ଆୟନ ଆବରଣ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା |

ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ଜମା କରିବା ପାଇଁ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ବାଷ୍ପୀକରଣ ପଦ୍ଧତିର ମୁଖ୍ୟ ବ feature ଶିଷ୍ଟ୍ୟ ହେଉଛି ଉଚ୍ଚ ଜମା ହାର |ସ୍ପୁଟର୍ ପଦ୍ଧତିର ମୁଖ୍ୟ ବ feature ଶିଷ୍ଟ୍ୟ ହେଉଛି ଉପଲବ୍ଧ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ସାମଗ୍ରୀର ବ୍ୟାପକତା ଏବଂ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ସ୍ତରର ଭଲ ସମାନତା, କିନ୍ତୁ ଜମା ହାର କମ୍ ଅଟେ |ଆଇନ୍ ଆବରଣ ହେଉଛି ଏକ ପଦ୍ଧତି ଯାହା ଏହି ଦୁଇଟି ପ୍ରକ୍ରିୟାକୁ ଏକତ୍ର କରିଥାଏ |

ଆଇନ୍ ଆବରଣ ନୀତି ଏବଂ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ଗଠନ ଅବସ୍ଥା |
ଆୟନ ଆବରଣର କାର୍ଯ୍ୟ ନୀତି ପିକରେ ଦର୍ଶାଯାଇଛି |ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଚାମ୍ବର 10-4 ପା ତଳେ ଥିବା ଏକ ଚାପରେ ପମ୍ପ କରାଯାଏ, ଏବଂ ତା’ପରେ 0.1 ~ 1 Pa ର ଚାପରେ ଇର୍ଟ ଗ୍ୟାସ୍ (ଯଥା ଆର୍ଗନ୍) ରେ ଭରାଯାଇଥାଏ | ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଉପରେ 5 କେଭି ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ଏକ ନକାରାତ୍ମକ ଡିସି ଭୋଲଟେଜ୍ ପ୍ରୟୋଗ କରାଯିବା ପରେ, a ନିମ୍ନ ଚାପ ଗ୍ୟାସ୍ ଗ୍ଲୋ ଡିସଚାର୍ଜ ପ୍ଲାଜମା ଜୋନ୍ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଏବଂ କ୍ରୁସିବଲ୍ ମଧ୍ୟରେ ସ୍ଥାପିତ |ଇର୍ଟ ଗ୍ୟାସ୍ ଆୟନଗୁଡିକ ବ electric ଦ୍ୟୁତିକ କ୍ଷେତ୍ର ଦ୍ୱାରା ତ୍ୱରାନ୍ୱିତ ହୁଏ ଏବଂ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ପୃଷ୍ଠକୁ ବିସ୍ଫୋରଣ କରେ, ଏହିପରି କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷେତ୍ରର ପୃଷ୍ଠକୁ ସଫା କରେ |ଏହି ସଫେଇ ପ୍ରକ୍ରିୟା ସମାପ୍ତ ହେବା ପରେ, ଆବରଣ ପ୍ରକ୍ରିୟା କ୍ରୁସିବଲ୍ ରେ ଆବୃତ ହେବାକୁ ଥିବା ପଦାର୍ଥର ବାଷ୍ପୀକରଣ ସହିତ ଆରମ୍ଭ ହୁଏ |ବାଷ୍ପୀଭୂତ ବାଷ୍ପ କଣିକା ପ୍ଲାଜ୍ମା ଜୋନ୍ରେ ପ୍ରବେଶ କରେ ଏବଂ ବିଚ୍ଛିନ୍ନ ଇର୍ଟ ପଜିଟିଭ୍ ଆୟନ ଏବଂ ଇଲେକ୍ଟ୍ରନ୍ ସହିତ ଧକ୍କା ହୁଏ, ଏବଂ କିଛି ବାଷ୍ପ କଣିକା ବିଚ୍ଛିନ୍ନ ହୋଇ ବିଦ୍ୟୁତ୍ କ୍ଷେତ୍ରର ତ୍ୱରାନ୍ୱିତରେ କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷେତ୍ର ଏବଂ ଆବରଣ ପୃଷ୍ଠକୁ ବିସ୍ଫୋରଣ କରେ |ଆୟନ ପ processingে ଟିଂ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ, କେବଳ ଡିପୋଜିଟେସନ୍ ନୁହେଁ ବରଂ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଉପରେ ପଜିଟିଭ୍ ଆୟନର ସ୍ପଟର୍ ମଧ୍ୟ ଥାଏ, ତେଣୁ ପତଳା ଚଳଚ୍ଚିତ୍ରଟି ସୃଷ୍ଟି ହୋଇପାରେ ଯେତେବେଳେ ଜମା ପ୍ରଭାବ ସ୍ପୁଟର୍ ଇଫେକ୍ଟ ଠାରୁ ଅଧିକ ଥାଏ |

ଆୟନ ଆବରଣ ପ୍ରକ୍ରିୟା, ଯେଉଁଥିରେ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ସର୍ବଦା ଉଚ୍ଚ-ଶକ୍ତି ଆୟନ ସହିତ ବିସ୍ଫୋରଣ ହୋଇଥାଏ, ଏହା ଅତ୍ୟନ୍ତ ପରିଷ୍କାର ଏବଂ ସ୍ପୁଟର୍ ଏବଂ ବାଷ୍ପୀକରଣ ଆବରଣ ତୁଳନାରେ ଅନେକ ସୁବିଧା ଅଛି |

(1) ଶକ୍ତିଶାଳୀ ଆଡିଶିନ୍, ଆବରଣ ସ୍ତର ସହଜରେ ଛାଣି ନଥାଏ |
(କ) ଆୟନ ଆବରଣ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ, ଗ୍ଲୋ ଡିସଚାର୍ଜ ଦ୍ ated ାରା ସୃଷ୍ଟି ହୋଇଥିବା ବହୁ ସଂଖ୍ୟକ ଉଚ୍ଚ-ଶକ୍ତି କଣିକା ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ପୃଷ୍ଠରେ କ୍ୟାଥୋଡିକ୍ ସ୍ପୁଟର୍ ଇଫେକ୍ଟ ଉତ୍ପାଦନ ପାଇଁ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ, ଗ୍ୟାସ୍ ଏବଂ ତେଲକୁ ଭୂପୃଷ୍ଠରେ ଆଡର୍ସଡ୍ ହୋଇଥିବା ସଫା ଏବଂ ସଫା କରେ | ସମଗ୍ର ଆବରଣ ପ୍ରକ୍ରିୟା ସମାପ୍ତ ନହେବା ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ପୃଷ୍ଠକୁ ଶୁଦ୍ଧ କରିବାକୁ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ |
) ଯାହାକି ଚଳଚ୍ଚିତ୍ରର ଆଡିଶିନ୍ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତାକୁ ଫଳପ୍ରଦ ଭାବରେ ଉନ୍ନତ କରିପାରିବ |
(୨) ଭଲ ଗୁଡ଼ାଇ ରଖିବା ଗୁଣ |ଗୋଟିଏ କାରଣ ହେଉଛି, ଆବରଣ ସାମଗ୍ରୀ ପରମାଣୁଗୁଡିକ ଉଚ୍ଚ ଚାପରେ ଆୟନାଇଜ୍ ହୋଇ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ପହଞ୍ଚିବା ପ୍ରକ୍ରିୟା ସମୟରେ ଅନେକ ଥର ଗ୍ୟାସ୍ ଅଣୁ ସହିତ ଧକ୍କା ହୁଏ, ଯାହା ଦ୍ the ାରା ଆବରଣ ସାମଗ୍ରୀ ଆୟନଗୁଡିକ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଚାରିପାଖରେ ବିଛା ଯାଇପାରେ |ଏଥିସହ, ଆୟନାଇଜଡ୍ ଆବରଣ ପଦାର୍ଥ ପରମାଣୁଗୁଡିକ ବ electric ଦ୍ୟୁତିକ କ୍ଷେତ୍ରର କାର୍ଯ୍ୟ ଅଧୀନରେ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ପୃଷ୍ଠରେ ଜମା ହୋଇଥାଏ, ତେଣୁ ସମଗ୍ର ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଏକ ପତଳା ଚଳଚ୍ଚିତ୍ରରେ ଜମା ହୋଇଥାଏ, କିନ୍ତୁ ବାଷ୍ପୀକରଣ ଆବରଣ ଏହି ପ୍ରଭାବ ହାସଲ କରିପାରିବ ନାହିଁ |
()) ଆବରଣର ଉଚ୍ଚ ଗୁଣ ହେଉଛି ପଜିଟିଭ୍ ଆୟନ ସହିତ ଜମା ହୋଇଥିବା ଚଳଚ୍ଚିତ୍ରର କ୍ରମାଗତ ବୋମା ବିସ୍ଫୋରଣ ହେତୁ ଘନୀଭୂତ ହେତୁ ଘନୀଭୂତ ହୁଏ, ଯାହା ଆବରଣର ସ୍ତରର ଘନତାକୁ ଉନ୍ନତ କରିଥାଏ |
(4) ଆବରଣ ସାମଗ୍ରୀ ଏବଂ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟଗୁଡିକର ଏକ ବ୍ୟାପକ ଚୟନ ଧାତବ କିମ୍ବା ଅଣ-ଧାତବ ସାମଗ୍ରୀ ଉପରେ ଆବୃତ ହୋଇପାରେ |
(5) ରାସାୟନିକ ବାଷ୍ପ ଜମା ​​(CVD) ତୁଳନାରେ ଏହାର କମ୍ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ତାପମାତ୍ରା ଥାଏ, ସାଧାରଣତ 500 500 ° C ରୁ କମ୍, କିନ୍ତୁ ଏହାର ଆଡିଶିନ୍ ଶକ୍ତି ରାସାୟନିକ ବାଷ୍ପ ଜମା ​​ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ସହିତ ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ତୁଳନାତ୍ମକ |
(6) ଉଚ୍ଚ ଜମା ହାର, ଦ୍ରୁତ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ଗଠନ, ଏବଂ ଦଶ ନାନୋମିଟରରୁ ମାଇକ୍ରୋନ୍ ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ରର ଘନତାକୁ ଆବରଣ କରିପାରେ |

ଆୟନ ଆବରଣର ଅସୁବିଧା ହେଉଛି: ଚଳଚ୍ଚିତ୍ରର ଘନତାକୁ ସଠିକ୍ ଭାବରେ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ କରାଯାଇପାରିବ ନାହିଁ;ସୂକ୍ଷ୍ମ ଆବରଣ ଆବଶ୍ୟକ ହେଲେ ତ୍ରୁଟିର ଏକାଗ୍ରତା ଅଧିକ;ଏବଂ ଆବରଣ ସମୟରେ ଗ୍ୟାସ୍ ଭୂପୃଷ୍ଠରେ ପ୍ରବେଶ କରିବ, ଯାହା ଭୂପୃଷ୍ଠର ଗୁଣ ପରିବର୍ତ୍ତନ କରିବ |କେତେକ କ୍ଷେତ୍ରରେ, ଗୁହାଳ ଏବଂ ନ୍ୟୁକ୍ଲିୟ (1 nm ରୁ କମ୍) ମଧ୍ୟ ସୃଷ୍ଟି ହୁଏ |

ଜମା ହାର ପାଇଁ, ଆୟନ ଆବରଣ ବାଷ୍ପୀକରଣ ପଦ୍ଧତି ସହିତ ତୁଳନାତ୍ମକ |ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ଗୁଣବତ୍ତା ପାଇଁ, ଆୟନ ଆବରଣ ଦ୍ produced ାରା ଉତ୍ପାଦିତ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ରଗୁଡିକ ସ୍ପଟର୍ ଦ୍ୱାରା ପ୍ରସ୍ତୁତ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ତୁଳନାରେ ନିକଟତର କିମ୍ବା ଭଲ |