יאָן קאָוטינג טעכנאָלאָגיע

די הויפּט שטריך פון די וואַקוום יוואַפּעריישאַן אופֿן פֿאַר דאַפּאַזיטינג פילמס איז די הויך דעפּאַזישאַן קורס.די הויפּט שטריך פון די ספּאַטערינג אופֿן איז די ברייט קייט פון בנימצא פילם מאַטעריאַלס און די גוט יונאַפאָרמאַטי פון די פילם שיכטע, אָבער די דעפּאַזישאַן קורס איז נידעריק.יאָן קאָוטינג איז אַ אופֿן וואָס קאַמביינז די צוויי פּראַסעסאַז.

יאָן קאָוטינג פּרינציפּ און פילם פאָרמירונג טנאָים
די אַרבעט פּרינציפּ פון יאָן קאָוטינג איז געוויזן אין די פּיק.די וואַקוום קאַמער איז פּאַמפּט צו אַ דרוק אונטער 10-4 פּאַ, און דעמאָלט אָנגעפילט מיט ינערט גאַז (למשל אַרגאָן) צו אַ דרוק פון 0.1 ~ 1 פּאַ. נאָך אַ נעגאַטיוו דק וואָולטידזש פון אַרויף צו 5 קוו איז געווענדט צו די סאַבסטרייט, אַ נידעריק דרוק גאַז שייַנען אָפּזאָגן פּלאַזמע זאָנע איז געגרינדעט צווישן די סאַבסטרייט און די קרוסיבלע.די ינערט גאַז ייאַנז זענען אַקסעלערייטיד דורך די עלעקטריק פעלד און באָמבאַרדירן די ייבערפלאַך פון די סאַבסטרייט, אַזוי רייניקונג די ייבערפלאַך פון די וואָרקפּיעסע.נאָך דעם רייניקונג פּראָצעס איז געענדיקט, די קאָוטינג פּראָצעס הייבט מיט די וואַפּאָריזאַטיאָן פון די מאַטעריאַל צו זיין קאָוטאַד אין די קרוסיבלע.די וואַפּאָריזעד פארע פּאַרטיקאַלז אַרייַן די פּלאַזמע זאָנע און קאַלייד מיט די דיססאָסיאַטעד ינערט positive ייאַנז און עלעקטראָנס, און עטלעכע פון ​​די פארע פּאַרטיקאַלז זענען דיססאָסיאַטעד און באַמבאַרד די וואָרקפּיעסע און די קאָוטינג ייבערפלאַך אונטער די אַקסעלעריישאַן פון די עלעקטריק פעלד.אין די יאָן פּלייטינג פּראָצעס, עס איז נישט בלויז דעפּאַזישאַן אָבער אויך ספּאַטערינג פון positive ייאַנז אויף די סאַבסטרייט, אַזוי די דין פילם קענען זיין געשאפן בלויז ווען די דעפּאַזישאַן ווירקונג איז גרעסער ווי די ספּאַטערינג ווירקונג.

דער יאָן קאָוטינג פּראָצעס, אין וואָס די סאַבסטרייט איז שטענדיק באָמבאַרדעד מיט הויך-ענערגיע ייאַנז, איז זייער ריין און האט אַ נומער פון אַדוואַנטידזשיז קאַמפּערד מיט ספּאַטערינג און יוואַפּעריישאַן קאָוטינג.

(1) שטאַרק אַדכיזשאַן, קאָוטינג שיכטע טוט נישט שאָלעכץ אַוועק לייכט.
(אַ) אין די יאָן קאָוטינג פּראָצעס, אַ גרויס נומער פון הויך-ענערגיע פּאַרטיקאַלז דזשענערייטאַד דורך די שייַנען אָפּזאָגן זענען געניצט צו פּראָדוצירן אַ קאַטהאָדיק ספּאַטערינג ווירקונג אויף די ייבערפלאַך פון די סאַבסטרייט, ספּוטערינג און רייניקונג די גאַז און ייל אַדסאָרבד אויף די ייבערפלאַך פון די סאַבסטרייט. סאַבסטרייט צו רייניקן די סאַבסטרייט ייבערפלאַך ביז די גאנצע קאָוטינג פּראָצעס איז געענדיקט.
(ב) אין דער פרי בינע פון ​​קאָוטינג, ספּאַטערינג און דעפּאַזישאַן קאָויגזיסט, וואָס קענען פאָרעם אַ יבערגאַנג שיכטע פון ​​קאַמפּאָונאַנץ אין די צובינד פון די פילם באַזע אָדער אַ געמיש פון די פילם מאַטעריאַל און די באַזע מאַטעריאַל, גערופֿן "פּסעוודאָ-דיפיוזשאַן שיכטע", וואָס קענען יפעקטיוולי פֿאַרבעסערן די אַדכיזשאַן פאָרשטעלונג פון דעם פילם.
(2) גוט ייַנוויקלען-אַרום פּראָפּערטיעס.איין סיבה איז אַז די קאָוטינג מאַטעריאַל אַטאָמס זענען ייאַנייזד אונטער הויך דרוק און קאַלייד מיט גאַז מאַלאַקיולז עטלעכע מאָל בעשאַס דעם פּראָצעס פון ריטשינג די סאַבסטרייט, אַזוי אַז די קאָוטינג מאַטעריאַל ייאַנז קענען זיין צעוואָרפן אַרום די סאַבסטרייט.אין דערצו, די יאָניזעד קאָוטינג מאַטעריאַל אַטאָמס זענען דאַפּאַזיטיד אויף די ייבערפלאַך פון די סאַבסטרייט אונטער דער קאַמף פון עלעקטריק פעלד, אַזוי די גאנצע סאַבסטרייט איז דאַפּאַזיטיד מיט אַ דין פילם, אָבער יוואַפּעריישאַן קאָוטינג קענען נישט דערגרייכן דעם ווירקונג.
(3) די הויך קוואַליטעט פון די קאָוטינג איז רעכט צו דער ספּאַטערינג פון קאַנדאַנסייץ געפֿירט דורך די קעסיידערדיק באָמבאַרדמענט פון די דאַפּאַזיטיד פילם מיט positive ייאַנז, וואָס ימפּרוווז די געדיכטקייַט פון די קאָוטינג שיכטע.
(4) א ברייט סעלעקציע פון ​​קאָוטינג מאַטעריאַלס און סאַבסטרייץ קענען זיין קאָוטאַד אויף מעטאַלליק אָדער ניט-מעטאַליק מאַטעריאַלס.
(5) קאַמפּערד מיט כעמישער פארע דעפּאַזישאַן (CVD), עס האט אַ נידעריקער סאַבסטרייט טעמפּעראַטור, טיפּיקלי אונטער 500 ° C, אָבער זייַן אַדכיזשאַן שטאַרקייַט איז גאָר פאַרגלייַכלעך צו כעמישער פארע דעפּאַזישאַן פילמס.
(6) הויך דעפּאַזישאַן קורס, שנעל פילם פאָרמירונג, און קען קאָוטינג גרעב פון פילמס פון טענס פון נאַנאָמעטערס צו מייקראַנז.

די דיסאַדוואַנטידזשיז פון יאָן קאָוטינג זענען: די גרעב פון די פילם קענען ניט זיין גענוי קאַנטראָולד;די קאַנסאַנטריישאַן פון חסרונות איז הויך ווען פייַן קאָוטינג איז פארלאנגט;און גאַסאַז וועט אַרייַן די ייבערפלאַך בעשאַס קאָוטינג, וואָס וועט טוישן די ייבערפלאַך פּראָפּערטיעס.אין עטלעכע קאַסעס, קאַוויטיז און נוקליי (ווייניקער ווי 1 נם) זענען אויך געשאפן.

ווי פֿאַר דעפּאַזישאַן קורס, יאָן קאָוטינג איז פאַרגלייַכלעך צו די יוואַפּעריישאַן אופֿן.ווי פֿאַר פילם קוואַליטעט, די פילמס געשאפן דורך יאָן קאָוטינג זענען נאָענט צו אָדער בעסער ווי די וואָס זענען צוגעגרייט דורך ספּאַטערינג.