Is e prìomh fheart an dòigh falmhachaidh falamh airson filmichean a thasgadh an ìre tasgaidh àrd.Is e prìomh fheart an dòigh sputtering an raon farsaing de stuthan film a tha rim faighinn agus deagh èideadh an fhilm film, ach tha an ìre tasgaidh ìosal.Tha còmhdach ian na dhòigh a tha a’ ceangal an dà phròiseas seo còmhla.
Prionnsabal còmhdach ian agus suidheachaidhean cruthachadh film
Tha prionnsapal obrach còmhdach ion air a shealltainn anns a’ Phic.Tha an seòmar falamh air a phumpadh gu cuideam fo 10-4 Pa, agus an uairsin air a lìonadh le gas inert (me argon) gu cuideam 0.1 ~ 1 Pa. Às deidh bholtadh DC àicheil suas ri 5 kV a chuir air an t-substrate, a Tha sòn plasma leigeil a-mach glow gas le cuideam ìosal air a stèidheachadh eadar an t-substrate agus am breus.Bidh na h-ianan gas inert air an luathachadh leis an raon dealain agus a’ spreadhadh uachdar an t-substrate, mar sin a’ glanadh uachdar a’ phìos obrach.Às deidh a ’phròiseas glanaidh seo a chrìochnachadh, bidh am pròiseas còmhdaich a’ tòiseachadh le vaporization an stuth a bhith air a chòmhdach anns a ’bhròg.Bidh na mìrean vapor vaporized a ’dol a-steach don raon plasma agus a’ bualadh leis na h-ianan agus na dealanan inert inert dissociated, agus tha cuid de na gràinean vapor air an sgaradh agus a ’toirt ionnsaigh air a’ phìos obrach agus an uachdar còmhdach fo luathachadh an raoin dealain.Anns a ’phròiseas plating ion, chan e a-mhàin tasgadh a th’ ann ach cuideachd sputtering ions dearbhach air an t-substrate, agus mar sin chan urrainnear am film tana a chruthachadh ach nuair a tha buaidh tasgaidh nas motha na a ’bhuaidh sputtering.
Tha am pròiseas còmhdach ion, anns a bheil an t-substrate an-còmhnaidh air a spreadhadh le ions àrd-lùth, glè ghlan agus tha grunn bhuannachdan ann an coimeas ri sputtering agus còmhdach falmhachaidh.
(1) Gluasad làidir, chan eil còmhdach còmhdach a’ craiceann dheth gu furasta.
(a) Anns a ’phròiseas còmhdach ion, thathas a’ cleachdadh àireamh mhòr de ghràinean àrd-lùth a ghineadh leis an t-sgaoilidh glow gus buaidh sputtering cathodic a thoirt gu buil air uachdar an t-substrate, a ’spùtadh agus a’ glanadh an gas agus an ola a tha air a shanasachadh air uachdar an t-substrate. substrate gus uachdar an t-substrate a ghlanadh gus am bi am pròiseas còmhdachaidh gu lèir deiseil.
(b) Aig ìre thràth de chòmhdach, sputtering agus tasgadh co-sheasmhachd, a dh’ fhaodas còmhdach gluasaid de cho-phàirtean a chruthachadh aig eadar-aghaidh bunait an fhilm no measgachadh den stuth film agus an stuth bunaiteach, ris an canar “pseudo-diffusion layer”, a dh'fhaodas coileanadh adhesion an fhilm a leasachadh gu h-èifeachdach.
(2) Deagh thogalaichean timcheall.Is e aon adhbhar gu bheil na dadaman stuth còmhdaich air an ionachadh fo chuideam àrd agus a’ bualadh le moileciuilean gas grunn thursan rè a ’phròiseas a bhith a’ ruighinn an t-substrate, gus an tèid na h-ianan stuth còmhdaich a sgapadh timcheall an t-substrate.A bharrachd air an sin, tha na dadaman stuth còmhdach ionized air an tasgadh air uachdar an t-substrate fo ghnìomhachd raon dealain, agus mar sin tha an t-substrate gu lèir air a thasgadh le film tana, ach chan urrainn dha còmhdach falmhachaidh a ’bhuaidh seo a choileanadh.
(3) Tha càileachd àrd a’ chòmhdaich mar thoradh air sputtering condensates air adhbhrachadh le spreadhadh cunbhalach den fhilm a chaidh a thasgadh le ions dearbhach, a leasaicheas dùmhlachd an còmhdach còmhdach.
(4) Faodar taghadh farsaing de stuthan còmhdaich agus fo-stratan a bhith air an còmhdach air stuthan meatailteach no neo-mheatailteach.
(5) An coimeas ri tasgadh bhalbhaichean ceimigeach (CVD), tha teòthachd substrate nas ìsle aige, mar as trice fo 500 ° C, ach tha an neart adhesion aige gu tur an coimeas ri filmichean tasgaidh bhalbhaichean ceimigeach.
(6) Ìre tasgaidh àrd, cruthachadh film luath, agus dh’ fhaodadh e còmhdach tiugh de fhilmichean bho dheich nanometers gu microns.
Is e na h-eas-bhuannachdan a thaobh còmhdach ion: chan urrainnear smachd a chumail air tiugh an fhilm;tha dùmhlachd lochdan àrd nuair a tha feum air còmhdach grinn;agus thèid gasaichean a-steach don uachdar aig àm còmhdachaidh, a dh’ atharraicheas feartan an uachdair.Ann an cuid de chùisean, tha uamhan agus niuclasan (nas lugha na 1 nm) air an cruthachadh cuideachd.
A thaobh ìre tasgaidh, tha còmhdach ian an coimeas ris an dòigh falmhachaidh.A thaobh càileachd film, tha na filmichean a tha air an dèanamh le còmhdach ion faisg air no nas fheàrr na an fheadhainn a chaidh ullachadh le sputtering.
Ùine puist: Samhain-08-2022