Karolo e ka sehloohong ea mokhoa oa vacuum evaporation bakeng sa ho kenya lifilimi ke sekhahla se phahameng sa deposition.Tšobotsi e ka sehloohong ea mokhoa oa sputtering ke mefuta e mengata ea lisebelisoa tsa lifilimi tse fumanehang le ho tšoana hantle ha lera la filimi, empa tekanyo ea deposition e tlaase.Ho roala ka ion ke mokhoa o kopanyang mekhoa ena e 'meli.
Molao-motheo oa ho roala ion le maemo a sebopeho sa filimi
Molao-motheo o sebetsang oa ho roala ion o bontšoa ho Pic.Kamore ea vacuum e phunyeletsoa khatellong e ka tlase ho 10-4 Pa, ebe e tlatsoa ka khase ea inert (mohlala, argon) ho khatello ea 0.1 ~ 1 Pa. Ka mor'a hore motlakase o mobe oa DC o fihlang ho 5 kV o sebelisoa ho substrate, a. sebaka sa plasma sa khase se tlase se thehiloe lipakeng tsa substrate le crucible.Li-ion tsa khase tsa inert li potlakisoa ke tšimo ea motlakase 'me li bomola holim'a substrate, kahoo li hloekisa holim'a sebaka sa mosebetsi.Ka mor'a hore ts'ebetso ena ea ho hloekisa e phethoe, mokhoa oa ho roala o qala ka mouoane oa thepa e lokelang ho koaheloa ka crucible.The vaporized mouoane likaroloana kena ka sebaka lero la mali le thulana le dissociated inert positive ion le dieleketerone, 'me ba bang ba likaroloana mouoane ba dissociated le bombard workpiece le barbotage holim'a ka ho potlakisa tšimo ea motlakase.Ts'ebetsong ea ion plating, ha ho na deposition feela empa hape ho fafatsa li-ion tse ntle holim'a substrate, kahoo filimi e tšesaane e ka etsoa feela ha phello ea deposition e le kholo ho feta phello ea sputtering.
Ts'ebetso ea ho roala ion, eo ho eona substrate e lulang e hlasetsoe ke li-ion tse nang le matla a phahameng, e hloekile haholo ebile e na le melemo e mengata ha e bapisoa le ho roala ha metsi le mouoane.
(1) Ho khomarela ka matla, lera la ho roala ha le theohe habonolo.
(a) Ts'ebetsong ea ho roala ion, palo e kholo ea likaroloana tse nang le matla a phahameng a hlahisoang ke phallo e khanyang li sebelisoa ho hlahisa phello ea cathodic sputtering holim'a substrate, ho fafatsa le ho hloekisa khase le oli e adsorbed holim'a metsi. substrate ho hloekisa sebaka sa substrate ho fihlela ts'ebetso eohle ea ho roala e phethiloe.
(b) Mothating oa pele oa ho roala, ho hlajoa le ho beha lintho hammoho, tse ka etsang karolo ea phetoho ea likarolo ho sebopeho sa setsi sa filimi kapa motsoako oa thepa ea filimi le thepa ea motheo, e bitsoang "pseudo-diffusion layer", e ka ntlafatsang ts'ebetso ea ho khomarela filimi ka katleho.
(2) Thepa e ntle ea ho phuthela.Lebaka le leng ke hore liathomo tsa thepa ea ho roala li ionized tlas'a khatello e phahameng 'me li kopana le limolek'hule tsa khase ka makhetlo a' maloa nakong ea ho fihla ho substrate, e le hore li-ion tsa thepa ea ho roala li ka hasana ho pota-pota substrate.Ho phaella moo, liathomo tsa thepa ea ionized li kenngoa holim'a substrate tlas'a ts'ebetso ea motlakase, kahoo substrate eohle e kenngoa ka filimi e tšesaane, empa ho roala mouoane ho ke ke ha finyella phello ena.
(3) Boleng bo phahameng ba ho roala bo bakoa ke ho phatloha ha li-condensate tse bakoang ke ho phatloha ha libomo ho sa khaotseng ha filimi e behiloeng ka li-ion tse ntle, e leng ho ntlafatsang sekhahla sa lera la ho roala.
(4) Khetho e pharaletseng ea lisebelisoa tsa ho roala le li-substrates li ka koaheloa ka thepa ea tšepe kapa e seng ea tšepe.
(5) Ha e bapisoa le lik'hemik'hale tsa mouoane oa lik'hemik'hale (CVD), e na le mocheso o tlaase oa substrate, hangata o ka tlaase ho 500 ° C, empa matla a eona a ho khomarela a bapisoa ka ho feletseng le lifilimi tsa ho beha mouoane oa lik'hemik'hale.
(6) Sekhahla se phahameng sa deposition, sebopeho sa lifilimi se potlakileng, 'me se ka koahela botenya ba lifilimi ho tloha ho mashome a li-nanometer ho isa ho li-micron.
Mefokolo ea ho roala ion ke: botenya ba filimi bo ke ke ba laoloa ka nepo;mahloriso a liphoso a phahame ha ho hlokahala ho roala hantle;'me likhase li tla kena ka holim'a metsi nakong ea ho roala, e leng ho tla fetola thepa ea holim'a metsi.Maemong a mang, li-cavities le nuclei (tlase ho 1 nm) li boetse li thehoa.
Ha e le sekhahla sa deposition, ho roala ha ion ho ka bapisoa le mokhoa oa ho tsoa mouoane.Ha e le boleng ba filimi, lifilimi tse hlahisoang ke ho roala ion li haufi kapa li molemo ho feta tse lokiselitsoeng ka ho sputtering.
Nako ea poso: Nov-08-2022