Astaamaha ugu muhiimsan ee habka uumi-baxa faakuumka ee loogu talagalay dhigista filimada waa heerka sare ee dhigista. Astaamaha ugu muhiimsan ee habka xoqidda waa noocyada kala duwan ee agabka filimka ee la heli karo iyo isku-midnimada wanaagsan ee lakabka filimka, laakiin heerka dhigista waa mid hooseeya. Dahaarka Ion waa hab isku daraya labadan hab.
Mabda'a dahaarka Ion iyo xaaladaha sameynta filimka
Mabda'a shaqada ee dahaarka ion-ka waxaa lagu muujiyay Sawirka. Qolka faakiyuumka waxaa lagu shubaa cadaadis ka hooseeya 10-4 Pa, ka dibna waxaa lagu buuxiyaa gaas aan firfircoonayn (tusaale ahaan argon) ilaa cadaadis ah 0.1~1 Pa. Ka dib marka danab DC taban oo ilaa 5 kV ah lagu mariyo substrate-ka, aag plasma ah oo iftiin gaas oo cadaadis hooseeya ayaa la sameeyaa inta u dhaxaysa substrate-ka iyo weelka. Aayooyinka gaaska aan firfircoonayn waxaa dedejiya goobta korontada waxayna duqeeyaan dusha sare ee substrate-ka, sidaas darteedna nadiifiya dusha sare ee shaqada. Ka dib marka habkan nadiifinta la dhammeeyo, habka dahaarka wuxuu ku bilaabmaa uumi-baxa walxaha lagu dahaadhay weelka. Qaybaha uumiga ee uumiga leh waxay galaan aagga plasma-ka waxayna la kulmaan aayooyinka iyo elektroonnada aan firfircoonayn ee kala go'ay, qaar ka mid ah walxaha uumigana waa la kala fogeeyaa oo waxay duqeeyaan weelka shaqada iyo dusha sare ee dahaarka iyadoo la dardar gelinayo goobta korontada. Habka dahaadhka ion-ka, ma jiraan oo keliya dhigista laakiin sidoo kale faafinta ion-yada togan ee substrate-ka, sidaa darteed filimka khafiifka ah waxaa la samayn karaa oo keliya marka saamaynta dhigista ay ka weyn tahay saamaynta xoqidda.
Habka dahaarka ion-ka, kaas oo substrate-ka had iyo jeer lagu duqeeyo ion-yada tamarta sare leh, waa mid aad u nadiif ah wuxuuna leeyahay faa'iidooyin badan marka loo eego dahaarka buufinta iyo uumiga.
(1) Ku dhegid xoog leh, lakabka dahaadhka si fudud uma fido.
(a) Habka dahaarka ion-ka, tiro badan oo walxo tamar sare leh oo ay soo saarto dheecaanka dhalaalaya ayaa loo isticmaalaa in lagu soo saaro saameyn ku-shubasho cathodic ah oo ku taal dusha sare ee substrate-ka, faafinta iyo nadiifinta gaaska iyo saliidda ku nuugta dusha sare ee substrate-ka si loo nadiifiyo dusha sare ee substrate-ka ilaa habka dahaarka oo dhan la dhammeeyo.
(b) Marxaladda hore ee dahaarka, daxalka iyo dhigista ayaa isku wada jira, kuwaas oo samayn kara lakab kala-guur ah oo qaybo ah oo ku yaal is-dhexgalka saldhigga filimka ama isku-darka walxaha filimka iyo walxaha salka, oo loo yaqaan "lakabka faafinta beenta ah", kaas oo si wax ku ool ah u hagaajin kara waxqabadka isku-dhejinta filimka.
(2) Sifooyin wanaagsan oo duuban. Mid ka mid ah sababaha ayaa ah in atamka walxaha dahaarka lagu shubo cadaadis sare oo ay dhowr jeer la kulmaan molecules-ka gaaska inta lagu guda jiro geeddi-socodka lagu gaarayo substrate-ka, si ay ayadaha walxaha dahaarka lagu kala firdhiyo substrate-ka. Intaa waxaa dheer, atamka walxaha dahaarka ee ionized-ka ah ayaa lagu shubaa dusha sare ee substrate-ka iyadoo la adeegsanayo goobta korantada, sidaas darteed substrate-ka oo dhan waxaa lagu shubaa filim khafiif ah, laakiin dahaarka uumiga ma gaari karo saameyntan.
(3) Tayada sare ee dahaarka waxaa sabab u ah daadinta qoyaanka oo ay keento duqeyn joogto ah oo filimka la dhigay oo leh ion togan, taas oo hagaajinaysa cufnaanta lakabka dahaarka.
(4) Xulasho ballaaran oo ah agabka dahaarka iyo substrate-ka ayaa lagu dahaadhi karaa agab bir ah ama aan bir ahayn.
(5) Marka la barbardhigo kaydinta uumiga kiimikada (CVD), waxay leedahay heerkul hoose oo substrate ah, caadi ahaan ka hooseeya 500°C, laakiin xooggeeda dhejisku wuxuu si buuxda ula mid yahay filimada kaydinta uumiga kiimikada.
(6) Heerka sare ee dhigista, sameynta filimka oo degdeg ah, waxayna dabooli kartaa dhumucda filimada laga bilaabo tobanaan nanometer ilaa microns.
Khasaaraha dahaarka ion-ka waa: dhumucda filimka si sax ah looma xakamayn karo; fiirsashada cilladaha ayaa sareysa marka loo baahdo dahaar khafiif ah; gaasaskuna waxay geli doonaan dusha sare inta lagu jiro dahaarka, taas oo beddeli doonta sifooyinka dusha sare. Xaaladaha qaarkood, godadka iyo nuclei-yada (ka yar 1 nm) ayaa sidoo kale la sameeyaa.
Marka laga hadlayo heerka dhigista, dahaarka ion-ka wuxuu la mid yahay habka uumiga. Marka laga hadlayo tayada filimka, filimada ay soo saaraan dahaarka ion-ku waxay u dhow yihiin ama ka fiican yihiin kuwa lagu diyaariyo buufinta.
Waqtiga boostada: Noofambar-08-2022