Tšobotsi e ka sehloohong ea mokhoa oa ho mouoane oa vacuum bakeng sa ho kenya lifilimi ke sekhahla se phahameng sa ho kenya. Tšobotsi e ka sehloohong ea mokhoa oa ho tšela ke mefuta e mengata ea thepa ea filimi e fumanehang le ho tšoana hantle ha lera la filimi, empa sekhahla sa ho kenya se tlaase. Ho koahela li-ion ke mokhoa o kopanyang lits'ebetso tsena tse peli.
Molao-motheo oa ho koahela Ion le maemo a ho thehoa ha filimi
Molao-motheo oa ts'ebetso oa ho koahela li-ion o bontšitsoe ho Setšoantšo. Kamore ea vacuum e pompeloa khatellong e ka tlase ho 10-4 Pa, ebe e tlatsoa ka khase e sa sebetseng (mohlala, argon) khatellong ea 0.1 ~ 1 Pa. Kamora hore motlakase o fosahetseng oa DC oa ho fihlela ho 5 kV o sebelisoe ho substrate, sebaka sa plasma se nang le khanya e tlase ea khase se thehoa pakeng tsa substrate le crucible. Li-ion tsa khase tse sa sebetseng li potlakisoa ke tšimo ea motlakase 'me li hlasela bokaholimo ba substrate, ka hona li hloekisa bokaholimo ba workpiece. Kamora hore ts'ebetso ena ea ho hloekisa e phetheloe, ts'ebetso ea ho koahela e qala ka ho fetoha ha mouoane ha thepa e tla koaheloa ka har'a crucible. Likaroloana tsa mouoane tse nang le mouoane li kena sebakeng sa plasma 'me li thulana le li-ion tse sa sebetseng hantle le lielektrone tse arohaneng, 'me likaroloana tse ling tsa mouoane lia arohana 'me li hlasela workpiece le bokaholimo ba cover tlas'a potlakiso ea tšimo ea motlakase. Mokgweng wa ho betla di-ion, ha ho na feela ho betla di-ion tse ntle empa hape ho betla di-ion tse ntle hodima substrate, kahoo filimi e tshesane e ka thehwa feela ha phello ya ho betla e le kgolo ho feta phello ya ho betla.
Mokhoa oa ho koahela li-ion, oo substrate e lulang e tlatsoa ka li-ion tse nang le matla a mangata, o hloekile haholo 'me o na le melemo e mengata ha o bapisoa le ho koahela ka ho qhala le ho fetoha mouoane.
(1) Ho khomarela ho matla, lera la ho roala ha le tabohe habonolo.
(a)Tshebetsong ea ho koahela li-ion, palo e kholo ea likaroloana tse nang le matla a mangata tse hlahisoang ke ho tsoa ha khanya li sebelisoa ho hlahisa phello ea ho qhalana ha cathodic holim'a substrate, ho qhalana le ho hloekisa khase le oli tse monyang holim'a substrate ho hloekisa bokaholimo ba substrate ho fihlela ts'ebetso eohle ea ho qhalana e phethetsoe.
(b) Mothating oa pele oa ho penta, ho qhalana le ho beoa ha lintho lia kopana, e leng se ka etsang lera la phetoho la likarolo sebakeng sa sebopeho sa setsi sa filimi kapa motsoako oa thepa ea filimi le thepa ea motheo, e bitsoang "lera la pseudo-diffusion", le ka ntlafatsang ts'ebetso ea ho khomarela filimi ka katleho.
(2) Litšobotsi tse ntle tsa ho phuthela. Lebaka le leng ke hore liathomo tsa thepa ea ho koahela li ionized tlas'a khatello e phahameng 'me li thulana le limolek'hule tsa khase ka makhetlo a' maloa nakong ea ts'ebetso ea ho fihla substrate, e le hore li-ion tsa thepa ea ho koahela li ka hasana ho potoloha substrate. Ho phaella moo, liathomo tsa thepa ea ho koahela tse ionized li beoa holim'a substrate tlas'a ts'ebetso ea tšimo ea motlakase, kahoo substrate eohle e beoa ka filimi e tšesaane, empa ho koahela ka mouoane ho ke ke ha finyella phello ena.
(3) Boleng bo phahameng ba ho roala bo bakoa ke ho phatloha ha matheba a metsi a bakoang ke ho phatloha ho sa feleng ha filimi e kentsoeng ka li-ion tse ntle, e leng se ntlafatsang boima ba lera la ho roala.
(4) Khetho e pharaletseng ea thepa ea ho koahela le li-substrate e ka koaheloa holim'a thepa ea tšepe kapa e seng ea tšepe.
(5) Ha e bapisoa le ho kenngoa ha mouoane ka lik'hemik'hale (CVD), e na le mocheso o tlase oa substrate, hangata e ka tlase ho 500°C, empa matla a eona a ho khomarela a bapisoa ka botlalo le lifilimi tsa ho kenngoa ha mouoane ka lik'hemik'hale.
(6) Sekhahla se phahameng sa ho boloka, ho thehoa ha filimi ka potlako, 'me ho ka koahela botenya ba lifilimi ho tloha ho mashome a li-nanometer ho ea ho li-micron.
Mathata a ho koahela li-ion ke: botenya ba filimi bo ke ke ba laoloa ka nepo; bongata ba liphoso bo phahame ha ho hlokahala ho koahela tse nyane; 'me likhase li tla kena holim'a metsi nakong ea ho koahela, e leng se tla fetola litšobotsi tsa bokaholimo. Maemong a mang, ho thehoa likoti le li-nuclei (tse ka tlase ho 1 nm).
Ha e le ka sekgahla sa ho beoa ha ion, ho kwahela ha ion ho tshwana le mokhoa wa ho mouwa. Ha e le boleng ba filimi, difilimi tse hlahiswang ke ho kwahela ha ion di haufi kapa di betere ho feta tse lokisitsweng ka ho ntsha metsi.
Nako ea poso: Pulungoana-08-2022