመያዣ መጠን ዝቅተኛ ነው። የአዮን ሽፋን እነዚህን ሁለት ሂደቶች የሚያጣምር ዘዴ ነው።

የአዮን ሽፋን መርህ እና የፊልም ምስረታ ሁኔታዎች
የአዮን ሽፋን የአሠራር መርህ በፎቶው ላይ ይታያል። የቫክዩም ክፍሉ ከ10-4 ፓ በታች ወዳለው ግፊት ይገፋል፣ ከዚያም በንዑስ ጋዝ (ለምሳሌ አርጎን) ወደ 0.1~1 ፓ ግፊት ይሞላል። እስከ 5 ኪ.ቮ የሚደርስ አሉታዊ የዲሲ ቮልቴጅ በንዑስ ክፍሉ ላይ ከተተገበረ በኋላ፣ በንዑስ ክፍሉ እና በንዑስ ክፍሉ መካከል ዝቅተኛ ግፊት ያለው የጋዝ ፍላት ፈሳሽ ፕላዝማ ዞን ይመሰረታል። የማይንቀሳቀሱ የጋዝ አየኖች በኤሌክትሪክ መስክ ይጣደፋሉ እና የንዑስ ክፍሉን ወለል ይደበድባሉ፣ በዚህም የሥራውን ወለል ያጸዳሉ። ይህ የጽዳት ሂደት ከተጠናቀቀ በኋላ፣ የሽፋን ሂደቱ የሚጀምረው በንዑስ ክፍሉ ውስጥ የሚሸፈነውን ቁሳቁስ ትነት በመቀባት ነው። የተተኑ የእንፋሎት ቅንጣቶች ወደ ፕላዝማ ዞን ይገባሉ እና ከተነጣጠሉት የማይንቀሳቀሱ አየኖች እና ኤሌክትሮኖች ጋር ይጋጫሉ፣ እና አንዳንድ የእንፋሎት ቅንጣቶች ተለያይተው በኤሌክትሪክ መስክ ፍጥነት ስር የሥራውን ክፍል እና የሽፋን ወለል ይደበድባሉ። በአዮን ሽፋን ሂደት ውስጥ፣ በንጥረቱ ላይ የተቀመጠ ክምችት ብቻ ​​ሳይሆን የአዎንታዊ አዮኖችም መበተን አለ፣ ስለዚህ ቀጭኑ ፊልም ሊፈጠር የሚችለው የመቀመጫው ውጤት ከስፐተርቲንግ ተፅዕኖ የበለጠ ሲሆን ብቻ ነው።

የንጥረ ነገሩ ክፍል ሁልጊዜ ከፍተኛ ኃይል ባላቸው አዮኖች የሚደበደብበት የአዮን ሽፋን ሂደት በጣም ንጹህ ሲሆን ከስፕተር እና ትነት ሽፋን ጋር ሲነጻጸር በርካታ ጥቅሞች አሉት።

(1) ጠንካራ ማጣበቂያ፣ የሽፋን ንብርብር በቀላሉ አይላጭም።
(ሀ) በአዮን ሽፋን ሂደት ውስጥ፣ በግሎት ፈሳሽ የሚመነጩት ከፍተኛ መጠን ያላቸው ከፍተኛ ኃይል ያላቸው ቅንጣቶች በንጣፉ ወለል ላይ የካቶዲክ ስፕቱተርቲንግ ውጤት ለመፍጠር፣ በንጣፉ ወለል ላይ የተከማቸውን ጋዝ እና ዘይት በማጽዳት እና በማጽዳት የንጣፉ ወለል ሙሉ በሙሉ እስኪጠናቀቅ ድረስ ያጸዳሉ።
(ለ) በሽፋን መጀመሪያ ደረጃ ላይ፣ ስፕቱተር እና ዲፖዚሽን አብረው ይኖራሉ፣ ይህም በፊልሙ መሠረት በይነገጽ ላይ የክፍሎች የሽግግር ንብርብር ወይም የፊልም ቁሳቁስ እና የመሠረት ቁሳቁስ ድብልቅ ሊፈጥር ይችላል፣ ይህም “የፊልም ማጣበቅ ንብርብር” ተብሎ የሚጠራው ሲሆን ይህም የፊልሙን የማጣበቅ አፈፃፀም በብቃት ሊያሻሽል ይችላል።
(2) ጥሩ የመጠቅለያ ባህሪያት። አንዱ ምክንያት የሽፋን ቁሳቁስ አቶሞች በከፍተኛ ግፊት ስር አዮኒዝድ ስለሚሆኑ እና ወደ ንጣፉ ለመድረስ በሚደረገው ሂደት ውስጥ ከጋዝ ሞለኪውሎች ጋር ብዙ ጊዜ ስለሚጋጩ፣ የሽፋን ቁሳቁስ አዮኖች በንጣፉ ዙሪያ ሊበተኑ ይችላሉ። በተጨማሪም፣ የአዮኒዝድ ሽፋን ቁሳቁስ አቶሞች በንጣፉ ወለል ላይ በኤሌክትሪክ መስክ ተግባር ስር ይቀመጣሉ፣ ስለዚህ መላው ንጣፍ በቀጭን ፊልም ይቀመጣል፣ ነገር ግን የትነት ሽፋን ይህንን ውጤት ሊያመጣ አይችልም።
(3) የሽፋኑ ከፍተኛ ጥራት የሚመጣው በተቀመጠው ፊልም ላይ በአዎንታዊ አዮኖች ያለማቋረጥ በሚፈነዳ ቦምብ ምክንያት የሚፈጠረው የኮንደንሴትስ መበታተን ሲሆን ይህም የሽፋን ንብርብር ጥግግት ያሻሽላል።
(4) ሰፊ የሽፋን ቁሳቁሶች እና ንጣፎች በብረታ ብረት ወይም በብረት ባልሆኑ ቁሳቁሶች ላይ ሊሸፈኑ ይችላሉ።
(5) ከኬሚካል ትነት ክምችት (CVD) ጋር ሲነጻጸር፣ ዝቅተኛ የንጥረ ነገር ሙቀት አለው፣ በተለይም ከ500°ሴ በታች፣ ነገር ግን የማጣበቅ ጥንካሬው ከኬሚካል ትነት ክምችት ፊልሞች ጋር ሙሉ በሙሉ ሊወዳደር ይችላል።
(6) ከፍተኛ የማስቀመጫ ፍጥነት፣ ፈጣን የፊልም መፈጠር፣ እና ከአስር ናኖሜትሮች እስከ ማይክሮኖች ያሉ የፊልም ውፍረትን መሸፈን ይችላል።

የአዮን ሽፋን ጉዳቶች የሚከተሉት ናቸው፡ የፊልሙ ውፍረት በትክክል መቆጣጠር አይቻልም፤ ጥሩ ሽፋን ሲያስፈልግ የጉድለቶች ክምችት ከፍተኛ ነው፤ እና ጋዞች በሽፋን ወቅት ወደ ላይኛው ክፍል ይገባሉ፣ ይህም የገጽታ ባህሪያትን ይለውጣል። በአንዳንድ ሁኔታዎች፣ ክፍተቶች እና ኒውክሊየሞች (ከ1 nm በታች) እንዲሁ ይፈጠራሉ።

ስለ ማስቀመጫ መጠን፣ የአዮን ሽፋን ከትነት ዘዴ ጋር ተመሳሳይ ነው። ስለ ፊልም ጥራት፣ በአዮን ሽፋን የሚዘጋጁ ፊልሞች በስፖንተር ከተዘጋጁት ጋር ቅርብ ወይም የተሻሉ ናቸው።